GB51136-2015标准规范下载简介

GB51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范.pdf

根据工艺真空系统的特点，工艺真空设备应尽可能靠近工

艺设备，规定真空设备应布置在生产厂房内的一个或多个供气站 内，为防止工艺真空压力太大导致管道的破坏，本条规定工艺真空 系统宜设计真空压力过低保护装置。

内，为防止工艺真空压力太大导致管道的破坏，本条规定工艺真空 系统宜设计真空压力过低保护装置。 8.5.2由于真空管道绝对压力较低，真空管道设计对管道的直径 和长度都较为敏感，因此本条规定压力丁艺真空管路设计应布置 成支状系统；同时，真空管道的直径应考虑流量与压力的因素，工 艺真空主管道的直径应按照全系统实际抽气量进行设计，主支管 道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计，支管道的直径应 按照设备最大抽气量进行设计。 工艺真空与工艺设备直接相连，为防止不适度的真空管道材 料对工艺系统的污染GB／T 30370-2022 火力发电机组一次调频试验及性能验收导则.pdf，本条规定真空管道材料宜根据工艺真空系 统的直空压力及直空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道

9供暖、通风、空气调节与净化

9.1.5洁净室（区）与周围的环境应保持一定的静压差，这是为了 确保洁净室（区）的正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时，空 气流只能从空气洁净度等级高的房间（区域）流向空气洁净度等级 低的房间（区域），使洁净室（区）内的空气洁净度不会受到污染空 气的干扰。 本条第1款考虑到有些薄膜晶体管液晶显示器工厂的洁净室 虽然洁净度等级不同，但洁净室的上、下夹层相通，此时要严格做 到不同洁净度等级的洁净室（区）间的压差不小于5Pa有较大难 度，且也没有必要，所以条文中规定不同等级的洁净室（区）之间的 静压差宜大于或等于5Pa，但应严格保证气流是从空气洁净度等 级高的房间（区域）流向空气洁净度等级低的房间（区域）

9.1.6薄膜晶体管液晶显示器工厂阵列、彩膜、成盒生产工序

9.2采暖、通风与废气处理

9.2.1本条规定是为了确保动力站及管廊内的水系统、消防系统 等不被冻结，也是为了检修的需要。 9.2.2薄膜晶体管液品显示器工厂洁净室通常有严格的洁净度 和温、湿度要求，散热器表面易积灰且不易清除。另外，如采用散 热器，室内的温、湿度也不容易控制

9.2.3本条规定是为了确保操作人员的身体健康和生产安全，因 为薄膜品体管液品显示器工广工艺设备生产过程中散发的大多为 有，有害和易燃、易爆的物质

9.2.4本条对排风系统的设计作了规

1本款规定是为了提高有害物质的处理效率，因为有害物质 主高浓度的状态下容易实现高效捕提或清除。另外，对于单一有 害物质，容易找到针对性的、高效率的处理方法。 2本款规定是为了对不同的有害物质进行针对性的处理，因 为这四种有害物质的处理方法是完全不同的。另外，如果酸、碱废 气不分开，会生成结晶物，该结晶物不易处理，且容易沉积，堵塞管 路。设置备用风机和备用电源是为提高工艺排风系统的可靠性， 从而确保工艺生产不会因排风机的意外故障而中断，也保证了操 乍人员的身体健康和生产安全。 4因为工艺设备局部排风管道中会有凝结液产生，该凝结液 如不及时排除，将影响排风系统的正常运行或造成安全事故，该凝 结液应收集，且应排放到相应的废水管道中进入废水处理站进行 再处理。 5本款规定是为了满足消防和防腐的要求，因为有毒排风除 了含有腐蚀性物质外，通常还含有易燃、易爆气体，所以该排风管 应采用内涂聚四氟乙烯或其他防腐材料的不锈钢板制作。 6由于薄膜晶体管液品显示器工厂的一般排风、有毒和有机 排风中通常含有易燃、易爆气体，所以排风系统应采取相应的防 火、防爆措施，具体措施包括排风管路系统的法兰跨接、系统接地 以及风机防爆等。 7本款规定是为了防止防火阀的误动作而造成排风系统的 失效，从而引发安全和生产的事故。另外，即使发生火灾时也不应 将使此类排风系统停止运行，因为一方面排风系统可兼作排烟功 能，另一方面薄膜晶体管液品显示器工厂的局部排风系统排除的 大多是有毒物质，一日停止运行，工艺设备将向车间内散发比烟气

