标准规范下载简介

GB 51343-2018：真空电子器件生产线设备安装技术标准（无水印，带书签）

6)电气控制柜应就位并完成设备各单元的电路铺设； 7）应配动力电源线，按设备接线图完成配线。

1按照设备平面布置图将测试电源各单元就位； 2）完成电气线路及地线的连接： 3）安装电子管测试系统，备好相关的测试仪器； 4）安装产品专用支撑装置； 5）按产品的冷却要求配备风机或冷却水路。 3微波电子管专用测试系统的安装应符合下列规定： 1按照设备平面布置图将测试电源各单元就位于相应的屏 蔽室； 2)电气线路的安装； 3）高压电气系统的地线应连接至单独敷设的地线； 4）完成微波测试系统的搭建； 5）宜配备好示波器、频谱分析仪、功率计等仪器； 6)完成屏蔽室与外部控制台电气控制电路和各类信号电路 的连接； 7）根据产品的冷却要求配备风机或冷却水路； 8）屏蔽室防护门外应有电磁辐射警告标志。

4X射线管专用测试系统的安装应符合下列规定：

1）按照设备平面布置图将管子电源各单元就位于铅屏 蔽室； 2）完成电源各单元的电路连接； 3）完成地线的连接，高压电路的地线宜单独敷设： 4）准备伦琴计等仪器； 5）安装冷却水管路； 6）完成屏蔽室与外部控制台电气控制电路和测试信号电路 的连接； 7）各管、线安装需穿过铅屏蔽室壁板时DB34／T 1974-2013 在役索道驱动轮轴超声波检测规程，可在壁板的适当位 置开洞，开洞作业不得划伤或污染需保留的壁板内部的 铅材料表面，开洞直径应与安装件直径相符； 8）铅屏蔽室射线防护门外应有电磁辐射警告标志。 真空开关管老炼、测试设备的安装应符合下列规定： 1)X射线实时成像检测系统、真空开关管工频老炼设备、电 流老炼设备、真空度测试设备、工频耐压测试检测设备、 接触电阻测试设备、雷电冲击耐压测试设备等应按照设 备平面布置图直接就位： 2)真空开关管工频老炼设备、电流老炼设备、真空度测试设 备、接触电阻测试设备、工频耐压测试检测设备如纳入自 动化生产线，应按本标准第6.4.6条规定成连线安装； 3）真空关管工频老炼设备、工频耐压测试检测设备、雷电 冲击耐压检测设备等属高压设备安装区域，应考虑与相 邻物体保持足够的耐压距离且应设置专门的地线

6.5.1二次配管配线应在确认真空电子器件生产线设备安装工 程施工工艺条件全部满足后，以及解体设备零部件重新组装后 进行。

次配管配线技术规范》SJ/T11672的有关规定。 6.5.3二次配线施工完成后，应填写《真空电子器件生产线设备 配管配线质量验收记录》和《真空电子器件生产设备压力试验验收 记录》，其内容和格式应符合本标准附录B规定。

1加载试运行应选用成熟产品的成熟工艺，其工艺参数均在 设备的技术指标涵盖范围之内；加载样品材质应与正式产品材质 相同；加载样品预先经过的各种处理应与正式产品相同； 2加载试运行的工艺程序应由设备供货方配合建设单位编 制人工操作程序或自动运行程序，工艺规程应与正常产品的生产 程序相同或相近。 7.1.7调试、试运行结果应填写《真空电子器件生产线设备调试 记录》和《真空电子器件生产线设备试运行记录》，内容和格式应符 合本标准附录B规定

