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50646-2011 特种气体系统工程技术规范.pdf

向上方扩散；同时特种气体站房多为三班制连续运行，中断照明会 影响生产，因此，本条规定灯具不宜安装在设备正上方，特种气体 站房应设置备用照明

8.2.1按照现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB50057规 定，具有1区爆炸危险环境的第二类防雷建筑除采取防直击雷和 防雷电波侵入的措施外，尚应采取防雷电感应的措施。 8.2.2据了解，目前电子工厂的特种气体站房的可燃性、自燃性 气体一般是经过洗涤塔处理后再排放，因此大部分特种气体站房 突出屋面的放散管、风管保护适用于本条第2款的规定。 8.2.3为防止可燃性特种气体管道产生雷电感应而发生安全事 故，本条规定了可燃性特种气体架空管道应与防雷电感应的接地

8.2.1按照现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB50057 定，具有1区爆炸危险环境的第二类防雷建筑除采取防直击雷 防雷电波侵入的措施外，尚应采取防雷电感应的措施。

电而发生安全事故建筑装饰装修工程质量验收标准.GB50210-2018.带书签，本条规定了自燃性、可燃性、氧化性 设备与管道设置防静电接地的要求。

8.2.5本条规定采用螺栓连接是为了便于设备与管道的拆卸检 修，采用挠性连接线是为了避免振动、位移影响接地可靠性。 8.2.6考愿到我国相当多的电子工厂在工程实际中采用联合接 地的方式，本条规定接地装置的接地电阻值应按其中的最小值 确定。

8.2.7该电阻值是参照现行行业标准《石油化工静电接地设

9.1.1近年我国电子工厂尤其是芯片生产工广、TFTLCD液 晶显示器生产工厂等生产过程均需要应用多种特种气体，据了解 这类工广多数设有特种气体管理系统，特种气体管理系统控制多 采用可编程逻辑控制器方式控制，简单系统多采用单台报警控制 主机或二次仪表控制，特种气体管理系统在有条件的工厂均应独 立设置系统。

9.1.2根据我国电子类工厂的实际情况，规定了特种气体管理系

统上位机与工厂设备管理控制系统上位机布置在同房间。为了 实现电子工厂的消防和应急管理的集中、同一指挥，本条作了相应 的规定，

9.2特种气体探测系统

9.2.1本条为强制性条文，必须严格执行。本.条是对电子工厂中 设置特种气体探测器位置的区域或场所的规定。 1本款中自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性气体的使用 场所是指使用以上气体的工艺设备内或房间内的气体发生泄漏 易积聚处；技术夹层内气体探测器是设置在有阀门或接头等可能 发生气体泄漏、易积聚的部位。 2本款中自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性气体储存、分 配间内的气体发生泄漏、易积聚处应设气体探测器。 3～5·这三款为自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性气体储 存、分配设备的排风口，因发生特种气体泄漏，叫能达到规定报警 浓度，应设气体探测器

6本款规定使用惰性气体房间设置氧气探测器，主要是因为 情性气体泄漏后，可能使空气中氧浓度降低到使房间的作业人员 造成室息，且国内外已有多个工厂发生惰性气体造成人员室息伤 亡事故。

惰性气体泄漏后，可能使空气中氧浓度降低到使房间的作业人员 造成室息，且国内外已有多个工厂发生惰性气体造成人员室息伤 亡事故。 9.2.2由于自燃性、可燃性、毒性气体一旦泄漏超过规定值，危害 性极大，故作了本条规定。一级报警后，即使气体浓度发生变化 报警仍应持续，只有经人工确认并采取相应的措施后才能停止报 警。特种气体探测系统检测装置主要有以下几种： 1自燃性、可燃性气体检测宜采用催化燃烧型检测装置、半 导体检测装置、电化学检测装置。 2毒性气体检测宜采用电化学检测装置。 3根据使用场所的不同确定不同特种气体采样方式，应正确 选用扩散式检测装置、单点或多点吸入式气体检测装置。 9.2.3为了明确检测报警装置的工作状况，防止事故发生，本条 规定了自燃性、可燃性、毒性气体检测装置报警设定值的要求。 9.2.4本条规定的数值符合现行行业标准《有毒气体检测报警仪 技术条件及检验方法》HG23006中的有关规定，同时根据半导体 工广使用气体检测装置产品的快速响应要求作出检测报警响应时 间规定。 9.2.5本条为强制性条文，必须严格执行。气体探测器的设置位 置是否恰当将直接影响到能否及时、正确报警，为确保生产厂房和