每性更大的有害物质。 8本款规定是为了使酸、碱、有毒和有机排风在经废气处理 设备处理前处于负压状态，这样一且排风系统发生泄漏，不会出现 未经处理的有害气体直接排人大气的现象。另外，也可以使风机 处于经废气处理设备处理后的低浓度腐蚀气体运行环境，延长风 机的使用寿命。 9考虑到有毒排风系统中存在一定量的粉尘，时间一长会在 排风管路中的某些地方（如上升或拐弯处等）沉积而造成堵塞，所 以应在这些地方设置观察和清扫口。 11本款主要是考虑满足防微振的要求

1本款规定是为了提高就地处理设备的转化效率和去除效 率，从而使整个废气处理系统的处理效率得以提高，提高硅烷和二 氧化硅的去除率可以减少粉尘在排风管路中的沉积量，从而降低 排风管道的堵塞和维护频率。 2本款规定是考虑到有毒排风中不仅含有F和CI酸根离 子，而且还含有NH3，以及NHCI和NH,F粉尘。 3本款规定是为了提高废气处理的可靠性，避免因废气处理 设备出现故障而使有害气体未经处理直接排人大气。 4，本款规定是考虑到薄膜晶体管液品显示器工厂酸、碱、有 机、有毒排风中有害物质的浓度较高，如采用固定床吸附剂方式处 理，吸附剂很快就会饱和，需频繁更换吸附剂，调查发现采用固定 床吸附剂方式处理废气的企业大部分不及时更换吸附剂，从而影 响了废气处理效果。 5本款规定主要是为了使废气处理设备处于最佳的丁作状 态，提高废气处理设备的处理效率，方便日常的操作维护。 7本款规定主要是考虑充分利用废热，达到节能降耗的日的。 8本款规定是考虑到剥离液中含有大量高沸点和雾状的有 机物，高沸点有机物不易脱附，雾状的有机物会粘在转轮表面上不

易脱附和清除，所以剥离液在进入沸石转轮处理设备前先进行预 处理。

9.2.6排气筒高度应满足规范，环评以及环保部门等要

.2.6排气同高度应满定放 理过的酸、碱、有机、有毒废气虽然已满足排放要求，但不等于没有 有害物，规定排气筒出口处的风速是为了使废气直接排人高空，避 免新风机组的吸风口吸入

9.2.8薄膜晶体管液品显示器厂房大部分工艺设备的一般排人

为热排风，几乎不含有害物，该排风空气的熔值夏季远低于室外空 气，而冬季又远高于室外空气，所以应作为洁净室的回风循环使 用，以降低洁净室的能耗

9.3.1本条对新风处理机组的设置作了规定。

1本款规定是为了很好地控制洁净室内的正压值，同时也为 了节能。 2本款规定目的是使室外含尘空气在送入洁净室前得以彻 氏过滤，从而延长洁净室顶部风机过滤机组（FFU）内过滤器的使 用寿命。 3本款规定是为了提高新风处理系统的可靠性，确保洁净室 内的正压值和洁净度。 4本款规定是为了满足工艺设备的防微振要求，一般功率大 于7.5kW的风机，电机与风机应采用直接驱动形式。 6考虑到薄膜晶体管液晶显示器工厂一般建在工业区，区内 存在不少向大气中排放有害气体的工厂，薄膜晶体管液晶显示器 工厂本身就是一个污染物的排放源，而恰恰薄膜晶体管液晶显示 器工厂的有此生产工序对这些有害气体比较敏感，车间内浓度超 过一定限值后会影响产品质量，采用淋水室加湿方式在加湿的同 时，可以对这些有害气体达到去除的作用，可谓一举两得。而规定 采用温水淋水室，主要是为了降低加湿前的空气温度，使加热器的

热水供水温度得以降低，这样薄膜晶体管液晶显示器工厂大量的 低位余热能得以利用，达到最大程度的节能

9.3.2本条规定是建议阵列、彩膜、成盒厂房的洁净室采

处理机组十风机过滤器机组十干冷却盘管的净化空调系统，模组 和背光源厂房的洁净室采用新风处理机组十循环空气处理机组十 高效过滤器送风口的净化空调系统；这样规定主要考了洁净室 的形式、综合造价、综合能耗、系统可靠性、空间管理、运行维护管 理等因素。

9.3.3通过CFD（计算流体动力学）气流模拟显示，当洁

风方向宽度超过80m时，虽然采用双侧回风，如不采取其他措施， 洁净室内的气流偏斜非常严重，个别地方基至出现涡流。另外，通 过CFD气流模拟结果显示，在多种改善气流偏斜的措施中，在宽 度方向布置不同阻力的回风高架地板是相对简单有效的办法