7.2清洗、镀覆设备调试与试

7.2. 1 碱液去油设备调试与试运行应符合下列规定

1清洗工位配置及各工位工作参量指标应满足技术协议 要求； 2传动系统应运行平稳，定位系统应准确可靠； 3管路部分应确认循环泵运行正常无噪声，各阀门灵活可 靠，管路系统无泄漏； 4电气系统应采用五线制，零、地分置； 5 安全防护装置功能应可靠运行； 6 经过去油的零件水膜试验应满足要求。 7.2.2 酸洗设备调试与试运行应符合下列规定： 1 清洗通风柜应设有可封闭的推拉门； 2 排风量应达到设计要求； 3 各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4 上下水路应密封良好、无泄漏； 5 电炉盘应设置绝热板。 7.2.3 镀银设备调试与试运行应符合下列规定： 1电镀场所排风量以及电镀槽口设置的吸风口风压应达到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏； 5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6应配备废电镀液沉淀池。 7.2.4 镀镍设备调试与试运行应符合下列规定： 1电镀场所排风量以及电镀槽门设置的吸风口风压应达到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏；

5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6 镀液管道加热器密封应良好、安全可靠： 7 应配备废电镀液沉淀池。 7.2.5电泳设备调试与试运行应符合下列规定： 1机械传动装置应运行平稳、无噪声； 2电泳电源应达到设备技术说明书指标要求，各仪表指示灯 应工作正常，并应处于仪表校准的有效期内； 3各工位应功能完好，达到设备技术指标要求。

7.2.6真空溅射镀覆设备调试与试运行应符合下列规定：

1真空系统中各真空泵应运行平稳、无异常噪声，真空建立 时间、系统极限真空度应达到设备技术说明书指标要求； 2电气系统中各仪表、指示灯应工作正常并处于校准的有效 期内，各控制元件、联锁装置功能应处于正常状态：； 3机械传动系统的工件架转动应平稳、无明显噪声，炉门应 灵活且密封良好； 4烘烤加热系统的烘烤温度范围、保温功能应达到技术协议 书要求； 5充气系统中的自动压强控制系统应工作正常，各项指标达 到设备技术说明书指标要求： 6真空室内应浩净无杂物。

装配、焊接和排气设备调试与

7.3.1真空钰焊炉（一次封排炉）验收应符合下列规定：

7.3.1真空针焊炉（一次封排炉）验收应符合下列规定： 1真空炉在空载和满载条件下，最高工作温度、真空系统 极限压强、真空建立时间等技术指标应满足技术说明书指标 要求。 2真空系统各单元和管道连接应牢固且密封良好，各真空泵 应运行正常、平稳，各真空阀门应操作灵活且密封良好

3电气系统应符合下列规定： 1）电源开关应灵敏可靠，指示齐全，仪表应在校准的有效 期内； 2加热系统的控制系统应灵敏可靠，可采用手动控制或比 例一积分一微分（PID）调节器控制： 3）电炉丝与隔热屏应绝缘良好； 4）应接地良好，标志明显。 4供水供气管路应密封良好、无泄漏。 5快冷系统应工作正常并达到技术要求，产品出炉应无氧化 现象。 7.3.2×射线实时成像检测系统调试与试运行应符合下列规定： 设备加电后各仪表应显示正常、无报警。 2设备的机械性能应进行下列检查： 1）产品承载台可上下调节及360旋转： 2）承载台旋转速度可调； 3）停位应准确，停位误差应达到技术指标要求。 3成像清晰度、层次性、图像分辨率均应达到技术指标要求 4 故障报警和急停装置操作应可靠。 5 应确认自动扫描功能良好。 6 设备的软件功能应达到设备技术说明书要求。 7.3.3 激光焊接机调试与试运行应符合下列规定： 1单脉冲最大输出能量、脉冲宽度调节范围、脉冲频率可调范 围、发散角、功率不稳定度等激光器指标应满足技术说明书要求： 2光学系统的光斑直径范围应满足技术说明书要求，光路应 显示清晰，调节应灵活； 3工作台的三维行程和旋转轴的定位精度、重复精度应达到 技术说明书要求，且移动平稳自如； 4可实现微机控制操作与手动操作自由切换。

