标准规范下载简介
GB／T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语.pdfICS 01.040.71;71.040.99 CCS G 04
GB/T21636—2021/ISO23833:2013 代替GB/T21636—2008
微束分析 电子探针显微分析（EPMA) 术语
某教学楼施工组织设计电子探针显微分析（EPMA) 术语
国家市场监督管理总局 发布 国家标准花管理委员会
引言 范围 规范性引用文件 缩略语 电子探针显微分析用一般术语定义 描述电子探针显微分析仪器的术语定义 用于电子探针显微分析方法的术语定义.·
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电子探针显微分析(EPMA)是微束分析（MBA)领域中一个应用极为广泛的现代技术。电子探针 显微分析能对固体材料（包括金属、合金、陶瓷、玻璃、矿物、聚合物、粉末等）的微米尺度范围内进行元素 定性、定量分析及显微结构分析，已广泛应用于材料科学、高技术产业、基础工业、农业、冶金、地质、生 物、医药卫生、环境保护、商检贸易乃至刑事法庭等领域。各技术领域的术语标准是该领域标准化发展 的先决条件之一，本文件是有关电子探针显微分析的术语。 电子探针显微分析是一门综合性的技术，术语涉及物理、化学、电子学等广泛的学科领域。本文件 只限于定义电子探针显微分析（EPMA)标准化实践中使用和直接有关的术语，其内容包括： 电子探针显微分析用一般术语定义； 一描述电子探针显微分析仪器的术语定义； 用于电子探针显微分析方法的术语定义
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电子探针显微分析（EPMA）术语
电子探针显微分析（EPMA）术语
本文件界定了电子探针显微分析（EPMA)实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析 方法分类的特定概念的术语。 文件中通用术语的定义
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电子探针显微分析用一般术语定义
电子探针显微分析electronprobemicroanalysis;EPMA 根据聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的体积相互作用激发X射线的谱学原理，对电子激发体 积内的元素进行分析的技术。
电子探针显微分析electronprobemicroanalysis；EPMA 根据聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的体积相互作用激发X射线的谱学原理，对电子激发体 积内的元素进行分析的技术
定性电子探针显微分析qualitative EPN
通过标识X射线谱峰的方法来鉴别试样电子激发体积中元素组成的电子探针显微分析方法。
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质豪减系数massattenuationcoefficien
原子中特定内壳层/亚内壳层的所有电离而产生的系列特征X射线
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5描述电子探针显微分析仪器的术语定义
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5.1.4.1 物镜像差objectivelensaberration 导致电子探针聚焦状态不良的各种物镜缺陷（例如球差、色差、衍射等）。 5.1.4.2 物镜光阑objectivelensaperture 置于物镜上方的轴向开孔薄片，它限定聚焦电子束发散角以减小球差。 注：光的选择通带是通过一个外部滑杆来调节。 5.1.4.3 物镜电流objectivelenscurrent 流经物镜线圈产生聚焦磁场的可调电流。 5.1.5 工作距离workingdistance 物镜极靴下表面与试样表面之间的距离。 注：曾定义为物镜主平面与试样表面之间的距离。 5.2 电子束electronbeam 《电子光学》被电子光学系统聚焦到试样表面之前的一束电子。 5.2.1 束流beamcurrent 电子束中的电流。 注：见电子束(5.2)。 5.2.1.1 束流密度beamcurrentdensity 单位电子束面积的平均束流。 注：单位用安培每平方厘米（A/cm*）表示。 5.2.1.2 束流稳定性 beamcurrentstability 束流随时间的变化。 注：见束流(5.2.1)。 5.2.1.3 束径beamdiameter 包含总束流特定分数（如总束流的80%）的束斑直径。 注1：见电子束(5.2) 注2：束径可由电子束的垂直截面直径上束流峰值的半高宽（FWHM)进行测量。 5.2.2 法拉第杯Faradaycup 捕捉入射束流并忽略背散射和二次电子发射以及光电效应引起的电流损失的特殊靶体 注：法拉第杯通常用直径约100μm的金属光阑覆盖在一块钻有盲孔的碳块上构成。 5.3 电子探针electronprobe 《电子光学》电子光学系统聚焦到试样上的电子束。 注1：《仪器》见电子探针显微分析仪（4.2）。 注2：在试样表面上的典型束径为纳米至微米范围。
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一种用灰度或颜色显示元素定量浓度的X射线面分布图像，其中每个像素的元素成分都进行了定 量校正。
或颜色显示元素定量浓度的X射线面分布图像，其中每个像素的元素成分都进行了定
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点绘面分布图dotmapping
路基土石方工程专项施工方案一种用点的黑白两种状态来显示该位置X射线强度的面分布图。
边缘效应edgeeffect
由于试样突起或者不平部分的边缘产生二次电子数量增加，而使二次电子图像中该位置 的现象。
5#-7#楼外墙涂料施工方案图像村度imagecontrast
图像分辨率imageresolution
用能谱仪或波谱仪输出的特征X射线计数率，来调制显示器上对应电子束在试样位置的亮度而形