置是否恰当将直接影响到能否及时、正确报警，为确保生产厂房和 特种气体系统安全、稳定运行，本条按特种气体相对密度的不同 作出了不同规定。

9.3.1为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了 可燃性、自燃性、毒性气体的储存、分配及使用场所安全设施的 设置。 1本款规定了设置闭路电视监控摄像机、门禁，摄像机、门禁

应考虑与环境相适应。 2从实际情况看，安全管理显示屏一般安装在洁净室内、洁 净室入口服务台处、气瓶柜间的人口等位置。其显示内容为阻止 人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施。以TCP/IP网络联 机方式连接至洁净室人口服务台处之服务器。在洁净室入口服务 台处及值班室的工作站，可键入日常信息，在安全显示屏上显示。 3因为自燃性、可燃性、毒性气体一旦发生泄漏等安全事故 将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患，为此，本款 规定在这些气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主入口、内 通道等设置明显的灯光闪炼报警装置，提醒人员注意，采取防范 措施。 4本款是为了在紧急情况下切断特种气体的供应，避免事故 的蔓延与扩大，规定在自燃性、可燃性、毒性气体储存、分配、使用 场所人口处设紧急手动按钮。由于应急处理中心室有专人值班， 故规定主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。 9.3.2：为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大 次生灾害，对生产与作业人员带来危害，本条规定了在地震多发地 区，特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置。 9.3.3国外电子工厂地震探测装置运用较普遍，一般设置三组地 震探测装置（设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定） 为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌，只有 当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时，才立即执行连锁 控制功能，并将警报讯号传送至工厂设备管理控制系统。 9.3.5从保护人员生命安全的角度考虑，本条规定了气体站房应 配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防护设施。

9.4特种气体报警的联动控制

9.4.1本条规定在确认特种气体泄漏后，为确保生产车

1本条规定在确认特种气体泄漏后，为确保生产车间和特种 系统的安全和作业人员安全撤离应平取冬项联动控制启动

显示、记录功能。一旦特种气体泄漏后，切断阀、排风装置与气体 探测器联动，自动启动相应的事故排风装置、关闭切断阀，切断气 体来源。

9.4.2为了保护人员的生命安全，规定当气体探测系统确认气体

世漏时，应启动泄漏现场的声光报警装置，提醒作用人员采取 借施和迅速离开事故现场。

泄漏时，应启动泄漏现场的声光报警装置，提醒作用人员头

9.4.3为保障生命安全,在气体探测系统确认气体泄漏时,本条

规定安防系统应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自 放门禁，可联动闭路电视监控（CCTV）系統，启动相应区域的 机,并自动录像。

接近危险区域以及采取切断阀门等措施，目的是提醒工个

接近危险区域以及采取切断阀门等措施，目的是提醒工作人员采 取的正确工作方法

仪的误动作造成不必要的恐慌而影响生产，本条规定只有当两台 地震探测装置同时报警时，才应启动现场的声光报警装置。

10.1.4本条为强制性条文，必须严格执行。为保护工作人员的

10.2.1、10.2.2这两条是根据特种气体站房的特点，规定特种气 体站房应设置消火栓和灭火器，同时要求采用按现行国家标准《建 筑设计防火规范》GB50016和《建筑灭火器配置设计规范》 GB50140的有关规定。 10.2.3特种气体站房内设置的自动喷水系统可以在火灾发生 时，对房间内的设施进行消防及冷却，避免由于特种气体泄漏或爆 炸产生更大的损失。根据现行国家标准《自动喷水灭火系统设计 规范》GB50084的相关条款将特种气体站房定义为中危险ⅡI级， 以此为依据，规定了喷水强度和保护面积。如果所涉及的项目有 国外保险商参与，或是气体公司有特殊要求，可以按照较严格的规

