JC／T 2133-2012标准规范下载简介

JC／T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

ICS71.040 C14 备索号：389762013

中华人民共和国建材行业

SJG 19-2019 深圳市建设工程防水技术标准半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素

Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industryInductively coupled plasma atomic emission spectrometric method

中华人民共和国工业和信息化部 发布

中华人民共和国工业和信息化部发布

JC/T21332012

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分技术委员会(SAC/TC194/SC3)归口。 本标准起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所。 本标准主要起草人：陈奕睿、屈海云、邹慧君、汪正。 本标准为首次发布。

JC/T21332012

半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定

电感耦合等离子体原子发射光谱法

表114种元素的检测范围

下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

在电感耦合等离子体炬焰中激发，发射出所含元紧的 持测元素分析线的强度测定相应元素的含量

4.1实验用水：应符合GB/T6682中规定的二级水。 4.2盐酸：密度1.19g/mL，优级纯。 4.3盐酸(1+1)：取盐酸(4.2)与水按照体积比1:1稀释。

4.1实验用水：应符合GB/T6682中规定的二级水。

4.1实验用水：应符合GB/T6682中规定的二级水。 4.2盐酸：密度1.19g/mL，优级纯。 4.3盐酸（1+1)：取盐酸（4.2)与水按照体积比1:1稀释。

5.1分析天平：精度0.1mg。

5.1分析天平：精度0.1mg。 5.2电感耦合等离子体原子发射光谱仪。 5.3玻璃容量瓶、可调移液器、单线标移液管。

YCT21332012

硅溶胶中SiO2含量小于20%（质量分数）的不需稀释，大于20%（质量分数）的则应按最小整数倍 稀释至小于20%（质量分数）。如果样品需要稀释则平行稀释三份。若不需要稀释则每份样品重复测试 三次。

照实验要求和仪器情况吉林2019版造价文件汇编，设置仪器的工作条件（参见附录A）。点燃等离子体炬焰，待炬焰 n后，按顺序测定混合标准系列溶液（4.9~4.11)的光谱强度。由计算机自动绘制校准曲 (α)、斜率（b)和线性相关系数()。若<0.99，则重新配制混合标准溶液系列，绘制校准

稀释的试样，取三次测试值的平均值作为最终的测试结果；经稀释的试样，取三次测试值 释倍数的乘积作为最终的测试结果，按公式（1）计算。

确定度评定依照CNASGL06《化学分析中不确定度的评估指南》中提供的方法进行（具体 附录B)。被测元素含量范翻在0.01μg/mL~1μg/mL之间，测量不确定度应小于该元素测 被测元素含量范围在1ug/ml～20ug/mL之间，测量不确定度应小于该元素测量值的5%

JCT2133=2012

JC/T2133=2012

同一实验室内部、在重复性条件下获得三份平行分析结果的最大相对偏差应才

DA／T 72-2019 岩心档案管理规范验室之间分析结果的差值应不大于表3所列白