7.3.4氩弧焊机调试与试运行应符合下列规定：

2应选取不同量级经校准的标准漏孔进行检漏，设备漏率的 输出值应与标准漏孔的漏率数值相吻合； 3设备可检的最小漏率应达到设备技术说明书要求。 7.3.7高真空排气台调试与试运行应符合下列规定： 1设备内（外）真空系统极限真空度、真空建立时间、烘箱加 热温度范围等主要技术指标应达到设备技术说明书要求： 2烘箱钟罩应升降平稳，限位应准确可靠； 3真空系统的阀门起团应灵活，并应密封良好； 4电气系统的各电气开关应灵敏可靠，仪表应处于校准的有 效期内，烘箱加热系统应处于正常工作状态，且比例一积分一微分 (PID)调节器性能完好：

5各路冷却水应连接良好、

路冷却水应连接良好、无泄漏

7.4 老炼设备调试与试运行

7.4.1电子管老炼设备调试与试运行应符合下列规定： 各路电源电压调节范围、功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常； 应确认电源电压手动调节、程控自动调节功能正常； 电源开关应灵敏可靠，仪表处于校准的有效期内； 冷却风扇应工作正常。 7. 4.2 真空开关管工频高压老炼设备调试与试运行应符合下列 规定： 1 工频电压调节范围、电源功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常： 3 电源电压手动调节、程控自动调节功能应确认良好； 4 电源开关应灵敏可靠·仪表处于校准的有效期内； 地线应独立设置。 7.4.3 真空开关管电流老炼设备调试与试运行应符合下列规定 电流老炼直流电源的工作电压和电流应满足技术说明书 要求； 2直流电源应具备极性变换功能； 3真空开关管的开、合机构应工作正常； 4真空开关管的开、合与老炼电流通断同步功能应处于正常 工作状态； 5电流老炼程控功能应达到技术说明书要求。 7.4.4氢炉调试与试运行应符合下列规定： 1工作温度、有效容积等设备的主要技术指标应达到设备技 术说明书要求； 2各操作开关、按钮应灵活可靠； 3机械传动系统的升降机构应运行平稳、无震动，并应无明

显噪声；液压系统应润滑良好、无蒲油； 4水流继电器应工作正常，灵敏可靠；炉体安置的防爆膜应 确认良好； 5电气系统的各仪表指示灯及比例一积分一微分（PID)调 节器应处于正常状态； 6 加热元件与炉体部分应有食好绝缘、无漏电。 7.4.5 微波电子管老炼检测系统调试与试运行应符合下列规定： 1 系统各路电源技术指标应达到技术说明书要求； 2 应确认控制台遥控功能正常； 3 系统使用的仪器、仪表应处于校准的有效期内； 4 微波测试系统的元件均应具备合格证或测试参量数据； 5 微波电子管高压电源与测试仪器的接地线应分设； 6 各类屏蔽室应有验收合格证明。 7.4.6 X射线管老炼检测系统调试与试运行应符合下列规定： 1 系统各路电源技术指标应达到技术说明书要求； 2 应确认控制台遥控功能正常； 系统使用的仪器、仪表应处于校准的有效期内； 高压回路与测试系统的地线应分设； 铅屏蔽室应有验收合格证明。

7.5测试设备调试与试运行

7.5.1 电子管测试设备调试与试运行应符合下列规定： 1 设备各路电源电压、功率应满足设备使用说明书要求； 2 测试用仪器、仪表应处于校准的有效期内： 3 控制台遥控功能应正常； 4 对不在专用屏蔽室测试的产品，射频部分防护罩应齐备 7.5. 2 真空开关管真空度测试设备调试与试运行应符合下 规定： 测试电源电压调节范围、功率应满足设备使用说明：

