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GB 51401-2019：电子工业废气处理工程设计标准（无水印 带标签）

7.4.4挥发性有机物气体热氧化净化效率取决于氧化温度

旋转阀和清洗功能，RRTO进出气配向阀采用圆形连续式旋转， 克服传统式蓄热氧化设备背压波动、阀门泄漏问题，加上设计有废 气吹扫区，能在吸放热切换时将蓄热床未热氧化的残余废气吹人

炉膛氧化，较好克服了VOCs去除效率波动问题，见图3。旋转蓄 热氧化设备根据风量不同一般划分为6个以上的偶数区（2n，n≥ 3），其中n一1个区为进气，n一1个区为出气，一个区为吹扫区，一 个区为待机区。吹扫风量不小于总风量的1/6。吹扫风由吹扫风 机提供压力，静压不小于3500Pa。床层厚度根据蓄热效率确定： 断面流速通常为1.3m/s~2m/s（标准工况下）。

图3旋转蓄热氧化设备示意图

7.4.6挥发性有机物气体热氧化净化效率取决于氧化温度、停留 时间、供氧量及气流紊动混合程度，催化剂能降低对氧化温度的要 求，但催化氧化也要在一定的温度下进行，同时文要防止温度过高 造成催化剂的烧结失活，因此要求催化温度控制在350℃~ 500℃JGJ／T 403-2017 建筑基桩自平衡静载试验技术规程(完整正版、清晰无水印)，停留时间不小于0.75s。催化区域的断面风速一般在 1.3m/s（标准工况下），一方面控制设备断面面积，另一方面保持 系流传质条件。要通过设计换热器将挥发性有机物废气预热升温 至280℃以上，再通过电加热等方式加热到350℃后再进入催化反 应器。催化装置启动时，需先以新鲜空气通过电加热等方式加热 到350℃循环预热催化剂及反应器，暖机时间约为110min，待催化 反应器到达350℃并且充分预热后，处理系统才可导入挥发性有 机物废气开始运行。当挥发性有机物废气中的浓度、成分不稳定 时，加热系统需设置自动调温装置，并维持出口温度不大于

550℃，避免催化剂烧结失效

50C，避免催化剂烧给天效 7.4.7挥发性有机物废气氧化净化效率取决于氧化温度、停留时 间、供氧量及气流素动混合程度，催化剂可降低对氧化温度的要 求，但催化氧化也要在一定的温度下进行，同时又要防止温度过高 造成催化剂的烧结失活，因此要求催化温度控制在280℃~ 500℃，停留时间不小于0.75s。 7.4.8系统各部件采用的材料要具有耐受冷凝液腐蚀的能力，以 免出现漏液或漏气。预过滤系统主要用来去除易于污损换热面的 颗粒物质。控制设备压降主要是需要减少系统的压损。考虑到液 体收集罐可能因收集的挥发性有机物气体的挥发逸散或装卸、洒 漏等，在其周边造成挥发性有机物气体的浓度超过气体爆炸下限 值（LEL），因此要求在液体收集罐周边的区域配置可燃气体报警 装置。

1.5.1本条是对安全保护装置自

7.5自动控制及安全措施

电子行业的生产设备一般采用负压操作，如排风出现故障，设 备为非负压状态或负压值不能满足设定的负压要求，生产设备将 因连锁装置而出现停机，因此通过设置排风量过低保护装置可有 效保障生产的正常进行（为保证正常生产要确保最低排风量）。 由于挥发性有机物气体的浓度存在波动性，当蓄热氧化设备 的入口浓度太高时，会造成炉膛温度过热引起事故，因此从安全的 鱼度出发要求蒸执氧

况，从保障每台生产设备正常工作条件的角度出发，排风支管

7.5.3保障设备连续稳定的运行，需考虑配置一些关键设备

数的监测设施，如氧化工艺的温度，排气CO浓度，吸附装置的 差、温度等，同时需配置一些日常操作及保养所需的辅助设施，

7.5.4本条规定了挥发性有机物排风系统运行监测的内

1排风系统在工艺设备排风出口处监测气体温度（应给出温 度值），以监测异丙醇（IPA）、单甲基醚丙二醇（PGME）是否因高 温发生脱水作用而产生低沸点易燃性的内烯（Propylene）。 2管道系统设置废气温度检测还可以了解热回收设备、吸附 装置、脱附装置等的运行状态，此外北方地区的室外管道温度太低 可能出现凝结水或结冰等现象。 3风管内压力不足意味着管道内的气体流量偏离正常设计 范围，需通过报警提醒运行维护人员注意。 4系统停机报警主要是在非正常停机时提醒运行维护人员注意。