1、2主要是考虑到FFU的机外余压有限以及降低能源消 耗。 3主要考虑到气流以及房间温度的控制。 4主要是考虑房间相对湿度是由新风机组保证的，干冷却盘 管不承担去湿功能，而且为了洁净室的维护以及相对湿度的控制， 干冷却盘管不应有去湿功能，干冷却盘管的供水温度应通过计算 确定，通常宜高于洁净室（区）内的露点温度。 5干冷却盘管在正常运行时虽无冷凝水析出，但考虑到洁净 室在高湿环境下启动和干冷却盘管、管路系统意外渗漏以及干冷 却盘管及水系统需要检修而排水等因素，最好还应设置积水盘及 排水系统

FFU数量很多，为了方便调节和节省能耗，宜采用直流调速电机 并配置相应的控制系统，使操作人员在控制室内很容易对每台 FFU实现单独控制。薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室有些区

域FFU布置率较高，为满足洁净室内的噪声要求，FFU应采取消 音措施，为保证洁净度以及FFU内高效（超高效）过滤器的使用寿 命，消音装置不得采用发尘材料。聚四氟乙烯滤料的过滤器具有 气体释放量小、抗腐蚀、滤纸强度大等优点，但由于它是表面过滤 的机理，所以容尘量相对较小，当房间洁净度低于6级时，回风空 气中含尘量相对较大，过滤器达到容尘量上限的时间相对缩短，所 以规定洁净度等级低于6级的洁净室不宜采用聚四氟乙烯滤料的 过滤器。

9.3.6本条规定主要考虑了能耗，FFU所能提供的机外余压，上

1主要是考虑节能，因为冷冻水温提高1℃，制冷机组的 COP值提高3%左右，所以薄膜晶体管液晶显示器的一般空调系 统和净化空调系统应最大限度地使用中温冷冻水。另外，从两种 冷源提供的时效考虑，低温冷冻水主要用于处理新风以保证室内 的相对湿度，供水温度通常为℃人7℃，提供的是季节冷源；中温 冷冻水主要用于处理洁净室内的循环风，为保证干冷却，供水温度 通常为12℃～14常年提供，而薄膜晶体管液晶显示器工厂的 一般空调系统和净化空调系统与工艺生产有关，工艺设备常年有 发热负荷，且生产车间几乎多在内区，需要常年供给冷冻水，所以 从这个角度考虑，也应该采用中温冷冻水。薄膜晶体管液晶显示 器工厂洁净室面积很大，相应干冷却盘管水系统也很大，如不采用 同程式冷冻水系统，安装在水系统中的远端和近端干冷却盘管的 资用压力相差很大，水系统很难平衡和调节。 3本款规定主要是考虑减少供水干管的散冷量，降低供水干 管远端的温升，使远端的干冷却盘管的热交换能力不受影响。 4本款规定主要是考虑防微振的要求，防止水管系统的振动 直接传递到建筑物结构系统中而影响工艺生产。 5本款规定主要是考感避免因空调水系统发生意外的漏水

9.3.9根据现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》 GB50472的有关规定，单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空 态）不应大于65dB（A），非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不 应大于60dB（A），但考虑到目前天部分薄膜晶体管液品显示器T 厂的洁净室采用新风处理机组十风机过滤器机组十干冷却盘管的 净化空调系统，且使用的风机过滤器机组（FFU）规格大部分为 1200×1200，按照现行行业标准《风机过滤器机组》JG/T388的有 关规定，1200×1200的单机噪声（标准型）小于或等于57dB（A） 根据国内儿个工厂洁净室噪声的实测数据，当洁净室FFU采用满 布时，洁净室内FFU的叠加噪声一般为FFU的单机噪声加13dB （A）左右，所以本规范将该类洁净室的噪声适当放觉

9.4.3薄膜品体管液晶显示器厂房洁净室（区）具有大体量、大面 积、人员密度小的特点，而其关键工艺设备均设有很完善的安全设 施，此类洁净厂房内各种公用动力、净化空调、工艺排气和废气 管道、高纯物质供应设施等管线较多，布置复杂，使机械排烟管线 的布置比较困难，为此作了本条规定。

为了防止室外空气对洁净室（区）环境的影响，应设置防止室外气 流倒灌的措施。排烟风机需要定期进行巡检，为了避免对洁净室 （区）内空气的污染，影响正常的生产，一般在进入排烟风机前设计 旁路系统用于平时巡检。

9.4.5洁净室（区）内的排烟风管，包括洁净送风静压箱、下

层、回风夹道（墙）内的排烟风管，如直接采用产尘的保温材料， 在施工过程中，保温材料的纤维会在空气中飞扬，难以清除，从而 对洁净空气造成污染，影响室内洁净度等级，且降低了送风未端过 滤器的使用寿命