10.2.4本条是考虑某些特种气体气瓶柜带有自动喷水冷却装 置，所以规定消防系统的设计应预留管道和阀门。 10.2.5本条为强制性条文，必须严格执行。特种气体中有很多 种类与水接触会发生化学反应产生有毒有害物质，比如CIF3、 WF。等。存储这些气体的特种气体间不应采用水消防系统。可采 用气体消防、干粉灭火器等消防形式。其体采用哪些消防方法需 要与气体公司确认气体性质后决定。

11采暖通风与空气调节

11.1.1特种气体间用于储存和分配自燃性、可燃性、毒性、腐蚀 性、氧化性、室息性气体，存在管道或阀门泄漏和积聚的潜在危险 性。因此，特种气体间应设置连续的机械通风：防止自燃性、可燃 性、毒性、腐蚀性、氧化性、室息性气体在特种气体间内积聚。通 常，自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气体储存在气瓶柜内，气瓶柜应 设置局部通风，房间通风量应不小于气瓶柜的通风要求，为了保证 房间通风良好，确定了特种气体间的最小通风换气次数6次/h。 11.1.2特种气体气瓶柜和阀门箱内安装了特种气体分配阀门和 管道，阀门和管道接口较多，产生泄漏的可能性。因此，特种气体 的气瓶硅和阀门箱应设置机械排风进行强制通风，防止自燃性、可 燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、室息性气体在气瓶柜和阀门箱内积聚 市

1.3特种气体的排风系统划

1防止不同种类和性质的特种气体混合后引起燃烧或爆炸 事故。 2避免形成毒性更大的混合物或化合物，对人体造成危害或 设备和管道腐蚀。 3防止在风管中积聚粉尘，从而增加风管阻力或造成风管堵 塞，影响通风系统的正常运行。 11.1.4事故通风量应根据事故时泄放的特种气体量和危害程度 通过计算确定。根据现行国家标准《工业企业设计卫生标准》 GB71中的规定事故通 阻定为12冷/h左性种

通过计算确定。根据现行国家标准《工业企业设计卫生标准》 GBZ1中的规定，事故通风换气次数的下限定为12次/h。在特种 气体间外设置紧急按钮以便求援人员启动事故排风系统。

11.1.5特种气体许多为自燃性、可燃性、氧化性气体，所以规定 排风管道应采用不燃管道，目的是防止在发生火灾时火焰沿风管 扩散和蔓延。

扩散和蔓延。 11.1.6排风管道为负压，采用柔性风管或软管，风管的有效通凤 面积减小，将会影响到通风效果，同时，柔性风管或软管对火灾的 耐受性较差，很容易造成排风管烧坏和变形。因此，可燃性气体柜 和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管应采用刚性风管。 11.1.7房间排风口的位置应根据特种气体与空气的相对密度来 确定，防止有害气体积聚。为了将不同位置积聚的特种气体排出： 本条规定了根据特种气体相对密度的大小设置房间排风口的位 置，这样可以有效将大于、小于空气密度的特种气体排至室外。 11.1.8避免特种气体站房排风造成对周围环境和人身安全造成 危害，因此，应根据排风中特种气体的性质和浓度等因素确定设置 处理装置进行处理，如洗涤塔、吸附塔等。 11.1.9为保证特种气体站房排风系统的连续可靠运行，宜设置 备用排风机。备用排风机也可以兼作事故排风机。特种气体间通 系统电源设置应急电源，目的是保证排风系统的稳定运行可靠。 11.1.10本条为强制性条文，必须严格执行。为防止因空气摩擦 产生静电积聚，而引起燃烧和爆炸事故，因此，可燃性气体和氧化 性气体的排风管设置防静电接地装置，消除排风管静电。 11.1.11本条为强制性条文，必须严格执行。为保证特种气体间 排风系统连续可靠运行，防止特种气体积聚，降低火灾危险性和对 救援人员的危害，因此，特种气体间排风系统不应与火灾报警系统 联动。关闭特种气体间排风系统将可能造成更大的危害。 11.1.12严禁明火是可燃性气体作业场所至关重要的安全措施 之一，所谓明火采暖包括电炉、火炉。