7.5.5从安全的角度出发，要设计安装一定序列的阀组，一方

保证助燃气体稳定可靠的供应，同时防止回火等安全问题。

8.1.1本条规定了特种废气处理系统的设置要求。

1特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式、淋 洗式、等离子式等。 3尾气处理设备的入口、设备腔体内、管路以及等离子头等 需要定期清理，短则2个月～3个月，长则3个月～6个月。为了 确保稳定生产，特种尾气设备一般考虑备用。 8.1.2本条规定了管道连接的要求。 1不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体 时，一般采用图4、图7接法；工艺设备不同腔体使用不相容气体 时，要采用图5接法，不要采用图4、图7接法。 2工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应 图4、图5接法；图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞，故 般不采用。

1特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式、淋 洗式、等离子式等。 3尾气处理设备的入口、设备腔体内、管路以及等离子头等 需要定期清理，短则2个月～3个月，长则3个月～6个月。为了 确保稳定生产，特种尾气设备一般考虑备用，

.1.2本条规定了管道连接的号

1不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体 时，一般采用图4、图7接法；工艺设备不同腔体使用不相容气体 时，要采用图5接法，不要采用图4、图7接法。 2工艺设备的排出口与尾气处理设备的进人口，要一一对应 图4、图5接法；图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞，故一 般不采用。

图4设备排出口合用POU

图5设备排出口与POU一一对应

图6设备排出口合并后连接POU 图7不同设备排出口合用POU

8.1.3为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚，要 减少管路中的弯头和变径。当处理气体有含有自燃气体（如硅 烷）、可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸， 要减少管路上的接头。

8.1.8采用淋洗式尾气处理设备时，由于其排出的气体中含有 蒸气，故制定了本条规定。

蒸气，故制定了本条规定

8.2烷类尾气处理系统

1因为硅烷易与空气发生反应，产生二氧化硅，极易堵塞管 道，故需要进行就地洗涤，而采用离子式的方式易堵塞火炬头，故 不推荐。 2对于废气量大的设备宜采用“热氧化十洗涤”的方式，如： CVD；量小的一般采用吸附式的方式，如离子注入机、特气站均采 用吸附式。

3由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高，故推荐此方式。

全氟化合物（PFC)尾气处理系

3.2由于中央废气处理设备对全氟化合物的效率儿乎为“0” 以规定了特种尾气设备的效率。

开以规定了特种尾气设备的效率 8.3.3热裂解包括等离子式和热氧化式。 8.3.4由于全氟化物经POU处理，气体分解后会产生强腐蚀性 的高浓度的氟酸气体，故规定其处理设备的塔体及管道采用耐腐 蚀的材料。

的高浓度的氟酸气体，故规定其处理设备的塔体及管道采用 蚀的材料。

8.4其他特种尾气处理系统

8.4.2外延设备的尾气处理设备处理的尾气中含有氢气，氢气为 燃烧爆炸性气体，从安全角度考虑，制定了本条规定 8.4.4为了避免尾气遇低温时析出粉尘，从而堵塞管路系统，制 定了本条第2款规定

8.4.2外延设备的尾气处理设备处理的尾气中含有氢气，氢气为

8.5中央废气处理系统

8.5.1尾气处理设备处理后还含有污染物，故需要进入中央 处理系统进一步处理。对于外延工序，由于含有氢气，其尾气 设备处理后的气体不要接入中央废气处理系统。

处理系统进一步处理。对于外延工序，由于含有氢气，其尾气处

8.5.3为了避免有害物质外泄制定了本条规定。

2为了避免粉尘堵塞管路系统制定了本款规定。 3采用淋洗方式，粉尘含有水分，会堵塞干式的过滤器

9.1.1寿命设计年限是指在正常运行和维护条件下，除尘设备 系统要能到达的使用年限，一般为20年；不是指滤袋、袋笼、膜 等易损、消耗件的使用寿命。寿命20年是根据众多工程案例所 达到的寿命提出的