10.1.1洁净厂房内的管道敷设方式会对洁净室的空气洁净度或 气流产生影响。因此要求尽量将各种给排水管道布置在洁净区外 10.1.3薄膜晶体管液品显示器厂房一层一般均设有较厚的结构 底板，有时底板厚度可以达到600mm800mm。如果大量管道均 敷设在板下，会产生如下问题： （1）埋设在底板下的管道，维修和更换非常困难； （2）在结构施T时管道容易被损坏： （3）在施T.上部结构时，管道如果保护不好易被杂物堵住； （4）在结构施工时管道位置易移动，导致后期施工困难 基于以上情况，建议在一层进出户的位置，宜采用降板做沟等 方法预留好管道位置，待土建工程施工完毕后，再施丁管道。如果 由于某些原因必须在板下或板内敷设管道，需考虑如下问题：管材 的选择应坚固耐用，不易损坏，且耐腐蚀；管道应固定好，使其在浇 筑混凝土时不移位，管道连接处应加支墩或保护；管道接口处要做 好封堵，为将来的机电施工.做好准备

[0. 2 一般给水排水

10.2.1在薄膜晶体管液品显示器T厂中根据生产T艺不同，设 备对水的各项指标要求也不相同，因此应根据不同的工艺要求设 置给水系统。 10.2.2在厂房（车间）设有危险化学品的储存、分配、收集等区 域，考虑到操作和维护人员的安全，应在这些地方设置紧急淋浴器 和洗眼器。

10.2.5化学品一旦发生泄漏，其事敌废水不经处理就进人环境， 会对环境造成严重的破坏。本条为强制性条文。 1在存储、分配、收集液态化学品的房间内，需要设置防护堤 （或防泄漏沟、事故水池等其他措施），防止发生事故时废水外溢。 防护堤的容积应大于堤内最大储罐容积与该区域20min消防水 量之和。美国消防协会发布的《洁净室消防标准》NFPA318中的 第7.1.2条也规定：“危险化学品的存储和分配间应该设有排放系 统，该系统应将排水排至指定的位置；或是设计围堰的容积，应能 够存储化学品的溢出量和20min的消防水量之和。” 2室外化学品槽车卸车区域，需要考虑当槽车泄漏时，污染 物不能直接排放到市政管网中，同时需要考虑雨天的影响

10.3.1薄膜晶体管液晶显示器行业纯水用量非常大，制水的成 本也很高。因此在制备纯水时，不仅仅要考虑纯水的制备系统和 纯水的分配系统，还必须考虑纯水的回收回用系统。 为保证纯水系统的水质，纯水系统必须考虑循环流量。循环 流量越大·水质越好，精处理设备的负荷就越天，管径就越大。根 据工程实际经验.在薄膜品体管液晶显示器厂房中规定纯水的循 环回流水流量不低于供水量的20%。 纯水的回收水应尽可能重复利用，因为增天纯水的回用率不 仅可以减少水耗，而且可以减少对冷、热源的需要，达到节能降耗： 保护环境。但纯水的回收率和各个工厂的设备、工艺生产中所使 用的化学品及当前的水处理技术等多重因素息息相关。自前最新 建设的薄膜晶体管液品显小器工厂的纯水回用率都不低于纯水耗 量的65%。 10.3.2在薄膜晶体管液晶显示器T厂中，纯水制备用原水耗水 量巨大。水资源是不可再生的资源，在水资源日益紧缺的今天，如 果全部采用新鲜自来水，会给城市造成很大的供水压力。因此建

议，在能够制备出可以满足工艺生产需要的纯水的前提下，并经过 合理的经济技术比较后，宜优先选用再生水，减少新鲜自来水的使 用。目前在现有TFT工厂中，已经有成功的使用再生水制备纯 水的案例。

10.4.1薄膜晶体管液晶显示器工厂的工艺设备较多，压力要求 不一样，用开式系统更稳定、安全。 10.4.2H停电，某些T.艺设备如果没有T艺冷却水，会导致设 备严重损坏，造成较大的经济损失。因此工.艺冷却水系统的电源 非常重要，除常规电源外，冷却水泵全部或部分要设柴油发电机电 源或UPS电源备用

10.4.3薄膜品体管液晶显示器工厂的工艺设备都很贵重和精

10.4.3薄膜品体管液晶显示器工厂的工艺设备都很贵重和精

密，故工艺冷却水对硬度、电导率、pH值等通常都有要求。因此 所选用的管材、阀门也要符合水质要求

密，故工艺冷却水对硬度、电导率、pH值等通常都有要习

10.5.2未经处理的生产废水一旦泄漏至土壤中，会对水源、土壤 等造成非常大的破坏，这种对环境的污染和破坏很难修复。 1需埋地敷设的未经处理的废水管道应敷设在管沟内，方便 检修，防止对环境的污染和破坏。 2当因为某些原因不能设置管沟时，应有防止废水泄漏污染 地下水的措施，如采用双套管，并设置泄漏监测装置。本款为强制 批款