11.1.6排风管道为负压,采用柔性风管或软管,风管的有效通风

11. 2 空气调 节

1.2.2为避免相邻的特种气体间的火灾曼延，或因一个特

设置备用空调机组。当受到条件限制时，采用适当措施保证 调机组维护或故障时特种气体房间能取得足够的补风，也是 安全的有效措施之一。

种气体间的通风平衡和稳定

11.2.5本条为强制性条文，必须严格执行。为防止火焰蔓延和 扩散，空调风管应采用不燃材料制作，保温应采用不燃或难燃 材料。

11.2.5本条为强制性条文，必须严格执行。为防止火焰蔓

11.2.6为防止因空气摩擦产生静电积聚引起燃烧和爆炸事故，

12特种气体系统工程施工

12.1.1在现行国家标准《现场设备、工业管道焊接工程施工及验 收规范》GB50236中对从事焊接的单位、焊接人员都作了规定。 持种气体管道系统焊接采用全自动脉冲轨道氩弧焊接，也应遵守 该规范的有关条文的规定。

息性、麻醉性危害，而且多数情况下一种特种气体同时具有多种危 害性，稍有不慎往往会对人员、环境、生产设施造成难以挽回的巨 大损失，所以施工前必须编制施工方案，用以控制人、机、料和安全 等各施工要素。为解决施工技术难点、关键工序、质量保障、安全 保障、环境保障、施工过程的质量检验等做好技术准备，为此施工 前应编制施工方案并报业主审批。

12.1.5主要设备、材料的质量，将直接影响工程的质量，不合格 的设备及材料将对设施及人员安全构成潜在危险，所以本条规定 主要设备、材料进入现场后必须进行实物验收，符合产品质量及本 规范要求才能在施工中使用。为保证质量的可追根溯性，要求保 存产品合格证和质量保证书、检验结论记录等。

随机资料是按国际惯例作出的规定，同时也是方便阅读，防止翻译 出现误解。特种气体设备与材料进场时必须提供详细的上述技术 文件，是对产品质量、安装、调试等各方面提供全面的保障和支持

12.1.8工程质量控制的关键在于过程控制，本条规定的各个工 序都是关键工序，在施工单位做好自检自律的同时，让相关单位共 同验证施工质量和安全可靠性是十分重要的，所以规定建设单位 技术人员应在场。

2.2主要设备、材料进场验收

12.2.1国内外的气瓶柜、气瓶架做法各不相同，气瓶柜、气瓶架 上的各种标识也不尽相同，目前国内也有很多厂家在生产气瓶柜 气瓶架。为方便统一管理，保证使用的安全可靠，本条对气瓶柜 气瓶架作统规定，同时对气瓶柜、气瓶架内主体功能配制提出了 要求，目的在于保证工艺需要、特种气体质量需要和安全功能的 需要。

要一一核实。对于酸碱洗涤塔设备尤其要注意设计要求和合同要 求，因为酸碱洗涤塔设备大多是有机玻璃钢材料制作，质量好的玻 璃钢可以使用（15～20)年，质量差的玻璃钢使用寿命只有（2～3） 年，所以应严格按照合同和设计的要求进行验收。

1本款规定管道、管件和阀门的最外层的包装可在非洁净区 打开，因为防止管道在搬运过程中造成弯曲采用了加固的木箱包 装，为防止管道内外表面洁净受污染，内包装采用了双层密封的塑 料袋包装，并且是在洁净室内完成的。管件和阀门也采用了相同 包装方法，所以外包装可在非洁净区打开，开箱后主要检查管道 管件、阀门的双层塑料透明聚乙烯薄膜是否损伤，防止受到污染。 2本款对验收合格的产品进行合理的保管，对保管的洁净环 境作了规定。 3为保证产品的质量和可追溯性，本款规定进场的阀门必须 应具备相关资料。 12.2.5本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包

12.2.5本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打升 装，防止管道、管件和阀门验收时受到环境污染物的污染，特 验收的环境、内容和方法。