2测试用磁场励磁电源调节范围应满足设备使用说明书 要求； 3应采用标准电阻对采样系统显示的电流数值正确性进行 验证； 4应确认对多种型号产品管内放电电流与管内真空度关系 曲线的储存和调用功能正常； 5 应具备测试数据存储功能； 6 应具备测试完毕电压归零功能。 7.5.3真空开关管工频耐压测试检测设备调试与试运行应符合 下列规定： 1工频电压调节范围、电源功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常； 3电源电压的手动调节、程控自动调节功能均应良好，并应 具备测试工艺规范的设置存储和调用功能； 4 电源开关应灵敏可靠，仪表应处于校准的有效期内； 5 应确认过流保护和报警功能良好。 7.5.4 雷电冲击耐压测试设备调试与试运行应符合下列规定： 1 雷电冲击电压调节范围、电源功率应满足技术说明书 要求； 2 仪表及指示灯应显示正常，仪表应处于校准的有效期内； 3电源电压手动调节、程控自动调节功能均应确认处于良好 状态，并应具备测试工艺参量的设置和存储调用功能； 应其备冲击波形的显示和存储功能； 5 应具备冲击结束后自动接地功能； 6 地线的接地电阻值应达到设备技术说明书要求。 7.5.5 真空开关管接触电阻测试设备调试与试运行应符合下列 规定：

应满定技术说明书要求； 2用标准电阻样块测试其显示值应与样块阻值吻合

自动化生产线联线调试与试运

7.6.1真空电子器件生产线中纳人自动化生产线的设备应单机 验收合格后进行联线设备调试与试运行，调试与试运行应包括以 下内容： 1传送线与设备接口衔接节拍的调试与试运行； 2 机械手与设备接口物件交接可靠性的调试与试运行； 3 设备与电子随工单系统通信正确性的调试与试运行； 机械手活动空间限制措施的调试与试运行。 7.6.2 传送线与设备接口衔接节拍的调试与试运行应符合下列 规定： 1通过遮光或按钮肉眼观察等方式检查传送线监控的敏感 度和正确性； 2对传送线阻挡器可靠性进行检查； 3 对传送线定位准确性进行检查。 7.6.3机械手与设备接口物件交接可靠性的调试与试运行应符 合下列规定： 1机械手与设备物件交接过程中，机械手放置物件应位置 正确； 2机械手与传送线物件交接过程中，机械手抓取物件应平 稳，无明显晃动。 7.6.4设备与电子随工单系统应确认电子随工单系统给设备发 出的指令能准确执行。 7.6.5机械手活动空间限制措施的调试与试运行应符合下列 规定：

.6.5机械手活动空间限制措施的调试与试运行应符合

1检查机械手运行程序运行范围的限定，应确认X 方向上的设定值与现场约束空间一致；

8.1.1真空电子器件生产线设备安装工程验收可分为交接验收 和工验收，

8.1.4项目建设单位在施工结束后应提交工程质

8.2.1项目建设单位应组织设备安装工程施工单位和设计单位 组成验收组，按照设备技术要求、施工合同进行交接验收。 3.2.2： 安装工程施工单位应提交下列资料： 1 设备安装工程施工合同： 2 使用的辅助材料合格证或质量保证书； 3 设备开箱检查记录； 4 设备配管配线质量检验记录：； 5 设备压力试验验收记录： 6 设备调试及技术指标检测记录； 7 设备随机技术文件。 8.2.3 真空电子器件生产线设备交接验收应符合下列规定： 设备开箱应按本标准第6.2节的要求执行； 2二次配管配线工程验收应按本标准第6.5节的要求执行；

机械手工作空间应处于封闭状态。 联线设备调试与试运行应填写《真空电子器件生产线设备 录》，内容和格式应符合本标准附录B规定

0快线设 十 式记录》，内容和格式应符合本标准附录B规定，

3设备技术指标验收应观察设备的实际运行情况，查对《真 空电子器件生产线设备调试记录》，逐一与技术协议中各项技术指 标对照，确认空载运行稳定可靠； 4设备完整性检查应确认设备所有零部件安装到位、固定牢 固可靠、管线整齐美观、表面整洁、安全提示警示到位、技术文件完 整齐套、备件附件齐全； 5设备性能检测的原始记录应由项目建设单位及安装工程 施工单位当事人签字确认，并应归人设备资料档案； 6设备交接验收应填写《真空电子器件生产线设备安装工程 交接验收报告》，内容和格式应符合本标准附录B规定。