10.5.3由于生产工艺调试或废水处理系统故障，处理后的

废水水质有可能达不到排放标准。这样的废水排放至下游水厂， 会影响水厂的正常运行。如果排放至环境，会直接对环境造成破 坏。为避免这种情况的发生，工厂中应设置事故水池，来临时存储 处理不达标的废水。事故水池越大，对于系统来说就越安全，但是

投资也越高。综合考虑系统的安全性与经济性，建议厂区的事故 水池的容积不宜小于最大一种废水6h的排水量。在这段时间内， 小故障可以排除，天的敌障可以合理调节工艺产线，遂步减小或停 止排放废水。 10.5.5在线监测仪表不仅可以在第一时间发现处理后废水的水 质问题，从而将对环境的影响减到最小，而且可以让废水站的管理 者根据废水的出水情况，在合理范围内调整加药量。随着科技的 不断发展，在线监测的仪表的精度不断提高，价格也在不断下降 更多的工厂选择在废水处理过程中及末端排放处设置在线监测仪 表。常用的在线监测仪表有pH计、COD、氨氮、氟离子监测仪等

投资也越高。综合考虑系统的安全性与经济性，建议广区的事故 水池的容积不宜小于最大一种废水6h的排水量。在这段时间内， 小故障可以排除，大的敌障可以合理调节工艺产线，逐步减小或停 止排放废水，

10.5.5在线监测仪表不仅可以在第一时间发现处理后废水的水

质问题，从而将对环境的影响减到最小，而且可以让废水站的管理 者根据废水的出水情况，在合理范围内调整加药量。随着科技的 不断发展，在线监测的仪表的精度不断提高，价格也在不断下降， 更多的工厂选择在废水处理过程中及末端排放处设置在线监测仪 表。常用的在线监测仪表有pH计、COD、氨氮、氟离子监测仪等。

10.6.2洁净室的生产层及下技术夹层，如果能够通行检修，应设 置室内消火栓。在消火栓的设计上中国的规范要严于国外的规 范，此处要按照中国规范来设计。 洁净室的上技术夹层为空调回风层，除空调设备、灯及喷淋管 道外，无其他设备，因此不要求设置消火栓系统。当设有专用的检 修通道时，可在检修通道上设置消火栓。 10.6.3自动喷水灭火系统是扑灭初期火灾的有效手段，在薄膜 晶体管液晶显示器厂房中已经广泛应用。 1关于自动喷水灭火系统的规定是结合我国现行国家标准 《白动喷水灭火系统设计规范》GB50084和美国消防协会《洁净室 消防标准》NFPA318来制订的。 2美国消防协会《洁净室消防标准》NFPA318对洁净室自 动喷水灭火系统的喷水强度要求为不低于8L/（min·m），作用 面积约为280m。我国现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规 范》GB50472中规定喷水强度不低于8L/（min·m），作用面积 不小于160m²。本规定此处与我国的规范保持一致。但本条仅为 最低要求，当工厂的保险顾问有更高的要求时，或工厂希望提高设

10.6.6本条规定了化学品区域的消防

消防形式，具体采用的消防方法需要与化学品公司确定化学品性 质后决定。本款为强制性条款。 2有机化学品的存储、收集、分配间，由于其危险性较高，因 此建议设置固定的灭火设施。在实际工程中使用的消防方式有多 种，如泡沫及湿式系统联用的自动喷水灭火系统、湿式自动喷水灭 火系统及气体消防等。结合实际情况，采用泡沫与湿式系统联用 系统比较合适，初期可以利用泡沫来灭火，泡沫喷完后可以利用水 对房间内的设施进行消防及冷去却，避免由于化学品泄漏或爆炸产 生更大的损失。在实际工程中.应充分了解化学品公司的要求后 再设计