12.3气瓶柜与气瓶架的安装

12.3.1为防止施工单位未经过设计单位同意更改图纸，造成安 全与质量隐患，本条规定气瓶柜、气瓶架必须按照设计图纸的要求 定位。

12.3.2本条是对气瓶柜、气瓶架的固定作出的规定，目的在于防 止气瓶柜晃动和移动，造成气瓶柜连接的管道接口松动，导致气体 泄漏发生事故

12.3.2本条是对气瓶柜、气瓶架的固定作出的规定，目

12.3.3本条是对单个气瓶柜、气瓶架和成排气瓶柜、气瓶架定位

12.3.3本条是对单个气瓶柜、气瓶架和成排气瓶柜、气瓶架定位

的基本要求，满足使用功能要求的同时，也满足美观功能

证柜门开关自如，不得扭曲变形，关闭不严

2.4阀门箱与阀门盘的安装

12.4.1本条对阀门箱和阀门盘的安装位置作了规定，这样便于 操作，同时保证阀门箱稳固和避免对管道运行造成的影响。 12.4.2本条规定一是保证支座不会因腐蚀而影响洁净室的洁净 度；二是保证整体的美观，因为特种气体系统的施工要求严格，造 价较贵，支座的制作应与系统整体美观相适应。 12.4.3本条是对单个和成排就位的阀门箱和阀门盘的基本要 求。满足使用功能要求的同时，也满足美观舒适的要求。 12.4.4本条是对阀门箱和阀门盘的固定作出的规定。目的在于 防止阀门箱和阀门盘的晃动和移动，造成阀门箱和阀门盘连接的 管道接口松动，导致气体泄漏发生事故。 12.4.5在众多的工业用途中，不锈钢都能提供令人满意的耐腐

12.4.1本条对阀门箱和阀门盘的安装位置作了规定，这样便于 操作，同时保证阀门箱稳固和避免对管道运行造成的影响。 12.4.2本条规定一是保证支座不会因腐蚀而影响洁净室的洁净 度；二是保证整体的美观，因为特种气体系统的施工要求严格，造 价较贵，支座的制作应与系统整体美观相适应。 54本反目

浊性能，但不锈钢与其他金属和非金属之间容易造成点腐蚀、晶间 腐蚀以及缝隙腐蚀，尤其在湿度较大或有弱酸性的环境中，其腐蚀 更为严重，所以本条对阀门箱和阀门盘的连接螺栓作了规定，

12.5特种气体管道安装

叠使用会造成密封不严；经验表明，面密封端面用硬器稍微毁伤 （即使有头发丝那么细或肉眼看不见）也会导致大量的气体泄漏， 所以作了本款规定。 4本款规定管外径大于12.7mm的管道弯头应采用成品弯 头；管外径小于或等于12.7mm的弯头可在现场使用专用弯管器 撼制，是对弯管器所能撼弯的口径的界定，也是十多年经验的总结 和多次试验的结果。为减少流体阻力、保证管道内表面的粗糙度 规定BA级管道弯头弯曲半径不小于管外径的3倍，EP级管道弯 头弯曲半径不小于管外径的5倍，规定弯管变形率小于5%是为 了保证焊接质量和保护管内表面的粗糙度。 5本款规定目的在于防止在施工过程中，因施工机具的不全 或临时短缺。操作者用大弯管器撼制小口径的管道，用公制的铜 管弯管器撼制英制不锈钢管，甚至出现直接用手撼制，撼制出来的 管道出现变形时还使用榔头敲打等现象，这些做法都会严重影响 管道的表面粗糙度，是不充许的。 6本款规定特种气体管道的两端管口在运输、保管、施工、测 试等各种情况下都应保持密封或管道内充高纯氩气，使管道内免 受空气污染。管口暴露在大气中，会使空气中的水分、颗粒、氧气、 油分吸附在管道内壁，对最终测试和运行使用造成极大的隐患，甚 至造成整个系统的报废，所以当安装结束时，所有系统内应充氩气 或氮气正压保护。 7本款规定用气设备与特种气体管道的连接应采用不锈钢 面密封形式，非金属软管不能满足特种气体的质量要求，所以不能 采用。 12.5.2本条对特种气体管道连接作出了规定。

12.5.2本条对特种气体管道连接作出了规

1本款规定焊接使用的工具应是自动轨道氩孤机，内外氩气 保护焊接，是因为这种焊接方式的焊口质量优良，能满足特种气体 管道的要求，但氩气的纯度必须符合本规定。安装过滤器也是为 保证氩气的纯度而采取的保障措施，如低纯度氩气会导致焊缝表