等易损、消耗件的使用寿命。寿命20年是根据众多工程案例所能 达到的寿命提出的。 9.1.2废渣在转运和处理过程中，要采取有效的措施避免废渣扩 散形成二次污染。废渣的处理结果及系统运行噪声和系统排放要 不低于国家或地方的相关标准。

散形成二次污染。废渣的处理结果及系统运行噪声和系统排放要 不低于国家或地方的相关标准。

.2系统设计、处理流程及方法

9.2.2除尘系统通常有集中式、分散式、就地式等。尘源众多，且 要求除尘系统集中维护管理的场合建议采用集中式除尘系统；对 于孤立偏远的尘源，建议采用就地式除尘系统。 本条是根据国家的安全生产要求和历年的工程实践经验提出 的，实际工程中可根据工程具体情况做出合理的系统划分。集中 式除尘系统便于管理，经技术经济比较，若工程造价和运行能耗比 分散式少时，优先使用集中除尘方式

9.2.4常见除尘工艺流程见图8

采用吸入式系统可以减少风机的磨损，提高除尘系统的运转 力。采用压入式系统，含尘气体未经除尘器净化先流过风机，风机 的叶轮和机壳极易遭粉尘磨损，同时压入式系统易于粉尘泄漏，污 染环境。因此压入式除尘系统只适用于含尘浓度小于3g/m，粉 尘磨损性弱、力度小的情况。 9.2.5采取压人式除尘系统,需要考虑系统密封不好的粉尘泄漏

9.2.5采取压入式除尘系统，需要考虑系统密封不好I

（a）吸入式除尘系统

（b）压人式除尘系统 图8常见的除尘工艺流程

图8常见的除尘工艺流程

问题，因此对粉尘的物化特性和安全距离有特别要求，目的在于防 止发生意外情况时对周边环境造成不良影响

可题，因此对粉尘的物化特性和安全距离有特别要求，自目的在于防 上发生意外情况时对周边环境造成不良影响。 9.2.6本条规定了除尘器前设置预处理装置的条件。

题，因此对粉尘的物化特性和安全距离有特别要求，目的在于防

2.8本条规定了排风罩的设置

对产生烟（粉）尘的生产设备和部位，要优先考虑采用密团 罩或排气柜，并保持一定的负压。当不能或不便采用密闭罩时， 股根据生产操作要求选择半密闭罩或外部排风罩，并尽可能包围 或靠近污染源；必要时，采取增设软帘围挡，以防止粉尘外溢。逸 散型热烟气的捕集应优先采用顶部排风罩；污染范围较大，生产操 作频繁的场合一般采用吹吸式排风罩；无法设置固定排风罩，生产 间断操作的场合，一般采用活动（移动）的排风罩。排风罩包括固 定式集气排风罩（吸尘罩）、移动式排风罩、手持式排风罩等。 2一般情况下吸气罩罩口不设格栅，但是有些情况下纸屑、 塑料袋等杂质可能进入系统时，要在罩口设置格栅，避免除尘器卸 灰堵塞。 3本款的规定是为了避免吸入物料。 5屋顶罩等大型排风罩采用多个排风口可以及时地排出烟

气，减少烟气外逸，可减少无益空气吸入，从而减少排风量。6排风罩包括下吸式排风罩、侧吸式排风罩、上吸式排风罩或回转式活动排风罩。固定的排风点，一般根据实际情况安装上吸式、侧吸式或下吸式排风罩。9.2.10本条规定了焊接烟气排风系统设计要求3作业时罩口可随焊接点一起移动，以提高烟尘的捕集效果。9.3处理设备9.3.1常用除尘器的类型与性能如表9所示。表9常用除尘器的类型与性能适用范围型式除尘作用力除尘设备种类粉尘粒径浓度温度阻力(μm)(g/m3)(C)(Pa)重力重力除尘器>15>10<400200~1000惯性力惯性除尘器>20>100<400400～1200离心力旋风除尘器>5>100<450800~1500静电力电除尘器>0.05>30<300200~300袋式除尘器干式惯性力、扩散振打清灰>0. 1<50<2601200~2000力与筛分脉冲清灰反吹清灰惯性力、扩散力滤简除尘器>0. 1≤15<130600~1500与凝聚力自激式除尘器<100<400800~3000惯性力、扩散力喷雾除尘器>1<10<400湿式与凝聚力文氏管除尘器<100<8002000~60000静电力湿式电除尘器>0.05<100<400300~400.93.