8.3.1项目建设单位应组织施工单位、设备供货方、设计单位组 成验收组，根据设计文件、施工合同及设备技术文件逐一进行 验收。

8.3.3验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论，填写

《真空电子器件生产线设备安装工程竣工验收报告》，内容和格式 应符合本标准附录B规定，参加验收各单位代表应签。 8.3.4真空电子器件生产线设备安装工程验收合格后可交付进 行试生产。

8.4验收不合格的处置

8.4.1讠 设备安装工程不满足要求时，应由安装单位进行返工或返 修，然后应对生产设备安装工程重新进行验收。 8.4.23 经返修仍不能满足安全使用和性能要求的设备不得通过

附录A真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件A.0.1真空电子器件生产线设备安装用水的种类及技术要求应满足表A.0.1的要求。表A.0.1真空电子器件生产线设备安装用水的种类及技术指标综合表工程名称..艺平面图号设备名称设备型号国别·制造厂设备位置编号施工单位专业技术负责人项目经理执行标准及编号设备技术要求现场实际情况类25C电阻率温度压力流量25（电阻率温度压力管径材质别(MQ : mm)(C)(MPa)(L/ min)(Mo· mm)(C)(MPa)(mm)纯水循环冷邸水自米水建设单位：监理单位：施工单位：代表（签章）：代表（签章）：代表（签章）：年月日年月H年月日:34:

.2真空电子器件生产线设备安装用工业气体的种类及技 求应满足表 A. 0. 2 的要求。

表A.0.2真空电子器件生产线设备安装用工业气体种类及技术指标

附录B真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表B.0.1真空电子器件生产线设备安装设备开箱检查记录应满足表B.0.1的要求。表B.0.1真空电子器件生产线设备开箱检查记录工程名称工艺平面图号设备名称设备型号国别/制造厂设备位置编号包装检查情况：技术文件交接情况：接受前倾斜是否超限：接受前振动是否超限：设备外观情况：备品、附件及随机工具、量具、仪器明细清单序号名称规格单位清单数实收数质量情况清点零件、部件、附件数量有无缺少，质量有无缺陷、损坏锈蚀及对问题的处理意见：建设单位：供货商检：检验检疫：施上单位：代表（签章）：代表（签章）：代表（签章）：代表（签章）：年月日年月日年月日年月日

B.0.2真空电子器件生产线设备安装质量检验记录内容及格式应满足表B.0.2的要求。表 B.0.2真空电子器件生产线设备安装质量验收记录生产设备工程名称平面布置图号设备名称型号设备位置编号专业技术施工单位项目经理负责人执行标准及编号质量验收标准的规定施工单位检查评定记录建设单位验收记录1平面位置2控制柜安装3底脚固定主特殊基础上平面不平度控5特殊基础水平度项6特殊基础稳定性目特殊基础与配套设备的接触8设备水平度9设备垂直度1特殊基础要求2特殊基础标高般3垫板洁净状况项特殊基础块数目5设备跨壁安装密封6其他施工单位检查结果评定项目专业质量检验员：年月日建设单位验收结论项目专业技术负责人：年月日38:

B.0.3真空电子器件生产线设备二次配管配线质量检验记录应满足表B.0.3的要求。表 B.0.3真空电子器件生产线设备二次配管配线质置验收记录工程名称设备配管图号设备名称型号设备位置编号专业技术施工单位项目经理负责人执行标准及编号质量验收标准的规定施工单位检查评定记录建设单位验收记录1配管材料、材质2管线布置、走向3管道焊接主4支架、焊缝位置控5支吊架间距项6管道压力试验目7配管冲（吹）洗8电线电缆规格、材质9电气线路绝缘10设备、管道接地1管道坡度2螺纹连接般3法兰连接项4不循环管道长度目5阀门安装6施工单位检查结果评定项目专业质量检验员：年月日建设单位验收结论项目专业技术负责人：年月日:39:

B.0.4真空电子器件生产线设备压力试验检验记录应满足表B.0.4 的要求。表 B.0.4真空电子器件生产线设备压力试验验收记录工程名称设备配管图号设备名称型号设备位置编号专业技术施工单位项目经理负责人执行标准及编号质量验收标准的规定施工单位检查评定记录建设单位验收记录1自来水管压力试验2纯水出口水质监测3冷却水压力蓝测主压缩空气洁净度监测控5设备配管气密性项6与废气处理的连接目7与废水处理的连接般项目施工单位检查结果评定项目专业质量检验员：年月日建设单位验收结论项目专业技术负责人：年月日:40:

B. 0. 5 真空电子器件生产线设备调试记录应满足表B. 要求。

表 B. 0. 5 真空电子器件生产线设备调试记录

B.0.6真空电子器件生产线设备试运行记录应满足表B 要求

表B.0.6真空电子器件生产线设备试运行记录

7真空电子器件生产线设备安装工程交接验收报告应满 . 0. 7 的要求。

表B.0.7真空电子器件生产线设备安装工程交接验收报告

0.8真空电子器件生产线设备安装工程竣工验收报告应 B. 0. 8 的要求。

表B.0.8真空电子器件生产线设备安装工程竣工验收报告

1为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不 同的用词说明如下： 1）表示很严格，非这样做不可的： 正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”； 2）表示严格，在正常情况下均应这样做的： 正面词米用“应”，反面词采用“不应或“不得”； 3)表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的： 正面词米用宜”，反面词米用“不宜”； 4）表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。 2条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合 的规定”或“应按执行”

《氧气站设计规范》GB50030 《工业循环冷却水处理设计规范》GB50050 《火灾自动报警系统设计规范》GB50116 《电镀废水治理设计规范》GB50136 《氢气站设计规范》GB50177 《电子工业纯水系统设计规范》GB50685 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724 《洁净厂房施工及质量验收规范》GB51110 《污水综合排放标准》GB8978 《压缩空气第1部分：污染物净化等级》GB/T13277.1 《大气污染物综合排放标准》GB16297 《包装与环境第1部分：通则》GB/T16716.1 《电子工业生产设备二次配管配线技术规范》SJ/T11672

《真空电子器件生产线设备安装技术标准》GB51343一2018， 经住房城乡建设部2018年12月26日以第346号公告批准发布。 本标准制定过程中，编制组进行了广泛、深人的调查研究，总 结了我国在真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收工作 中的实践经验，同时参考了国外先进技术规范、技术标准。 为便于广大设计、施工、科研和监督部门等单位有关人员在使 用本标准时能正确理解和执行条文规定，《真空电子器件生产线设 备安装技术标准》编制组按章、节、条顺序编制了本标准的条文说 明，对条文规定的目的、依据以及执行中需注意的有关事项进行了 说明，着重对强制性条文的强制性理由做了解释。但是，本条文说 明不具备与标准正文同等的法律效力，仅供使用者作为理解和把 握标准规定的参考。

总 则 ( 53 ) 基本规定 ( 54 ) 生产线工艺设计 (56 ) 4. 1 工艺流程 (56) 配套设施要求 ( 58 ) 5. 1 表面处理工艺 (58) 5. 2 装配、焊接工艺 ( 58 ) 5.3 排气工艺 (58) 5. 4 老炼及测试工艺·· ( 59) 设备安装 ( 60) 6. 4 设备安装 ( 60 )