面发黄或发黑，造成焊口报废。管路末端装压力计的目的在于保 证同种规格的管道焊接参数容易掌握、焊接质量稳定。 2本款是针对特种气体管道作为洁净管道的特点，规定各种 作业应在洁净室内完成，所以作业人员的穿戴应满足洁净室的基 本要求，并规定不得用裸手触摸管道内壁，因为手上往往附着肉眼 无法看到的油分子、水分子、细小的灰尘颗粒等，这些看不见的有 害分子的是特种气体管道施工的主要隐患，所以必须杜绝。 3本款规定切管器所适用的不锈钢管的管道口径，切管器 （即通常所说的割刀）应与管道直径相匹配，并规定了切割后管道 的端口处理方式和处理要求，这些都是为保证特种气体管焊接质 量作出的规定。 4本款规定的目的是防止管道加工时切屑进入管道内污染 或划伤管道内壁。 5本款规定了管道口径大于12.7mm的管道的切割方法和 要求。不锈钢管洁净施工专用切割机般采用行星式薄壁不锈钢 管道切割机，它是使自转的刀片绕着管子公转进行切割，管子被夹 紧在确保和刀片垂直的自定心卡盘上；行星式管道切割机切割前 进刀手柄先进刀，然后固定进刀位置，接着旋转手轮，在刀片公转 一周以后，管道自动切割下来。由于夹持面和切割面非常垂直，切 割中受力并不大，所以可以得到与管道垂直的切割平面。行星式 切割机的优点是：整个切割过程为冷切割，没有毛刺，切口非常垂 直，不用冷却液，管道待焊部位没有污染，能满足焊接质量要求；切 割机有非常高的切割速度，能在30s内完成一个直径为88.9mm 薄壁不锈钢管道的切割，如果要和带锯相比较的话，带锯切割相同 的管道需要5倍的时间，而且切割质量无法相提并论。手工锯、砂 轮切割机更是不能满足特种气体配管的质量的要求，因为特种气 体管道严禁油污。为保证管道的洁净度和防止危险发生，为此作 了本款规定。 6由于不锈钢管洁净施工专用切割机切割时会产切屑颗粒

12.5.4本条第6款规定特种气体管道施工过程中不得中断

特种气体管道经常与公用动力管道共用室外管架，所以本款规定 室外特种气体管道支架采用槽式桥架的形式。槽式桥架的材质应 保证特种气体管道不发生腐蚀和满足美观的要求。 7本款是为了防止支架不被腐蚀而作的规定。 8目前特种气体管道的材料使用、操作规范、施工水平等都 已经比较完善，管卡的使用也经历了多次的变革，镀镍或不锈钢专 用管卡是目前最理想的选择。 9本款规定为保证特种气体管道免受损伤，在穿墙部位设置 套管；为达到防火的要求，在套管内填充难燃材料；为保证室内外 密封，必须将洞口两侧密封处理。 12.5.6本条对特种气体室内管道配管施工作出了规定。 1.为保证特种气体管道外壁施工安装过程不被划伤，本款规 定管道焊接完成的组成件应包装完好。 2特种气体系统配管的支架应单独设立，方面保证支架免 受腐蚀，另方面保证不受产品制造装置的辅机、排风管、管道等 振动影响或利用其固定支架进行配管施工而引起微振，从而导致 阀门箱（盘）内的接头会慢慢产生气体泄漏。元型不锈钢管卡就是 特种气体管道专用管卡，与U型钢匹配，口径1/2及其以下的管 道通用。3/4"及以上的管卡没有专用元型管卡，而且由于管径大， 其需要的承受力增大，故本款作此规定。 3本款规定为保证房间的洁净度和防止火灾蔓延，特种气体 穿墙管道与套管之间的间隙应采用难燃材料填充，墙两侧用不锈 钢板封堵敛缝。 4本款规定了支架的制作要求，支架切割、端头处理等应做 到精密细致，与系统整体质量要求致，并不得生锈产尘而影响洁 净度。 5本款对阀门箱内的预留阀门作了规定，由于特种气体的危 害性大，为防止人为误操作和阀门的关闭不严而泄漏，所以预留的 阀门必须安装堵头。

