标准规范下载简介

JCT2372-2016 集成电路用石英舟

IC/T 2372—2016

Quartzboats forICindustry

JC/T 23722016

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447)归口。 本标准负责起草单位：上海强华石英有限公司。 本标准参加起草单位：上海华虹宏力半导体制造有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、久智光电 子材料科技有限公司。 本标准主要起草人：高君、林红斌、杨军、吴长明、周利明、张葆青、周文华、白凤茹。 本标准为首次发布。

CJJ／T 285-2018 一体化预制泵站工程技术标准(完整正版，清晰无水印)本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验万法、 拉验规划 及标志、清洗、包装、运输和贮存。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本 是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分*方法 JC/T2205石英玻璃术语

IC/T2205界定的术语和定义适用于本文件。

按照集成电路制造工艺中对石英舟材料杂质元素含量的要求分为标准级石英舟（S级）和高纯级石 英舟（H级）。

选用标准级和高纯级石

6.1长度、宽度、高度、直径偏差

石英舟的长度、宽度、高度、直径偏差应符合表1的规定，其他未注明偏差尺寸参照B级

IC/T 23722016

表1长度、宽度、高度、直径偏考

王1：A拨 一机床精密加工尺寸。例如：磨削及有模具定位的相关尺寸。 注2：B级一一手工加工尺寸。例如：焊接、手工研削，

百英舟槽部示意图见图1，槽部尺寸偏差应符合表

舟的形位偏差应符合表

JC/T2372—20166.4外观质量石英舟的外观质量应符合表4的规定。表4外观质量项目要求宽度长度允许数量mmmn个/m≤1.0≤5≤2尺寸范围气泡、破皮气泡、≤0.5≤3≤3线、破皮气线、≤0.3≤1≤5通长气线和破皮气泡、破皮气线不准许。焊口处气泡距表面1m深以上时，允许直径小于0.5m，每个焊接处数量不多于3个。气泡大小在壁厚方向尺寸不得超过壁厚的1/3。直径或宽度小于0.1m的气泡或气线数量不计。直径尺寸允许数量色斑颜色mm个/ml≤2.0≤1白点≤1.0≤3色线、色斑≤0.5≤5≤0.5≤2黑色≤0.3≤4其他颜色不允许划伤宽度不大于0.3m，深度不大于0.1m，长度不大于10mm。经抛光处理的划伤是允许的。**片状**不充许，点状**接白点计。经抛光处理后的崩落在下述范围之内允许。崩落长度不大于3m，深度不大于1m：石英管崩落深度小于1/3壁厚。基准面崩落，不允许。云雾允许不明显的云雾存在。在在封闭式腔体内，少量的白烟是允许的。掀痕如在相关尺寸偏差的范围内，允许无明显凸凹的掀痕。炸裂、*纹、生料颗不允许。粒、桔皮、暗疤、透明颗粒每100cm最多允许20个。波纹、沟棱如在相关尺寸和形位偏差范围内允许存在。6.5理化性能6.5.1杂质元素含量标准级(S级）和高纯级(H级)石英舟的杂质元素含量应小于等于表5的要求。

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表5杂质元素含量（最大值）

对于8英寸石英舟在应力仪（可检测检偏镜消光转动角）下检测的检偏镜消光转动角度应小于15度 十以下石英舟在应力仪下通过观察产品各部位颜色判断，呈现均匀的蓝紫色光为合格

GB50204-2015 混凝土结构工程施工质量验收规范7.1 长度、宽度、高度、直径偏差

石英舟的长度、宽度、高度、直径尺寸的测量次数均为一次，实际测量值减公称尺寸为实际尺寸 偏差。 a 长度和宽度偏差：用分辨率值小于等于0.01mm的数显游标卡尺和高度尺测量： 高度偏差：将产品放置在平整度不低于2级的大理石平台上，用分辨率小于等于0.01mm的高 度尺进行测量； 直径偏差：用分辨率小于等于0.01的数显游标卡尺

1槽间距、总槽间距、首槽到基准面距离的尺

用分辨率小于等于0.01mm的三坐标测量机进行测量，在基准上取点建面建立沿舟长度方向的零件 坐标系，然后分别测量得到第一组槽中心点坐标、第二组槽中心点坐标..最后一组槽坐标（同理可得 到任意位置槽的中心坐标；如果基准面面积过小，可以用靠紧基准面的量块代替基准面）。仅对舟长度 方向的坐标进行减法计算，即可得到要求的数据。 这些尺寸偏差的测量次数为一次

JTS 120-2-2018 拦河闸坝工程航道通航条件影响评价报告编制规定7.2.2槽宽的尺寸偏差

用分辨率小于等于0.01mm的塞规或塞尺进行测量，选取首槽、末槽及中间位置的一个槽共三处 量并记录。