11电气11.1供配电与照明11.1.1在薄膜品体管液晶显示器工厂中，设备用电的负荷等级应根据下列因素来确定：（1）突然停电造成排风中断，有毒有害气体不能排出，对工作人员的安全产生不利影响。（2）生产设备和生产装备在突然断电时造成损坏的情况（3）洁净厂房的空气洁净度对有净化要求的产品质量有很大影响。因此必须保持净化空调系统的正常运行。一且停电，室内空气会很快污染，影响产品质量。（4）洁净环境遭到破坏后恢复到正常生产要求的时间长短。（5）突然停电造成产品报废的损失情况。设计时应综合上述因素，确定工厂的用电负荷等级。11.1.2薄膜晶体管液晶显示器T.厂工艺设备的种类和负荷性质十分复杂，对配电系统的影响也各有不同，所以设置配电变压器时应尽量把工艺设备用变压器与动力设备用变压器分开设置。照明供电电源的可靠性和稳定性对操作人员的工作质量有着直接的关系。因此照明电源应直接由变电所低压照明盘专线供电，把它与动力供电线分开，避免引起照明电源电压频繁和较大的波动，同时增加供电的可靠性。薄膜晶体管液晶显示器工厂用电设备对电源的要求主要分为以下几种情况：（1）普通市电供电即能满足生产使用要求。（2）普通市电供电即能满足可靠性要求，但是对电源质量有稳频、稳压要求。.110

（3）对电源的可靠性有要求，当市电断电时需要采用备用电源 自动投人方式或柴油发电机组应急自启动方式满足要求。 （4）除了对电源可靠性有更高要求外，突然断电会造成数据丢 失，设备损坏、产品报废等后果，需要设置不间断电源（UPS）保证 供电的可靠性。 根据上述用电设备的不同要求，设计时应针对使用要求的不 同，分别设置柴油发电机组、稳压稳频装置、不间断电源（UPS）。 在对薄膜晶体管液晶显示器工厂的调查中了解到，电网电压 骤降发生的频率很高，每年能达到十次以上，是影响电源质量的重 要原因，曾多次发生因为电网电压骤降造成生产线岩机。另外，在 生产线的组成设备中，控制系统设备是对电源质量要求较高的部 分，用电负荷因雷击及电源瞬时变动而引起的停电事故，其原因不 是主电源断电，而是控制电源失电造成保护系统失灵而造成事故。 所以在设计中应针对上述情况采取相应的措施，从而保证供电系 统的可靠性

11.1.3薄膜品体管液晶显示器厂房内有较多的电子设备系

行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016中作了明确规定。洁 净厂房从工程投资规模和厂房的密封结构等方面考虑，防火设计 更显重要，应严格执行。

11.1.5薄膜晶体管液晶显示器厂房洁净室内配电设备的选择应

11.1.5薄膜晶体管液晶显示器厂房洁

尽量减少积尘的可能性，且应尽量放置在技术夹层内，以减少对工

艺区洁净度和温、湿度的影响

11.1.6管线暗敷原因是为了防止积尘。考虑防火要求，在密闭 的洁净厂房内管材应采用不燃材料。当净化空调系统停止运行， 该系统又未设值班送风时，为防止由于压差而使尘粒通过管线空 源渗入洁净室，所以由非洁净区进入洁净区，不同级别洁净室之间 电气管线口应做密封处理

11.1.7洁净室的照明一般要求照度高。灯具的选择应该考虑发 光效率高、发热量小、光谱分布尽量接近于天然光，一般均采用荧 光灯作为照明光源。当有些洁净室层高较高，采用一般荧光灯照 明很难达到设计照度值时，可采用其他光色好、光效更高的光源。

11.1.8照明灯具的安装方式应按照洁净室的要求考虑，一舟

11.1.9薄膜品体管

洁净厂房设计规范》GB50073。随着薄膜晶体管液晶显示器生 线自动化水平的不断提高，特别是在高世代薄膜品体管液晶显 示器生产线上，操作人员在特定区域集中操作控制的情况越来越 普遍·大量设备所占区域的操作已经很少，所以在此区域对照度值 的要求也已经有所降低，在对薄膜品体管液晶显示器工厂的调查 中也了解到，在操作人员较少活动的区域经常关掉部分照明灯具。 所以设计时应充分了解工艺生产情况，照度值应根据工艺生产情 兄来确定，对部分区域可以考虑降低照度要求，同时也为节能降耗 创造条件。

生产下艺和测试设备有干扰时，需要在指定区域采用黄色光 源。

11.2.2综合薄膜晶体管液晶显示器厂房各类接地电阻要求，12 是各种接地要求均能满足的电阻值。 11.2.3由于薄膜晶体管液晶显示器1.艺设备大部分为国外制 造，各国采用的标准不同，所以对工艺设备和生产线的接地要求也 不同，但是在实际设计中，采用共用接地装置，各种功能的接地单 独引出接线的方式一般各方均能接受，故推荐采用此方式。 11.2.4：有资料表明，不同功能的接地装置与防雷接地保持20m