8本款规定辅助氮气分支从主管的上方接入，目的是防止系 统内可能存在的水分导入系统中；在弯头处接人会导致气体流量 不能满足要求；成排管布局应满足系统美观功能的要求。 ：9本款规定特种气体管道施工应严格按照批准的施工图施 工，施工发生变化时，必须经设计单位或业主的许可，并做变更手 续后方可施工。大口径代替小口径往往会导致介质流速达不到要 求或要使流速达到要求时需要加大流量，同时从安全考虑，在满足 用量要求的前提下，多余的危险极大的特种气体在管道内储量越 少，其危险程度将越小，所以严禁以大口径管道代替小口径的管 道。施工时管网中应避免盲管出现，由于盲管会积存气体，容易造 成盲管的腐蚀，也对系统吹扫造成隐患。同时规定特种气体系统 管路任何位置都不得有分支，分支管道必须从气瓶柜或阀门箱引 出，自的在于防正意外泄漏造成重大人员伤亡及设备事故。

特种气体管道改、扩建工程施工

12.6.1特种气体系统改建、扩建工程施工工艺及质量要求与新 建工程的要求是一致的，但由于改建、扩建工程中增加了拆除特种 气体管道的工序，这牵涉到与生产同时进行以及拆除的管道中有 可能残存少量危害性极大气体。 1本款规定了应编制施工方案，鉴于改建、扩建工程的特点 其施工方案应更加具有针对性、指导性和全面性，要把现场可能出 现的危险因素全部考虑周到，并制订切实可行的实施措施以及应 急预案，由于业主方专业技术人员比施工方更了解现场情况、风险 程度及安全技术措施，所以施工方案应报业主批准。对潜在的危 险向施工人员进行详尽的技术交底，也是重要的安全预防措施，是 避免安全事故发生的源头保证。 2发生事故后的统一指挥，有序撤离，是减少伤亡的有效 手段。 3明火作业是在特定条件下发生火灾爆炸的诱因，为避免在

失及人员恐慌，所以必须填写动火作业报告并经过业主的审批，对 现场确认无误后方可实施有关作业。同时业主方也将根据施工需 要关闭相应区域的火灾报警并派专人监护该区域，这涉及已启用 的消防设施的状态改变，所以必须在动用前经过审批许可。 4本款规定是为了尽量减少施工对生产造成影响，保证施工 人员和产品生产作业人员的安全以及设备的安全、产品质量、施工 质量等应采取的措施。 5本款规定改建、扩建、拆除工程必须由施工方和业主方共 同现场监督，所有作业必须在业主技术人员的指导下完成。施工 人员必须有极强的责任心和丰富的施工操作经验，细心的在双方 技术人员的共同见证下完成各项作业。 12.6.2本条为强制性条文，必须严格执行。施工前必须将管道 内的特种气体用高纯氮气置换十净，且应将管道系统抽真空处理 这是为防止管内残存有害气体在施工时对人身及设施造成安全威 胁所采取的措施。

12.6.3改造的特种气体管道在切割前应充低压氮气，不得在管 内真空状态下进行切割，否则在进行切割时会有大量的空气进人 管道，污染管道。

12.6.3改造的特种气体管道在切割前应充低压氮气，不得

12.7特种气体系统的检验

12.7.1本条规定特种气体系统安装完成后应对系统进行检验， 目的是为了检查安装质量，防止在运行中发生事故。 12.7.2为防止施工人员不按照设计要求施工，本条规定特种气 体系统的设备、管道、配件及阀门的规格、型号、材质及连接形式应 符合设计要求。

12.8尾气处理装置的安装

12.8.2本条是对尾气处理装置的固定而作出的规定。目的在于

防止尾气处理装置的晃动和移动，造成设备连接管道接口松动，导 致气体泄漏发生事故。 12.8.4本条为强制性条文，必须严格执行。从安全的角度考虑 Laa

防止尾气处理装置的晃动和移动，造成设备连接管道接口松动 致气体泄漏发生事故。

12.8.4本条为强制性条文，必须严格执行。从安全的角度考虑， 尾气排气系统的管道必须经过脱脂处理，严禁使用含有油脂的 管道。

12.9生命安全设施安装

12.9.1由于特种气体系统潜在危险性较大，本条规定施工人员 在生产、施工区域内，严禁任意搬弄各种阀门、开关、按钮，防止因 为施工操作不当酿成事故。 12.9.2特种气体报警装置的正确安装位置对早期发现特种气体 的泄漏十分重要，本条规定是对设计条款的加强，提醒安装人员正 确安装气体报警装置。

