GB／T 38341-2019 标准规范下载简介
GB／T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法.4.4.3样品检验的准备
图1温度循环周期内的时间分布要求
试验后立即取出器件，自然升温/降温2h～48h至室温GB 51428-2021 煤化工工程设计防火标准.pdf，最长应不超过96h，然后在标准试验条件 下进行测试
4.2.4.4.4失效判据
GB/T383412019
组）器件如有内 b）采用红外光学检测，若器件内部有粘附等现象，即判定器件失效； c）采用X光成像检测，若器件内部有引线脱落、粘附等现象，即判定器件失效。 如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有结构材料疲劳和未检出的其他失效
4.2.5恒定湿热加速试验
由于MEMS器件在工艺、结构、封装上的特点，其在温度、湿度作用下可能会出现诸如粘附、应力等 可靠性等问题。本试验是针对温度、湿度作用的加速试验。表6中不包括的条件可参照 GB/T2423.3—2016的方法
装等材料含水量增高，从而可能造成 器件失效或者在其他载荷作用下产 不带电工作的情况下确定MEMS器件在温 环境下工作的器件
验设备包括一台能工作在规定温度、湿度下工作的温湿度试验箱和4.2.5.4.4中的相关设备。 店
4.2.5.4.1试验箱的维护和初始处理
应对温湿度试验箱的结构、负载、监测位置和气流进行必要的设计和调整，从而保障监测到的温 度达到要求。试验计时开始前应保留足够的升温、加湿时间，以保证所有待测样品温度、湿度月 。
4.2.5.4.2试验条件和试验时间
表6恒定湿热加速试验条件
4.2.5.4.3样品检验的准备工作
试验后立即取出器件，在标准环境中自 股度试验应在48h内完元 ，如需延长放置时间，应将样品保存在密封袋中，可以延长至96h，然后在标准试验条件下进行测
4.2.5.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定为失效： a） 器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效； b 采用红外光学检测，若器件内部有粘附等现象，即判定器件失效； c）采用X光成像检测，若器件内部有粘附等现象，即判定器件失效， 如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有未检出的其他失效
4.2.6高压湿热试验
由于MEMS器件 时、大力等 可靠性问题。将处于不带电工 、湿度、压力环境中可以极大地加速 温度、湿度的作用。本试验是比 更快的加速方案
本试验在器件不带电工作的情况下确定MEMS器件在温度、湿度环境下的可靠性。
试验设备包括一台能工作在规定温度、湿度、气压下工作的加压温湿度试验箱和4.2.6.4.4中的 备。
4.2.6.4.1试验箱的维护和初始处理
应对温湿度试验箱的结构、负载、监测位置和气流进行必要的设计和调整，从而保障监测到的温度、 湿度、气压达到要求。试验计时开始前保留足够的升温、加湿、加压时间，以保证所有待测样品温度、湿 度尽量均勾，且压力不会突变。
4.2.6.4.2试验条件和试验时间
表7规定了最低试验温度、湿度 度，若无其他规定，试验时间应不小于 采用试验余件A
表7高压湿热试验条件
4.3样品检验的准备工
试验后器件在标准环境中自然散热和散湿2h～48h，一般湿度试验应在48h内完成测试，如需延
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长放置时间，应将样品保存在密封袋中，可以延长至96h，然后在标准试验条件下进行测试。
4.2.6.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定为失效： a）器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效： b）采用红外光学检测，若器件内部有粘附等现象，即判定器件失效； c）采用X光成像检测，若器件内部有粘附等现象，即判定器件失效。 如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有未检出的其他失效
4.3.1机械冲击试验
由于MEMS器件在工艺、结构和封装上的特点，其在高冲击下可能会出现断裂、粘附等可靠性 考虑到MEMS器件具有在某一方向上对冲击敏感的特征，因此试验的冲击方向应尽量和敏感 同。
粘附等失效。本试验在器件不带电工作的 确定器件在较高冲击和高冲击下的可靠性
试验设备包括一台能够达到规定加速度值、脉冲宽度的冲击台和4.3.1.4.4中的相关设备。 租度
4.3.1.4.1试验设备的维护和初始处理