12.1.1~12.1.3薄膜晶体管液晶显示器厂房防静电工作区的 设计，规范从抑制或减少静电的产生和有效、安全地泄放静电两 个环节制定了选用静电耗散型或导静电型材料、建立可靠的静 电接地系统、控制环境温、湿度（由本规范相关章节规定）三方面 的措施。 薄膜晶体管液晶显示器厂房防静电工作区包括静电放电敏感 的基础材料、元器件、组件、仪器和设备的制造和操作场所。这里 指的“操作”包括静电敏感元器件的包装、运输、打开包装、测试、安 装、保养和维修以及与这些操作相关联的活动。 薄膜晶体管液品显示器厂房防静电设计首先应符合工艺要 求，当工艺要求不明确时，设计可参考表12.1.3的防静电分级

12.2.1、12.2.2本规范采用材料的表面电阻值作为量纲单位。 本规范规定的材料名称、性能指标主要依据《电子产品制造与 应用系统防静电检测通用规范》SJ/T10694、《地板覆盖层和装配 地板静电性能的试验方法》SJ/T11159、《防静电T程施T与质量 验收规范》GB50944，并且参考国际、国内相关规范、标准，结合我 国实际情况，综合考虑确定。 应当指出，目前无论国内或国外并无统一的材料静电性能测 试标准，不同标准、条件、仪器测量的结果有差异，应以质监部门认 可的（按《电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范》 SJ/T10694）测量报告为准。

12.2.3三级防静电工作区提出了低起电材料的应用，根据有 关标准和文献的一般提法，低起电材料界定为摩擦起电电压绝 对值不大于2000V，为满足三级防静电T作区的静电电位要求 用于防静电环境材料的摩擦起电电压绝对值仍不得天于 1000V

由于装修饰面的平整光滑对于抑制静电的产生和积聚有积极 作用，所以防静电工作区作为工作场所不宜将饰面设计得过于复 杂。 12.2.5、12.2.6由于空调系统的送、回风口和风管管壁是易产生 静电的部位，因此规定了送、回风口制作用材和接地的要求。 12.2.7空调系统的送风口、流动液体、气体和粉体管道的内壁会 在液体、气体和粉体的流动过程中产生摩擦起电，因此不适当地安 装将会造成静电放电的严重危害。易燃、易爆环境中的防静电接 地，相关行业都已制定了相应标准

由于装修饰面的平整光滑对于抑制静电的产生和积聚有积极 作用，所以防静电工作区作为工作场所不宜将饰面设计得过于复 杂

12.2.5、12.2.6由于空调系统的送、回风口和风管管壁是易产生

12.2.5、12.2.6由于空调系统的送、回风口和风管管壁

12.3.2防静电接地系统接地端口之间应做等电位连接。防静电 接地系统应设计低阻抗的静电泄放电气通路，接地导线的横截面 除了满足低电阻的要求以外，还应有足够的机械强度及其他电磁 兼容性要求。

12.3.3防静电接地主干线通常应从总等电位接地端子板引接

当防静电工作区设置在高层建筑内，总等电位接地端子板与防静 电工作区楼层垂直距离较远时，为保证防静电接地端子板与楼层 其他接地设备的等电位，防静电接地主干线宜从楼层等电位接地 端子板引接。

12.3.4为了解决好各个接地系统之间的相互关系，在接地系统

设计时，应以防雷接地系统设计为基础。由于在大多数情况下各 种功能接地系统最终采用联合接地方式，因此应首先考虑防雷接 地系统设计，使其他功能接地系统都包含在防雷接地系统的保护 范围之内。

13.1.1化学品输送方式的确定应根据其日用量、化学品的物理 化学特性、运输距离以及输送和使用过程中的安全性通过经济分 析后确定。

13.1.2化学品供应系统涉及的国家现行的化学品分类、储存和

（1）国家法律法规：《中华人民共和国安全生产法》、《中华人民 共和国消防法》、《中华人民共和国监控化学品管理条例》、《危险化 学品安全管理条例》、《安全生产许可证条例》、《易制毒化学品管理 条例》、《仓库防火安全管理规则》、《危险化学品生产储存建设项目 安全审查办法》、《关于督促化丁企业切实做好几项安全环保重点 工作的紧急通知》、《爆炸危险场所安全规定》、《作业场所安全使用 化学品公药》、《丁工作场所安全使用化学品规定》、《危险化学品事故 应急救援预案编制导则》（单位版）、《危险化学品名录》、《剧毒化学 品自录》。 （2）技术规范、标准：《建筑设计防火规范》GB50016、《石油化 工企业设计防火规范》GB50160、《危险化学品经营企业开业条件 和技术要求》GB18265、《危险货物品名表》GB12268、《常用危险 化学品购存通则》GB15603、《危险化学品重大危险源辨识》 GB18218、《易燃易爆性商品储存养护技术条件》GB17914、《腐蚀 性商品储存养护技术条件》GB17915、《毒害性商品储存养护技术 条件》GB17916、《危险货物运输包装通用技术条件》GB12463、 危险货物运输包装类别划分方法》GB/T15098、《危险货物包装 标志》GB190、《化学品分类和危险性公示通则》GB13690、《包