续表7日期名称编号适用气体序列号盘面号码盘面左中右吹扫√（好），X（不好），N/A不适用）6功能测试过流开关过流阀门温度开关压力传感器电子秤气柜排风开关细流吹扫阀门压力开关安全阀7最终检验标签一气柜序列公司标签危险品标签气柜警示标签电气序标签盘面序列号盘面阀门手动阀一手柄颜色检查CGA垫圈和正确的钢瓶盘管微孔高度气柜入口过滤器已钢瓶托架安装排风指示带已安装其他散件钢瓶扎带/链条门窗钥匙门窗闭合器喷淋头已旋紧穿线已密封排风口已袋封喷漆色泽均匀地板垫已放置工程资料操作手册合格证明盘面保压1.4bar气柜/装配盘面已所有开孔已密封清洁检验标签已挂8系统完成质保合格印章日期检验者签名日期.117:

表8屋气处理装置验收表

13.3 管路与系统验收

13.3.1本条是对特种气体管路施工安装后的外观检查等作出的 规定。 2、3这两款针对管路施工出现的弯管裂纹或焊缝质量作出 了规定，其中对于焊缝凹陷度、凸起度、错边和焊缝宽度等量化数 据的规定是根据近年来的工程实践的分析、统计作出的推荐性规 定。 13.3.3本条规定的特种气体管道安装后的压力试验要求，包括 强度试验和气密性试验或泄漏量试验，由于此类管道大都输送具 有一定纯度的各种特种气体，为避免污染和吹净水分的复杂过程 所以不能采用水压试验，本条规定采用高纯氮气或高纯氩气进行 气压试验。 气密性试验或泄漏量试验时间为24h，为避免昼夜温度变化 和长时间试验时的压力波动，所以应记录整个试验过程的温度、压 力变化，并对记录值进行温度、压力修正后压降值不得超过1%。

13.3.1本条是对特种气体管路施工安装后的外观检查等作出的 规定。 2、3这两款针对管路施工出现的弯管裂纹或焊缝质量作出 了规定，其中对于焊缝凹陷度、凸起度、错边和焊缝宽度等量化数 据的规定是根据近年来的工程实践的分析、统计作出的推荐性规

试验和气密性试验或泄漏量试验，由于此类管道大都输送具 定纯度的各种特种气体，为避免污染和吹净水分的复杂过程 不能采用水压试验，本条规定采用高纯氮气或高纯氩气进行 试验。 气密性试验或泄漏量试验时间为24h，为避免昼夜温度变化 时间试验时的压力波动，所以应记录整个试验过程的温度、压 化，并对记录值进行温度、压力修正后压降值不得超过1%。 压力试验的压力修正公式如下：

武中Pi—初始表压(bar); P,最终表压(bar);

Patm 大气压力SL 758-2018标准下载，通常为1.01bar（a）； Ti——初始周围温度K(=℃十273.15）; T,—最终周围温度 K(=℃ +273. 15)。

Patm 大气压力，通常为1.01bar（a）； Ti——初始周围温度K=℃十273.15); T,最终周围温度 K(=℃+273. 15)。

表9管道吹扫气体流罩

水分测试要求：为保证高纯气体系统的水分含量及系统的纯 度，需要进行水分分析。一般情况下，直接阅读水分分析仪的显示 数值；水分分析仪器有很多种，它的测量方式主要有电化学测量法 和光学绝对测量法。 氧分分析的目的和水分分析一样，也是检查气体系统纯度的 一种方式，一般情况下，直接阅读氧分分析仪的显示数值，电子行 业所用的氧分分析仪器主要为电化学分析仪器

GBT35637-2017 城市测绘基本技术要求3.4气体探测与监控系统验收

13.4.1、13.4.2这两条规定了特种气体系统的气体探测、监控系 统施工验收时，应进行的检查和功能模拟试验的内容，这些内容是 衣据近年来国内电子工厂特种气体输送系统的施工安装工程实践 的经验，进行认真分析、总结作出的，表10中的气体探测、监控系 统检查、验收内容是一些工程公司实际使用的验收表格，供使用者 参考。

0特种气体探测、监控系统验收表