标准规范下载简介

DL／T 2310-2021 电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件.pdf

ICS29.045 CCS H 83

DL/T 23102021

DL/T 2310=202

电力系统高压功率器件用碳化硅外延片

TD∕T 1015-2007 城镇地籍数据库标准.pdfAcceptancespecificationforsiliconcarbideepitaxialwafer ofhighvoltagepowerdevicesinthegridsystem

DL/T23102021

引用文件 定义· 求· 法 标志、运输、储存

范围· 规范性引用文件 术语和定义· 技术要求 测试方法 包装、标志、运输、储存

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本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本标准的某些内容可能涉及专利。本标准的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件规定了电力系统高压功率器件用碳化硅外延产品的各项技术指标。 本文件由中国电力企业联合会提出并解释。 本文件由中国电力企业联合会电力系统用电力电子器件标准化技术委员会（CEC/TC08）归口。 本文件起草单位：全球能源互联网研究院有限公司、芜湖启迪半导体有限公司、中国电子科技集 团公司第五十五研究所、东莞市天域半导体科技有限公司、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、国 网经济技术研究院有限公司、国网浙江省电力公司。 本文件主要起草人：钮应喜、杨霏、李赞、张新河、冯途、孙国胜、陈志霞、王翼、石岩、 杨勇。 本文件为首次发布。 本文件在执行过程中的意见或建议反馈至中国电力企业联合会标准化管理中心（北京市白广路二 条一号，100761）。

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压功率器件用碳化硅外延片使月

本文件规定了电力系统高压功率器件用碳化硅外延材料的各项技术指标。 本文件适用于高电压功率器件应用的碳化硅外延材料，适用于电力系统高压功率器件应用的，直 径为100mm和150mm的碳化硅外延材料

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本文件规定外延片的直径尺寸可分为100mm和150mm，直径尺寸应符合GB/T3065 30866的规定。

外延片按导电类型可分为n型和p型。

电阻率、翘曲度、厚度、弯曲度、微管密度应符

4.5.1外延层厚度及其允许偏差应符合表2

外延层厚度及其允许偏差应符合表2的规定。

表2外延层厚度及其允许偏差

DL/T23102021

DL/T23102021

4.5.2外延层厚度最大相对标准偏差 计算，且应符合表3的规定

表3外延层厚度最大相对标准偏差

4.6.1n型外延层掺杂元素为氮，p型外延层掺杂元素为铝。 4.6.2外延层掺杂浓度允许偏差应符合表4的规定。

4.6.1n型外延层掺杂元素为氮，p型外延层掺杂元素为铝。

表4外延层掺杂浓度允许偏差

DL/T23102021

DL/T2310202

表5外延层掺杂浓度最大相对标准偏差

表6外延片表面缺陷极限值

4.8外延片表面粗糙度

外延片表面粗糙度应符合表7的规定。

表7外延片表面粗糙度

4.9n型外延片原生少子寿命

广西省某高层住宅转换层大梁模板专项施工方案_secretn型外延片原生少子寿命应符合如表8的规定。

DL/T2310—2021

DL/T23102021

表8n型外延片原生少子寿命

4.10外延片翘曲、弯曲度、总厚度变化

外延片翘曲、弯曲度、总厚度变化应符合表9的

4000立方米球罐焊接施工方案对各种金属离子污染浓度的限制要求见表10

特殊规定，应由供需双方