将冲击台安装在牢固的固定台面上，并应将设备调至水平。所有冲击台均应配有可在X、Y、 X、一Y、一Z六个方向调整的夹具。通常夹具应为金属制作，如钢、铜、铝等，并用螺栓固定在冲司 冲击试验前应使用冲击台装载夹具后进行预冲击，并应调整设备参数使测量得到的参数满足孝 后再加载器件进行冲击
4.3.1.4.2试验顺序
器件在X、Y、Z和一X、一Y、一Z共六个方向上依次承受规定的冲击次数、冲击加速度和股 度。
4.3.1.4.3试验条件
表8机械冲击试验条件
4.3.1.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定为失效： 器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效； b 采用红外光学检测，若器件内部有断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效； c）采用文光成像检测，若器件内部有引线脱落、断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效 如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有未检出的其他失效。
4.3.2随机机械振动试验
由于MEMS器件在工艺、结构 会出现疲劳、碎屑转移等可靠 性问题。考虑到MEMS器件往往具有在 二对振动敏感的特征，而碎屑的移动往往也在某一方 可上比较容易出现，因此试验的振动入 个敏感方向
振动环境可能造成器件发生碎屑移动和疲劳，最终造成失效。本试验在器件不带电工作的情况 MEMS器件在长期振动下的可靠性
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试验设备包括一台能够达到规定振动频率范围、功率谱密度、均方根加速度的振动台和4.3.2 的相关设备。
将振动台安装在牢固的固定台面上，并应将设备调至水平。所有振动台均应配有可在X、Y、Z三 个方向调整的夹具。通常夹具应为金属制作，钢、铜、铝等材料均可以，并用螺栓固定在振动台上。
4.3.2.4.2试验顺序
器件在X、Y、Z共三个方向上承受规定的振动时间.振动g值和频率。
4.3.2.4.3试验条件和试验时间
按表9规定的试验条件进行振动试验。振动台应配有监测g值和振动频率的传感器。均方根加 速度的实测值与规定值的误差应不超过士1%，频率的实测值与规定值的误差应不超过土1%。应使用 相应的分析软件或计算软件换算频率范围、功率谱密度、均方根加速度。试验时间应不少于1h。试验 后可立即对器件进行测试。宜使用试验条件A
表9随机机械振动试验
4.3.2.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定为失效： a）器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效； b）通过红外光学检测，若器件内部有碎屑等现象，即可判定器件失效； c）通过X光成像检测，若器件内部有碎屑等现象，即可判定器件失效。 如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有未检出的其他失效
由于MEMS器件在工艺、结构、封装上的特点，其在温度、湿度和冲击下耦合作用可能更易出现粘 附等可靠性问题，因此应进行耦合试验。但考虑到某些MEMS器件具有开放性的封装，其存储和工作 环境受到一定限制，因此在4.4.1.4.2中除立即试验外增加了可以进行散湿的规定。
本试验在器件不带电工作的情况下确定MEMS器 、湿度和冲击下耦合作用的可靠性。
试验设备为4.2.5.3规定的设备，4.3.1.3规定的设备，见表9
备的维护和初始处理按4.2.5.4.1和4.3.1.4.1的起
4.4.1.4.2试验顺序
首先进行恒定湿热加速试验，之后立即进行机械冲击试验。机械冲击试验遵循4.3.1.4.2规定的试 验顺序。如果待测器件具有明确的散热和散湿需求，可让器件在恒定湿热加速试验后，在标准环境中自 然散热和散湿2h～48h，湿度试验应在48h内完成测试，如需延长放置时间，应将样品保存在密封袋 中，可以延长至96h，然后进行机械冲击试验
4.4.1.4.3试验条件和试验时间
怕定亚热加速试验按4.2，5，4 条件；耦合试验可以从两组条件中选取进行组合，恒定湿热加速试验条件宜选取A，机械冲击试验条 件宜选取F，见表9。
4.4.1.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定为失效： a）器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效； b）采用红外光学检测，若器件内部有断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效； c）采用X光成像检测，若器件内部有引线脱落、断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效
