JJF 1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.pdf

JJF 1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.pdf
仅供个人学习
反馈
标准编号:JJF 1238-2022
文件类型:.pdf
资源大小:16.8 M
标准类别:电力标准
资源ID:205002
下载资源

JJF 1238-2022标准规范下载简介

JJF 1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.pdf

图7人体放电模型500Q负载放电电流参数校准连接框图

7.2.3.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道,将被校准通道(设置 为放电通道)与地端(设置为地通道)用500Q电阻相连接并接入电流探头,电流探头 正端面向放电通道侧。数字示波器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。 7.2.3.3被校设备设置为人体放电模型,放电电压为1000V。 7.2.3.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度,使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图8所示,测量负载电流峰值IpR、上升时间t,其中负载电流峰值按公式 (1)计算。将测量结果记入附录A表A.3中。 7.2.3.5对于其他放电电压和极性的校准,重复步骤7.2.3.4。 7.2.4机器模型放电短路电流参数 7.2.4.1按图4所示连接仪器。 7.2.4.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道,将被校准通道(设置 为放电通道)与地端(设置为地通道)用短路线相连接并接入电流探头,电流探头正端 面向放电通道侧。数字示波器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。 7.2.4.3被校设备设置为机器放电模型,按表3设置放电电压。

JC/T 2252-2014 喷涂聚脲用底涂和腻子图8人体模型5002负载放电电流参数

7.2.4.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度,使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图9所示,测量短路电流峰值电流Ipl、电流第二峰与第一峰之比Ip2/Ip1 (%)、电流谐振频率f。短路电流峰值按公式(1)计算,将校准结果记人附录A表 A.4中。

图9机器模型放电短路电流参数

7.2.4.5对于其他放电电压和极性的校准,重复步骤7.2.4.3~7.2.4.4。 7.2.5机器模型5002负载放电电流参数 7.2.5.1校准设备连接如图7所示。 7.2.5.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道,将被校准通道(设置 为放电通道)与地端(设置为地通道)用5002电阻相连接并接入电流探头,数字示波 器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。电流探头正端面向放电通道侧。

F 12382022

7.2.5.3被校设备设置为机器放电模型,试验电压设置为400V。 7.2.5.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度,使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图10所示,测量负载电流峰值Ipr和100ns处电流值I100,并将结果记入附 录A表A.5中

7.2.5.5对于一400V放电波形参数的校准,重复步骤7.2.

2.5.5对于一400V放电波形参数的校准,重复步骤7.2.5.4

7.2.6门锁模型放电施加电流

7.2.6.1校准设备连接如图11所示

图10机器模型5002负载放电电流波形参数

标准电阻器组测试夹转BNC同轴电纳

图11锁模型施加电流校准连接框图

7.2.6.2选择被校设备测试座上任一通道作为校准通道,将被校准通道设置为放电通 道,地端设置为地通道。被校设备设置为门锁放电电流输出模式。 7.2.6.3在被校设备输出电流范围内选取电流校准点,一般应包含:最小电流、最大 电流以及50mA,100mA,500mA,1000mA。 7.2.6.4根据设置电流选取标准电阻,阻值选择以保证电流I流过该电阻R产生电压 V在0.1V~5V之间为宜。 7.2.6.5数字示波器输入阻抗设置为1M2,并根据电压幅度选择合适的垂直刻度。 利用数字示波器测量电阻两端的电压,根据公式(2)计算施加电流校准值,将校准结 果记人附录A表A.6中。

式中: I电流幅值,A; V——数字示波器测量电压值,V; R—标准电阻阻值,2.

7.2.7闫锁模型放电施加电压/上升时间

7.2.7.1校准设备连接如图12所示

F 12382022

测试夹转BNC同轴电缆

7.2.7.2选取被校设备测试座上任一通道作为被校准通道,该通道设置为放电通道, 另任选一通道设置为接地通道。被校设备设置为问锁放电电压输出模式。 7.2.7.3在被校设备输出电压范围内选取电压校准点,一般应包含最小电压、最高电 玉和中间点。 .2.7.4数字示波器输人阻抗设置为1M2,并根据电压幅度和上升时间选择合适的 垂直刻度和水平刻度。根据图3中的参数定义,利用数字示波器测量放电电压V和上 升时间t,将校准结果记人附录A表A.7中。 7.2.7.5对于不同的校准点,重复步骤7.2.7.4。