1.0.2本条是编制本标准的宗盲，本标准仅适用于真空电子器件 生产线工艺设计、设备安装及验收。影响工程质量的其他方面，如 设备设计、设备采购合同、设备制造、交付后的使用和管理中的质 量问题等不属子本标准的范畴。 本标准中的真空电子器件生产线设备安装包括生产线工艺布 高设计规范、设备布局设计规范、设备安装施工规范和验收规范。

3.0.1真空电子器件是指借助电子在真空或者气体中与电磁场 发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量 的器件，广泛用于广播、通信、电视、雷达、导航、自动控制、电子对 抗、计算机终端显示、医学诊断治疗等领域。它是一类用途广泛的 器件家族。 真空电子器件按用途可分为发射管、整流管、稳压管、示波管、 摄像管、显像管、显示管、像增强管和辐射计数管等；按工作频率可 分为低频管、高频管和微波管；按工作原理可分为空间电荷控制 管、微波管、电子束管、光电管、离子管、辐射计数管、X射线管、真 空开关管、电光源和气体激光管等。 本标准主要包括高频电子管、微波电子管、X射线管、真空开 关管等典型真空电子器件。 3.0.2、3.0.3真空电子器件生产工艺比较成熟，并不断更新，采 用成熟、稳定的技术非常重要；同时生产线选用安全可靠、节约资 源、降低能耗的工艺技术也是必需的。 3.0.7真空电子器件门类众多，生产中一个关键并不可或缺的阶 段是高真空的获得，它是一个漫长、循序渐进、不断提高的过程，一 且发生停电，系统真空度就会迅速降低或丧失。特别是金属零件 在针焊的温度升高阶段，发生停电文不能及时恢复供电，系统真空 度的降低便金属零件表面氧化，焊料不能润湿金属就会造成虚焊， 既不能保证器件的气密性要求，也不能保证器件设计要求的机械 强度

段是高真空的获得，它是一个漫长、循序渐进、不断提高的过程，一 且发生停电，系统真空度就会迅速降低或丧失。特别是金属零件 在针焊的温度升高阶段，发生停电文不能及时恢复供电，系统真空 度的降低使金属零件表面氧化，焊料不能润湿金属就会造成虚焊， 既不能保证器件的气密性要求，也不能保证器件设计要求的机械 强度。

化学品，该物质的存储仓库和生产现场设置闭路监视电视系

时要按照相关规定采取其他安全防范措施。 3.0.12真空电子器件生产线真空获得系统含有电磁真空带充气 电磁阀的油封旋片机械真空泵：从大气状态开始抽真空时，油封旋 片机械真空泵放出的尾气就是油烟，该气体在空气中悬浮的时间 比较长，而且不断地向接触的空间扩散，不但污染生产环境，还容 易被操作人员吸入。润滑油的主要成分是矿物油和合成油，吸人 人体对气管产生刺激和不适感，吸人肺脏会导致堵塞肺气泡，发生 肺脓肿性肺炎。

4.1.1零件预处理是对参与装配的零件进行表面处理、热处理等

4.1.1零件预处理是对参与装配的零件进行表面处理、

封口是真空电子器件生产线总装工序的最后一道工艺。封口 之前经检验合格的部件用高频集中焊、针焊或氩弧焊等方法装配 成整管后即可进行排气。如果是玻璃管壳，则要把管芯与外壳装 配起来，在连接处用火焰熔封。一般情况下封口的产品要进行电 极之间绝缘性能检测和产品气密性的检测。 排气是真空电子器件制造的一道关键性工艺过程。将总装封 焊好的真空电子器件内部抽真空，并对管壳、电极、吸气剂等进行 适当的工艺处理。真空电子器件种类繁多，结构和参数各式各样， 排气工艺规范不尽相同。但一般技术要求是对管壳与内部零部件 充分除气，获得并维持所需的真空度，对阴极完成分解、激活等工 艺过程使其具备良好的电子发射能力。 老炼检测是对排气后的器件进行电气处理以获得稳定的电气 性能的工艺。测试是对老炼后器件的性能测试，主要参数应达到 预定的指标。这种测试亦称热测。 成品测试是生产部门老炼检测合格的产品，经过烘装处理变 成成品入库之前，质量部门针对产品性能根据产品标准进行的出 具合格证明的测试。

