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GB／T 27788-2020 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则

ICS 37.020 N32

中华人民共和国国家标#

GB/T27788—2020/ISO16700:2016 代替GB/T27788—2011

MicrobeamanalysisScanningelectronmicroscopy Guidelines for calibrating image magnification

城市综合管廊土建工程施工工艺标准（ISO16700:2016IDT)

GB/T27788—2020/ISO16700:2016目次前言引言范围2规范性引用文件3术语和定义图像放大倍率参考物质6校准过程图像放大倍率和标尺的准确度校准报告附录A（资料性附录）放大倍率参考物质附录B（资料性附录）影响扫描电镜实际放大倍率的参数11附录C（资料性附录）放大倍率测量的不确定度12附录D（资料性附录）检测报告示例13参考文献16库七七W

B/T27788—2020/ISO16700:2016

GB/T27788—2020/ISO16700:2016

扫描电镜广泛用于对许多重要材料如半导体、金属、聚合物、玻璃、食品及生物材料等的表面结构的 观察研究。本标准应用于扫描电镜图像放大倍率的校准，描述了在扫描电镜中使用有证参考物质或参 考物质进行图像放大倍率校准的要求

扫描电镜广泛用于对许多重要材料如半导体、金属、聚合物、玻璃、食品及生物材料等的表面结构的 观察研究。本标准应用于扫描电镜图像放大倍率的校准，描述了在扫描电镜中使用有证参考物质或参 考物质进行图像放大倍率校准的要求

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本标准规定了使用适当的参考物质对扫描电镜（SEM)图像的放大倍率进行校准的方法 本标准适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。 本标准不适用于专用测长型扫描电镜

下列术语和定义适用于本文件。 3.1 扫描电镜 scanningelectronmicroscope SEM 通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。 3.2 图像 image 由扫描电镜（3.1)产生的试样表面的二维表征。 注：用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。 3.3 图像放大倍率imagemagnification 图像显示的线性尺度与试样上被扫描区域的相应线性尺度之比。 3.4 标尺scalemarker 图像（3.2）上表示试样上特定实际长度的线段或间隔， 3.5 参考物质 referencematerial RM 种或多种特性足够均匀和稳定的物质，已被确认适合于在测量过程中使用

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为表示放大倍率，在图像上附加一个标尺和以国际单位制表示的相应长度。它表示试样上的实 度。如图2所示。

图像的放大倍率以代表物体放大倍数的数字加上符号“×”表示（如100×，10000×，10k×或 《100，×10000，×10k，其中100、10000和10k是放大倍数）。 注1：当图像上有标尺显示时，放大倍数可不标出 注2：图像上显示的放大倍率与输出设备有关，输出设备可以是显示器、打印机、或照相设备。图像上显示的标尺与 扫描电镜操作者所选择的输出设备无关。只有当图像在输出设备上显示或被打印出来时，放大倍率才与标尺 相对应。

见ISO导则30。 校准图像放大倍率时，应尽可能选择一个按照ISO导则34制备并按ISO导则35认证的有证参考 物质（CRM）。 若没有合适的CRM,可使用按照ISO导则34制备的RM

5.2CRM的必要条件

所选择的CRM应保证

7882020/IS016700:

在真空中和电子束反复轰击下稳定； 在SEM图像中有较好的衬度； 具有导电性； 可清理去除正常使用过程中产生的污染物而不会引起机械性破坏或变形： 具有相关的有效校准证书

DB13／T 5056-2019 高速公路桥涵预防性养护技术规范5.3CRM上的间距样式

CRM上的间距样式可以是以下形式中的一种或儿种： 正交的十字栅格； 线性阵列； 一点阵列； 一正交的点阵列。 所选择的CRM具有的间距样式至少保证有一个方向可供校准，而且间距的不确定度应与所要求 的准确度相一致。

CRM。有的CRM还含有可以用来检测图像畸变和/或分辨率的其他结构。 注2：有时所选择的一个CRM上具有大小不同的间距样式并足以涵盖需要校准的所有放大倍率范围。也可能需 要用多个CRM来涵盖所需校准的放大倍率范围

在正交的两个方向上进行测量而不必机械旋转 CRM。有的CRM还含有可以用来检测图像畸变和/或分辨率的其他结构。 时所选择的一个CRM上具有大小不同的间距样式并足以涵盖需要校准的所有放大倍率范围。也可能需 要用多个CRM来涵盖所需校准的放大倍率范围

CRM应保存于干燥柜或真空容器中。 注：为了尽可能减少对CRM的触碰DB11／T 513-2018 绿色施工管理规程，可将其永久安装在试样座上。 使用护指套、无尘手套或镊子来安装CRM 目视检查CRM表面有无污染物和损坏，因为这会影响校准。请勿使用已破损或严重污染 的CRM。 用清洁干燥的空气或氮气清除CRM上的灰尘、残留物或其他污染物，注意不要损坏CRM。 定期地通过与其他CRMs的对比来检查CRM的校准效果并记录检查结果。检查的频率视CRM 的特性和使用情况而定。入V CRM只作校准之用。

影响SEM最后放大倍率的参数可引起系统误差。这些参数列于附录B。 SEM的稳定性是决定校准周期的主要因素，开始时有必要经常进行校准以确定SEM的稳定性。 所获得的结果将可提供一个对实验室内部重现性的评估，还可以估算显示器的固有偏差、自动附加 于其他输出设备上的数据的固有偏差。 CRM的选择取决于所使用的放大倍率及所要求的准确度。在本标准中，校准的准确度应保证优 于10%。