集成电路静电放电敏感度测试设备校准后,出具校准证书。校准证书至少应包含以 下信息: a)标题:“校准证书”; b)实验室名称和地址; c)进行校准的地点(如果与实验室的地址不同); d)证书的唯一性标识(如编号),每页及总页数的标识; e)客户的名称和地址; f)被校对象的描述和明确标识; g)进行校准的日期,如果与校准结果的有效性和应用有关时,应说明被校对象的 接收日期; h)如果与校准结果的有效性应用有关时,应对被校样品的抽样程序进行说明; i)校准所依据的技术规范的标识,包括名称及代号; i)本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明:

k)校准环境的描述; 1)校准结果及其测量不确定度的说明; m)对校准规范的偏离的说明: n)校准证书或校准报告签发人的签名、职务或等效标识; o)校准结果仅对被校对象有效的声明; p)未经实验室书面批准,不得部分复制证书的声明

复校时间间隔由用户根据使用情况自行确定,推荐为1年

F 12382022

表A.1外观及工作正常性检查

表A.2人体模型放电短路电流波形参数

表A.3人体模型500Q负载放电电流波形参数

JJF1238—2022

F 12382022

表A.4机器模型放电短路电流波形参数

表A.5机器模型5002负载放电电流波形参

F 12382022

表A.6问锁模型施加电流

表A.7锁模型施加电压/上升时间

表B.1外观及工作正常性检查

表B.2人体模型放电短路电流波形参数

表B.3人体模型500Q负载放电电流波形参数

JF 1238—2022

F 12382022

表B.4机器模型放电短路电流波形参数

B.5机器模型5002负载放电电流波形参数

F 12382022

表B.6问锁模型施加电流

表B.7白锁模型施加电压/上升时间

C.1短路电流峰值测量不确定度评定

C. 1. 1测量模型

F 12382022

主要项且校准不确定度评定示例

根据短路电流峰值的校准原理,电流校准值由电流探头转换为电压参数,经衰减器 衰减后输入示波器进行测量。短路电流峰值,即为短路电流幅度的峰值,数学表达 武为:

式中: V 示波器测量电压值,V; 短路电流值,A; 电流探头的转换因子,A/V; kA——是衰减器的衰减比例(20dB,0.1)。 从式(C.1)获得相应变量的灵敏系数如下

C.1.2标准不确定度评定

以下以4kV为例进行测量不确定度的评定。在人体模型放电电压4kV处,对应 的示波器测量值为1.335V。 a)电流探头电流转换因子不准引人的标准不确定度分量u1 根据电流探头的技术指标,电流探头转换因子标称值为:5A/V,最大允许误差 为:±3%。为均勾分布,因此有:

A~0.0462A /3 /3

F 12382022

b)固定衰减器衰减值不准引人的标准不确定度分量u2 根据502同轴衰减器的技术指标,衰减值为:20dB,换算为线性为:0.1。衰减 最大允许误差为土3%。为均匀分布,因此有:

0.1×3% A=1.335×20X A~0.0462A 3 /3

c)数字示波器的电压测量不准引入的标准不确定度分量u3 根据数字示波器的技术指标,其电压测量最大允许误差为土2%,服从均匀分布 数字示波器电压测量不准引入的测量不确定度分量为:

d)由测量重复性引人的标准不确定度分量u 在相同测量条件下,重复测量峰值电流10次,得到测量值见表C.1

表C.1峰值电流测量的10次重复测量值

.1.3合成标准不确定度

根据上述分析,峰值电流测量不确定度的分量汇总见表C.2

F 12382022

表C.2人体模型峰值电流测量标准不确定度分

以上四个不确定度分量彼此不相关,所以合成标准不确定度可按下式得到:

取包含因k=2,扩展不确定度为:

扩展不确定度Uel=0.148A/2.81A=5.3

C.2上升时间tR测量不确定度评定

u。=/u+u2十u十u=0.074A

U=ku.=2u,=2X0.074A~0.148

上升时间校准,采用示波器上升时间测量功能直接测量,为峰值电流10%和90 值对应的时间间隔。测量模型为:

tR=t90%×/p=t10%×lm

t 一上升时间校准值,ns; t90%×p 短路电流波形中峰值电流90%幅值对应的时间值,nS; t10%×Ip 短路电流波形中峰值电流10%幅值对应的时间值,nS。 示波器电压测量不准会引起上升时间测量的阈值电压判定(10%和90%峰值电压 的不准确,从而引人测量不确定度分量。C.为示波器电压测量不准引起上升时间测量不 确定度的灵敏系数,由于短路电流上升时间的斜率基本保持不变,可认为10%辐值时 测量引人不确定度分量的灵敏度系数均为上升沿斜率倒数,因此阈值电压判定不准确引 人不确定度分量的灵敏度系数为:

C.2.2上升时间的标准不确定度

a)由示波器时间测量不准引入的标准不确定度分量u1 示波器上升时间测量的水平系数为5ns/div,分辨力为0.5ns,时间分辨力引人的 时间测量不确定度分量为0.25nS。10%电压值和90%电压阈值电流对应时间引人测 量不确定度分量正相关,因此由示波器时间测量不准引人的上升时间测量标准不确定度 分量为u=0.5ns。 b)由示波器电压测量不准引人的标准不确定度分量u2 对于人体模型4kV,对应的示波器测量电压为1.335V,上升时间校准值为

8. 12 ns. 则

c)由测量重复性引入的标准不确定度分量u3 在相同测量条件下,重复测量10次,得到的测量值见表C.3。

F 12382022

8.12ns >12.3ns/V u(tv)=1.335VX1%~0.014V uz =c,Xu(tv)=0. 17 ns

表C.3上升时间测量的10次重复测量值

根据上述分析,上升时间测 确定度的分量汇总见表C.4。

表C.4人体模型上升时间测量标准不确定度分量表

C.2.4扩展不确定度

取包含因k2,扩展不确定度为:

相对扩展不确定度为:14%(k=2)

C.3脉冲持续时间tp测量标准不确定度

JF1238—2022

F 12382022

u.=/u+u,+u~0.54ns

U=ku.=2u.=2X0.54 ns=1.08 ns

脉冲持续时间校准,采用示波器时间测量功能直接测量,为峰值电流和36.8% 电流对应的时间间隔。测量模型为

p=tip=t36.8%×l

tD 一持续时间校准值,ns; tIp 一短路电流波形中峰值电流对应的时间值,ns; 示波器电压测量不准会引起脉冲持续时间测量的阈值电压判定(100%和36.8%峰 值电压)的不确定,从而引人测量不确定度分量。C,为示波器电压测量不准引起脉冲持 续时间测量不确定度的灵敏系数,由于短路电流衰减波形斜率基本保持不变,灵敏系数 为衰减沿斜率倒数的2倍,有:C,2× V, ,其中,V为峰值电压,tD为上升时间。

C.3.2脉冲持续时间测量的标准不确定度

a)由示波器时间测量不准引入的标准不确定度分量u1 示波器进行脉冲持续时间测量的水平系数为20ns/div,分辨力为2ns,峰值电流 和36.8%峰值电流对应时间的测量不确定度分量分别为1ns。由于两者正相关,因此 时间不准引人衰减时间测量标准不确定度分量为u1=2nS。 b)由示波器电压测量不准引人的脉冲持续时间测量不确定度分量u2 对于人体模型4kV,对应的示波器测量电压为1.335V,脉冲持续时间校准值为 138. 02 ns, 则 :

138.02ns Ckv=2X =2× ~206.7ns/V V 1.335V u(tDv)=1.335VX1%~0.014V u2 =Ckv Xu(tpv)=2. 9 ns

)由测量单发生与人的脉冲特续实的时值 测量不确定度u 在相同测量条件下,重复测量脉冲持续时间10次,得到测量值见表C.5。

JJF1238—2022

F 12382022

表C.5脉冲持续时间测量的10次重复测量值

C.3.3合成标准不确定度

公式计算由重复测量引起的上升时间标准

GB/T 37368-2019 埋地钢质管道检验导则标准不确定度分量一览表

取包含因k=2,扩展不确定度为

取包含因k=2,扩展不确定度为: U=ku=2u=2X3.52ns=7.04ns 相对扩展不确定度为:5. 1%(k=2)

取包含因k=2DB11/T 1610-2018 民用建筑信息模型深化设计建模细度标准,扩展不确定度为: U=ku=2u=2X3.52ns=7.04ns 相对扩展不确定度为:5. 1%(k=2)

u=u+u+u~3.52ns

u=u+uz+u~3.52ns

©版权声明
相关文章