如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有未检出的其他失效。
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由于MEMS器件在工艺、结构、封装上的特点，其在高温和振动耦合作用下可能更易出现粘附 性问题，因此应进行耦合试验
本试验在器件不带电工作的情况下确定MEMS器件在温度和振动耦合作用下的可靠性。
式验设备为4.2.2.2规定的设备，4.3.2.3规定的设备
4.4.2.4.1试验设备的维护和初始处理
试验设备的维护和初始处理按4.2.2.3.1和4.3.2.4.1的规定
试验设备的维护和初始处理按4.2.2.3.1和4.3.2.4.1的规
4.4.2.4.2试验顺序
4.4.2.4.3试验条件和试验时间
高温贮存试验遵循4.2.2.3.2规定的试验条件和试验时间，随机机械振动试验遵循4.3.2.4.3 试验条件。耦合试验可以从两组条件中选取进行组合，高温贮存试验条件宜选取B，随机机械振动 条件宜选取A，见表9。
4.4.2.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手， 无法实现其指标中的功能即判定为失效 电路获得的检测码判定器件是否失效； b）采用红外光学检测，若器件内部有 、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效： c）采用光成像检测，若器件内部有引线脱落、断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效 如有必要可进一步进行破坏 是否有未检出的其他失效
由于MEMS器件在工艺、结构、封装上的特点，其在低温和振动耦合作用下可能更易出现粘附 性问题，因此应进行耦合试验。
验设备为4.2.3.2规定的设备，4.3.2.3规定的设备
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维护和初始处理遵循4.2.3.3.1和4.3.2.4.1的规
4.4.3.4.2试验顺序
4.4.3.4.3试验条件和试验时间
低温贮存试验遵循4.2.3.3.2规定的试验条件和试验时间，随机机械振动试验遵循4.3.2.4.3规 验条件。耦合试验可以从两组条件中选取进行组合，低温贮存试验条件宜选取A，随机机械振动 件宜选取A，见表9。
4.4.3.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定为失效： a）器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效； b）通过红外光学检测，若器件内部有断裂、碎屑、粘附等现象，即可判定器件失效； C 通过X光成像检测，若器件内部有引线脱落、断裂、碎屑、粘附等现象，即可判定器件失效。如 有必要可进一步进行破坏性物理分析，用以确定是否有未检出的其他失效
由于MEMS器件在工艺、结构、封装 在砸热和振动滴合作用下可能更易出现稻附等 问题，因此需要进行耦合试验
设备为4.2.5.3规定的设备，4.3.2.3规定的设备
4.4.4.4.1试验设备的维护和初始处理
试验设备的维护和初始处理遵循4.2.5.4.1和4.3.2.4.1的规定
GTCC-084-2018 电气化铁路27.5kV单相交流交联聚乙烯绝缘电缆-铁路专用产品质量监督抽查检验实施细则4.4.4.4.2试验顺序
恒定湿热加速试验和随机机械振动试验同时进行。随机机械振动试验遵循4.3.2.4.2规定的试验 顺序。
.4.3试验条件和试验目
恒定湿热加速试验遵循4.2.5.4.2规定的试验条件和试验时间；随机机械振动试验遵循4.3.2.4.3
规定的试验条件。耦合试验可以从两组条件中选取进行组合，低温贮存试验条件宜选取A，随机机械振 动试验条件宜选取A.见表9
验条件。耦合试验可以从两组条件中选取进行组合，低温贮存试验条件宜选取A，随机机械振 件宜选取A.见表9
DB11T 1297-2015 绿地节水技术规范4.4.4.4.4失效判据
根据不同器件采用相应的功能测试手段，如器件无法实现其指标中的功能即判定失效： a）器件如有内置检测电路，可根据内置检测电路获得的检测码判定器件是否失效； b）采用红外光学检测，若器件内部有断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效； c）采用X光成像检测，若器件内部有引线脱落、断裂、碎屑、粘附等现象，即判定器件失效。 如有必要可进一步进行破坏性物理分析，以确定是否有未检出的其他失效
测试失效定义为性能参数不符合测试的器件规范。任何由于环境测试导致的外部物理破坏的器件 也应被认为是失效的器件。如果失效的原因被商和使用者认为是非正确运转、静电放电或其他与测 试条件不相关的原因，就不对这类失效进行统计，但应作为提交数据上报，