9.3.5除尘器的效率由入口、出口含尘浓度确定：除尘

3.5除尘器的效率由入口、出口 含尘浓度确定；除尘系统要求 终排放浓度达到排放标准，系统净化效率要根据不同的初含尘 度选择达到充许排放浓度要求的净化效率。

最终排放浓度达到排放标准，系统净化效率要根据不同

3.6本条规定了滤料的性能要求

.6本条规定了滤料的性能要习

4对此类粉尘，光洁度高憎水滤料利于提高清灰效率，避免 粉尘堵塞滤料；当黏性更大时一般采用预喷粉措施，在滤料表面形 成粉饼层，避免黏性粉尘直接粘黏在滤料上，利于清灰，延长滤料 使用寿命；除尘器设置加热、保温措施是为了避免含湿量较大烟气 产生冷凝结露现象，造成粉尘粘黏、板结。 5除尘效率不变的前提下，入口浓度高则排放会过高。在烟 气含尘浓度有波动的工况下要增加末端过滤来保证排放。 7阻燃是指耐高温，燃烧不扩散滤料，滤料无法完全实现 不燃。 9滤料采购时常因技术要求不明确、不完整导致滤料损害和 合同纠纷。因此，该条文一般作为滤料采购技术协议的补充。

9.4.1本条规定了风管的设置要求

9.4.1本条规定了风管的设置要求。 2干管上所连接的支管数量一般不超过6根，主要是从减少 高部阻力和风量平衡角度考虑。 5风管材质通常采用碳素钢Q235。管道所用材料（材质）需 符合相关产品国家现行标准的规定，并有材质合格证明。 8磨琢性粉尘会磨损除尘系统的管道和设备，造成系统瘫 痪。一般硬度高、比重大、粒径大于20μm、带有棱角的粉尘均有 较高的磨琢性；当气流含尘浓度大、流速高时，对管道和设备的磨 损大。

9.4.2风速过低会造成管道积灰

9.4.4风管加固，必要时需设置纵向加强筋，纵向加强筋与 加强筋翼缘焊牢。

10.1.1系统排列一般有下列的情况：

1）采用1炉设置1套收集系统、1套处理系统： 2）采用2炉设置1套收集系统、1套处理系统： （3）采用多炉（1个～10个）设置1套收集系统、1套处理 系统。

0.2系统设计、处理流程及方法

10.2.1两个废气出口一个为起炉烟气出口，另一个为生产烟 出口。 起炉烟气为各窑炉烘炉或起炉空气燃烧时排出的烟气，生 烟气为生产时因物料熔融而产生的烟气。起炉烟气一般不含有 物质，而生产烟气含有有害物质，所以一般分别设置排气系统。

持稳定的工作压力。窑炉生产设备废气出口通常为微负压，该 力对生产效率有很大的影响

都不同，因而所采用的处理方法也有不同。采用喷淋设备、半十 吸收塔处理酸性废气为一般采用的方法。若有氮氧化物的产生 其处理方法按第10.2.6条的说明。

气降温和喷淋降温，采用何种方法取决于采用的生产原料是否有 吸湿的情况（如硼、砷等），脱硝效率与湿度成反比，过高的湿度容 易引起处理设备及风管中产生结晶，所以需确保降温后废气的相

10.2.6本条规定了废气脱硝的方式。 1常温脱硝一般采用化学洗涤，或臭氧（AOP）氧化还原工 艺等方法，但因产生废水，产生水溶化合物的再处理问题，及废 气氮氧化物浓度高等情况，在电子玻璃烟气中很少采用。 2当采用CSCR方案时，脱硝设备包括：氨水外部升温气化 设备、氨水与废气混合设备、废气升温设备（由60℃～80℃提升到 100℃～120℃）、脱硝反应塔（含触媒）、氨逃逸监控、氮氧化物监 控、触媒回收设备等。 4当采用SNCR或HESNCR方案时，脱硝设备包括：含氨 水外部升温气化设备、氨水与废气混合设备、除灰设备、脱硝反应 设备、氨逃逸监控、氮氧化物监控仪表等。 常用的脱硝方式见表10。

