标准规范下载简介

JJF(沪) 59-2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范.pdf

上海市地方计量校准规范

微纳米台阶高度（深度）标准样板

微纳米台阶高度（深度）

DB44／T 2018-2017标准下载Calibration Specification

归口单位：上海市市场监督管理局 主要起草单位：上海市计量测试技术研究院 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 参加起草单位：中国计量科学研究院 上海交通大学

包由上海市计量测试技术研究院负责

本规范主要起草人： 蔡潇雨（上海市计量测试技术研究院） 朱振宇（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术 研究所） 张波（上海市计量测试技术研究院） 参加起草人： 施玉书（中国计量科学研究院） 陈欣（上海交通大学）

本规范主要起草人： 蔡潇雨（上海市计量测试技术研究院） 朱振宇（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术 研究所） 张波（上海市计量测试技术研究院） 参加起草人： 施玉书（中国计量科学研究院） 陈欣（上海交通大学）

JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计 量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规 范制定工作的基础性系列计量技术法规。 本规范为首次制定

微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范

本规范适用于高度在5nm到1000nm之间的微纳米台阶高度（深度）标准样板的 校准，对于高度不超过6000nm的台阶高度（深度） 照本规范执行。

GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表 面结构参数 GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构 的规则和方法 GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第 1部分：实物测量标准 GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第2部分：软件测量标准 注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件， 其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表 面结构参数 GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构 的规则和方法 GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第 1部分：实物测量标准 GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第2部分：软件测量标准 注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件 其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

器通过系列样板测得的台阶高度（深度）量值与样板校准值的比较，从而对被测仪器 的垂直位移特性进行评定

5.1样板的台阶高度（深度）

T／CAGHP 045-2018 地质灾害治理工程资料归档整理技术要求台阶高度（深度）是通过对样板有效测量区域内不同位置的多次测量结果的平均 直进行评定。台阶高度（深度）技术要求如表1所示。

表1台阶高度（深度）标准样板计量特性技术要求

样板台阶高度（深度）的均匀性是通过对样板有效测量区域内不同位置的多次测 量结果的实验标准差s进行评定。样板的均匀性技术要求如表1所示

校准过程中环境条件见表2。

校准室内应无影响测量的振动源。

6.2测量标准器及其他设备

GB／T 35217-2017标准下载交准过程中使用的测量标准器及其他设备！

校准证书应至少包括以下内容： a）标题：“校准证书”； b）实验室名称和地址； c）进行校准的地点： d）证书或报告的唯一性标识（如编号），每页及总页的标识； e）客户的名称和地址： f）被校对象的描述和明确标识； g）进行校准日期，如果与校准结果的有效性应用有关时，应说明被校对象的接 收日期： h）如果与校准结果的有效性和应用有关时，应对抽样程序进行说明； i）对校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号： j）本次校准所用计量标准的溯源性及有效性说明； k）校准环境的描述： 1）校准结果及测量不确定度的说明： m）对校准规范的偏离的说明； n）校准证书或校准报告签发人的签名、职务或等效标识： o）校准结果仅对被校对象有效的声明； D）未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明