4.1.2冷测是用微波测量仪器对微波电子管的高频组件如谐振

安装以及产品表面、外观结构工艺处理，是产品制造中最后一 予的总称。包装一般包括安装器件的外部零件、喷漆、贴 工作。

安装以及产品衣面、外观结构工艺处理，是产品制造中最后一道工 序的总称。包装一般包括安装器件的外部零件、喷漆、贴铭牌等 工作。 4.1.4整管一次封排是将真空电子器件制造过程中的排气、封离 采用真空针焊工艺一次完成的工艺处理过程。采用气密性焊缝中 焊料特殊结构作为排气通道实现对工件的除气，当达到并维持工 艺规范要求的真空度时，通过焊料熔化流散，填满整个焊缝实现气 密性的焊接，完成器件的封排过程。 真空度测量是针对已封离的真空电子器件内部真空度的测 量。真空电子器件管内的真空度测试通常运用电离电荷的采样技 术，根据离子流大小与器件内真空度的对应关系获得器件内真空 度的数值。

5. 1 表面处理工艺

5. 2装配、焊接工艺

5.2.1工艺设备宜与洁净区分开布置。例如，将一次封排炉设备 操作面布置在洁净区一侧，设备主体布置在洁净区之外。 5.2.5真空电子器件生产过程中需要使用氢气用于退火和焊 接工序。氢气属于易燃易爆气体，实际生产过程中，曾经多次 发生爆炸和危及生命的案例。氢气在空气中的爆炸浓度范围 为4%～75%（体积比），当空气中氢气浓度体积比达到0.4% （燃烧爆炸下限的10%）的时候，事故排风联锁应自动开启。 通过采取机械通风、事故排风、气体泄漏报警与事故排风联锁 的措施，可以有效避免产生爆炸。本条为强制性条文GB／T 33643-2022 无损检测 声发射泄漏检测方法.pdf，必须严 格执行。

5.3.1排气工艺周期较长，断电后会造成产品报废，因此

排气工艺周期较长，断电后会造成产品报废，因此，有条件 设置备用电源，以保障正常生产。

5. 4老炼及测试工艺

5.4.3真空电子器件生产过程中高压老炼和测试产生

5.4.3具空电子器件生产过程中高压老炼和测试产生的高电压 可瞬间产生人体电击穿，造成生命危害。为防止生产过程中机器 故障、人员误入等不可预见的危险因素发生，必须设置紧急制动 装置和门机联锁装置。本条为强制性条文3D3S 基本操作手册，必须严格执行。

6.4.6目前自动化生产线正在真空开关管制造行业推产，其内容 包括：金属零件去油、酸洗等，将干净的零件送入洁净厂房的装配 区进行装配焊接；封排后的整管通过机械手传递完成X光检测 真空度检测、工频高压老炼、冲击高压老炼、产品性能参数检测设 备及外形外观检测后将加工好的成品放到产品托盘中，送往成 品库。

6.5.1二次配管应在确认真空电子器件生产线设备安装工程施 工工艺条件全部满足后，以及设备解体零部件的重新组装，恢复整 机水、气配管，恢复整机电气布线后进行。 6.5.2二次配管包括：各种工业气体系统，压缩空气，各种排、送 风管路，真空系统尾气，各种给水排水以及生产线设有共享前级排 气单元与设备真空系统接口之间的配管。对采用保护气体快冷的 设备在初充人保护气体的瞬间，会造成配管内出现负压，如果配管 连接处有泄漏，空气漏入真空系统将关系到被处理的产品质量。