表10各种脱硝工艺的比较

10.2.7本条规定是考虑因硼粉尘与氨结晶会毒化催化剂及产生 催化剂氧化问题。 10.2.8本条规定氨的逃逸率不超过8mg/m3依据现行行业标准 火电厂烟气脱硝工程技术规范选择性非催化还原法》HJ563。 脱硝系统设计时要采取控制氨气泄漏的措施，防止二次污染。氨

的逃逸率不超过8mg/m，同时厂界氨气的浓度符合现行国家标 准《恶臭污染物排放标准》GB14554的规定。

10.3.1要采用碳化钨进行喷嘴硬化处理等措施是防止喷嘴 塞。为确保废气以尽可能高的温度进入除尘器，蒸发冷却塔 保温。

10.3.2袋式除尘器的气布比与废气的性质有关系。在纯

10.3.3本条是关于选择性非催化还原法处理设备的要求、

1高效选择性非催化还原法（HESNCR）为SNCR的改进型 （第二代的SNCR系统），有比SNCR更高的脱硝处理效果。 HESNCR工艺通过氨气增温增压混合器，首先常温预先雾化 氨水溶液，然后高温气化并增压，气态氨喷入待处理烟气的脱硝反 应区内，使氨与烟气充分混合并接触反应。在炉膛800℃～ 1100℃这一狭窄的温度范围内，在无催化剂作用下，氨基还原剂选

择性地还原烟气中的氮氧化物，基本上不与烟气中的氧反应，主要 反应与SNCR相同：NH3十NO→N2十H2O。 HESNCR工艺的氮氧化物脱除效率主要取决于适当的反应 温度、氨和氮氧化物的化学计量比、混合程度、反应时间等。研究 表明HESNCR工艺的温度控制至关重要，最佳反应温度是 950℃，若温度过低，氨的反应不完全，容易造成氨泄漏；而温度过 高，氨则容易被氧化为氮氧化物，抵消了氨的脱除效率。温度过高 或过低都会导致还原剂的损失和氮氧化物脱除率下降。通常设计 合理的HESNCR工艺能达到60%～70%的脱除效率。 2反应室可以是熔炉、锅炉或单独设计的反应室，HESNCR 试剂的储存和处理系统与SCR和CSCR系统类似。此系统还原 剂氨，一般采用氨水溶液。

10.3.5本条是关于逆流式活性炭选择性催化还原法处理设备的

1逆流式活性炭选择性催化还原法（CokeSelectiveCatalytid Reaction，CSCR），是一种干式低温活性焦炭脱硝工艺（1oo℃～ 200℃）。CSCR的脱硫脱氮过程在一个反应器内进行，一步处理 即能够达到处理效果。活性焦炭是这一处理过程的关键和重要的 因素。脱硫是利用活性焦炭的吸附特性；脱硝是通过氨、一氧化 氮/二氧化氮和活性焦炭发生催化还原反应而去除。 主要化学反应方程式如下： 6NO+4NH3→5N2+6H,O 6NO2+8NH3→7N2+12H,O 2CSCR脱硝系统有以下几个重要组成成分： （1）鼓风机； （2）气体淬火系统（若需要）； （3）吸收

1逆流式活性炭选择性催化还原法（CokeSelectiveCatalytic Reaction，CSCR），是一种干式低温活性焦炭脱硝工艺（1oo℃～ 200℃）。CSCR的脱硫脱氮过程在一个反应器内进行，一步处理 即能够达到处理效果。活性焦炭是这一处理过程的关键和重要的 因素。脱硫是利用活性焦炭的吸附特性；脱硝是通过氨、一氧化 氮/二氧化氮和活性焦炭发生催化还原反应而去除。

2CSCR脱硝系统有以下几个重要组成成 (1)鼓风机； （2)气体淬火系统（若需要）； （3）吸收塔； （4）解吸塔； （5）催化剂注人系统，传输系统及装卸系统：

（6）氨储存系统，蒸发系统及注入系统； （7）氮气供应系统： (8)控制系统； (9)电气系统

1液氨蒸发器一般为螺旋管式。管内为液氨，管外为温水浴 缓冲槽维持适当温度及压力。通常以蒸汽直接喷入水中加热至 40℃，再以温水将液氨汽化，并加热至常温。 （1）氨气流量受蒸发槽本身水浴温度控制调节。当水的温度 高过55℃时，则切断热源来源，并在控制室DCS上报警显示。 （2)如使用蒸汽作为热源，提供的蒸汽压力一般为0.8MPa～ 1.3MPa，温度280℃～375℃，以此作为蒸发器热源。 （3）蒸发罐上要装有压力控制阀将氨气压力控制在0.2MPa。 当出口压力达到0.38MPa时，切断液氨进料。 （4）蒸发罐安装安全阀，能防止设备压力异常过高。 2液氨经过蒸发器蒸发为氨气后进入气氨缓冲槽，其作用是 对氨气进行一个缓冲作用，保证氨气有一个稳定的压力。氨气缓 冲槽的结构相对简单，主要包括氨气的进出口、安全阀以及排污 阀等。

0.4.1本条是关于风管的规定

1窑炉排放的烟气，计算运行工况下收集系统内烟气体积流 量，此时要考虑温度引起烟气体积流量变化的情况。 6风管要设置一定坡度，如1：100或1：200，以有利冷凝 水的排出，

11.1.1事故排风是保证安全生产和保障人民生命安全的 要的措施。对生产、工艺过程中可能突然放散有毒有害物质 所，在设计中均要设置事故排风系统。

11.1.2本标准根据现行国家标准《工业建筑供暖通风

1.1.3事故排风系统吸风口的位置，在不同情况下要有不同的

设计要求，目的是为了保证有效的排除室内各种有害物质。对于 由于建筑结构造成的有爆炸危险气体排出的死角，例如，在生产过 程中产生氢气的车间，会出现由于顶棚内无法设置排风口而聚集 定浓度的氢气发生爆炸的情况。在结构充许的情况下，在结构 梁上设置连通管进行导流排气，以避免事故发生。

不 的后勿或柠正不能仪依 于人为发现、人为控制，条件具备时要引入自动控制系统，以增 其可靠性，能使事故排风系统及时投入运行，但手动控制依然作 最基本的控制方式予以保留

11.1.6事故排风系统（包括兼作事故排风用的正常排风

通风机，其开关装置装在室内外便于操作的地点，以便一旦发生紧 急事故时，使其立即投人运行。为了保证事故排风系统的运行可 靠性，其供电系统不要低于工艺设备供电负荷等级

11.1.7排风系统需考虑风量的平衡，有排风、有进风，才能保证 气流通畅，确保通风效果。 11.1.8第1款、第2款规定是为了避免事故排风系统排出的有 毒有害气体未经充分扩散、稀释而降落地面，被人员吸入，故需高 空排放。第3款规定是为了保证人员的生命安全和健康。

11.2.1对于高大厂房，按整个车间12次/小时换气计算事故通 风量时，事故通风系统庞大，且事故通风量不一定合理，因此规定 厂房以6m高度为限。当房间高度小于或等于6m时，按房间实际 容积计算；当房间高度大于6m时，按6m的空间体积计算。通过 合理布置吸风口，可以让事故通风系统发挥最大的作用。吸风口 的布置要符合本标准第11.1.3条的规定

11.2.2事故排风能够由经常使用的排风系统和事故排风系统 同保证。

物质浓度要不高于立即危害生命和健康浓度值的50%。最经江 的方法就是稀释排放，但有些有毒物质充许的立即危害生命和 康浓度值较低，当最大事故泄漏量较大时，如采用稀释排放，则月 需的稀释风量巨大，明显不经济，此时采用吸附或洗涤等处理方玉 是较为合理的方案。

11.2.6由于砷烷和磷烷难溶解于水，采用淋洗方式几乎无效，所 以一般采用吸附方式处理。而微电子厂房常用的乙硼烷能用吸 附,也能用洗涤方式处理。

要求。 1采用稀释方式处理事故排风时，如果稀释排风系统中带有 多个有毒有害物质储存和输配系统，此时系统的稀释风量要满足 系统中任意一个储罐和相关的输配系统发生事故时所需的稀释风 量，所以系统的稀释风量要取各种有毒有害物质稀释至立即危害 生命和健康浓度（LDHL）所需空气量中的最大值。 2当采用稀释方式处理事故排风时，从有毒有害物质泄漏处 进入稀释空气，是最为安全、有效的方式，使系统中绝大部分空气 均处于立即危害生命和健康浓度值以下。

11.2.8本条规定了用吸附方式处理事故排风设计时的要求

1设计吸附处理系统应考虑的因素。 2对于固定床吸附处理设备，由于吸附材料在事故排风系统 运行过程中是不能添加的，所以吸附材料的装填量要大于完全吸 附系统中最大储存量的有毒有害物质全部散出时的吸附材料需 求量。 3与上一款的理由相同。吸附设备的吸附速率不能低于完 全吸附系统中最大泄漏量的有毒有害物质散出时所需的吸附速 率，以保证所有泄漏的有毒有害物质被全部吸附。 4平时每次更换储罐的吹扫气体量并不大，但也会使吸附设 备中的部分吸附材料失去吸附能力，导致事故排风时的吸附能力 不够，所以更换储罐的吹扫气体需另设置吸附处理系统或接入其 他的废气处理系统。另外，日常不启动时因为水分的吸收需要定 期确认吸附材料的损伤状态。当有毒有害物发生泄漏，且事故排 风系统启动后吸附材料也需要更换。

1直立填料洗涤式废气处理设备虽然接管复杂，运行阻力稍 高，但理论上具有最佳的气液质交换效果，且事故排风系统为偶尔 运行，运行阻力稍高不应作为主要的考量因素，所以要优先采用。 2如果事故排风系统废气处理设备的循环泵平时不运行，当

有毒有害物质发生泄漏而启动事故排风机时，假如事故排风点与 废气处理设备间的距离较短，很有可能发生含有毒有害物质的事 敌排风到达处理设备时，处理设备中大部分填料还未润湿，起不到 处理效果，事故排风系统排出口的有毒有害物质浓度超标，所以循 环泵平时要保持低速运行，以保证填料始终处于湿润状态。 3当事故排风点与废气处理设备间距离足够长时，通过计算 确认，启动循环泵后填料润湿的时间，短于启动事故排风机后含有 毒有害物质的空气到达废气处理设备的时间，洗涤液循环泵能仅 在发生事故时先于事故排风机启动，但为了防止启动循环泵时发 生瞬时抽空现象，废气处理设备的储液箱容量需足够大。 4有些有毒有害气体淋洗处理后会形成酸雾，如HC1气体 淋洗后将形成HCI雾，所以废气处理设备后需装设除雾器，以防 止酸雾排人大气，影响处理效率。 5为保证废气处理设备能连续、稳定、高效的工作，需设置自 动补液和排液系统。 11.2.10电子工业生产过程中使用的砷烷、磷烷、乙硼烷、三氯化 硼等极毒和剧毒物质一旦发生泄漏事故，对人员生命健康有很大 的危险，所以其储存和输配场所需设置可靠地排风系统

12.1.1电子工业废气处理装置在停电后，会造成工艺设备停机， 产品报废，经济损失较大，所以除小批量生产的实验室或试验生产 线外，废气处理装置用电负荷应与工艺设备同等级，并且一般不低 于二级负荷。

12.1.2由于废气处理装置和排风机与工艺设备连锁，一旦

：·出友（生农 仪士 故障会导致工艺设备停机。本条要求废气处理装置供电电源与其 他动力电源分开，以免其他设备故障时对工艺设备的干扰。

12.2.1本条是对突出屋面的废气处理设备和排风管的防雷

E10_JTG_E50-2006公路土工合成材料试验规程12.2.1本条是对突出屋面的废气处理设备和排风管的防雷 要求。 2本款是指含有燃烧爆炸性废气的排放口要符合现行国家

标准《建筑物防雷设计规范》GB50057中第一类防雷建筑物对 口保护范围的有关规定

12.2.2防静电接地做法是按国家现行标准《石油化工静

设计规范》SH/T3097、《电子工程防静电设计规范》GB50611 的有关规定制定的GB 51038-2015 城市道路交通标志和标线设置规范(完整正版、清晰无水印)，

12.2.3考虑到国内电子工厂在工程实际中大部分采用共用接

该电阻值是按现行行业标准《石油化工静电接地设计规范》SH/T 3097中的有关规定制定的。