装储运图示标志》GB/T191、《T.业企业设计卫生标准》GBZ1、 工作场所有害因素职业接触限值》GBZ2、《建筑物防雷设计规 范》GB50057、《建筑灭火器配置设计规范》GB50140、《T业企业 厂内铁路、道路运输安全规程》GB4387、《工业管道的基本识别 色、识别符号和安全标识》GB7231、《石油化T.可燃气体和有毒气 体检测报警设计规范》GB50493、《危险货物分类与品名编号》 GB6944、《储罐区防火堤设计规范》GB50351、《爆炸危险环境电 力装置设计规范》GB50058、《爆炸性环境第14部分：场所分 类爆炸性气体环境》GB3836.14、《道路运输危险货物车辆标 志》GB13392、《电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781。 （3）地方的技术规范、标准：各地的相关技术规范、标准有部分 差异，设计应遵循相应的地方规范和标准及项目安全预评价报告 中的规定和要求。 13.1.3对于化学品用量比较少的厂房，允许在洁净室内就地设 置化学品供应系统。洁净室内就地供应系统应符合本规范第 13.1.2条中现行国家和地方相关的法律法规、规范、标准等的规 定。酸碱腐蚀就地输送系统应考虑防泄漏腐蚀等基本安全措施， 有机溶剂类化学品就地输送系统应考虑防泄漏、通风和报警等基 本安全措施

13.2化学品储存和配送

13.2.4本条是根据现行国家标准《建筑设计防火规范》GB

。 13.2.5本条第1款第2项说明如下：设有水消防灭火系统时，防 护堤的高度宜考虑最大桶或最大储罐泄漏以及消防灭火系统同时 在工作的最不利情况下所产生的最大废液量，综合考虑废液收集 系统储罐的容量和厂区内紧急废液处理池的容积以确定最小的防 护堤高度

13.2.7本条对洁净厂房内采用手动推车运送化学品作了规定。

1考总到化学品在运送至洁净室的途中有发生漏、飞溅等 可能性，特提出本款规定。 3本款为生产运行过程中化学品运送的基本要求。同一推 车运送多种化学品，应检查化学品的相容性。如同一推车运送的 化学品遇强酸、强氧化性化学品能引起火灾和爆炸的，则运送化学 品时，不得与强酸、强氧化性的化学品使用同一推车运送到洁净厂 房内

13.2.8本条对设置集中化学品配送间通过管道输送化学品作了

4根据现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的规 定，特制订日用罐的设计容量不应超过生产工艺一天的容量。由 于薄膜晶体管液晶显示器丁工厂酸、碱、剥离液等用量比较大，一般 采用槽车输送，考虑到槽车运送周期且储罐的密闭性能非常好，特 规定储罐的设计容积不宜超过生产需求五至七天的用量，

13.4化学品废液收集回收

13.4.1本茶对化字品废液系统的设直作了规定。 1生产工艺化学品的废液收集系统可以采用就地收集，也可 以通过管道收集到废液储罐，应结合工厂的实际废液收集量、收集 系统种类等，并考虑经济、安全、生产运行合理、方便等多方面因素 经方案比较后确定。 4室外槽车停放区域的废液收集系统的设计应在设计和使 用过程时采取相应隔离、检测措施保证无任何紧急泄漏的废液排 人附近的雨水排水系统，以避免造成环境的污染

13.4.2对本条的规定说明如下：

1若生产工艺的废液排放量很小，建议采用桶装就地分类收 集。若厂区内本身有废水处理站和洗涤塔等设备，可以利用内部 回收处理的方式，排出的废酸、废碱可以用于洗涤塔废气处理等系

统，其他无法处理的废液委外处理。 2大排放量的化学品废液宜进行分类集中储罐收集、厂区内 回收、提纯再利用等方式以减少外运处理的成本。日前国际著名 的大型薄膜晶体管液品显示器厂已在工厂内部建立废液提纯处理 站.以减少原材料的消耗量，降低运营成本

统，其他无法处理的废液委外处理。 2大排放量的化学品废液宜进行分类集中储罐收集、厂区内 回收、提纯再利用等方式以减少外运处理的成本。日前国际著名 的大型薄膜晶体管液晶显示器厂已在工厂内部建立废液提纯处理 站.以减少原材料的消耗量，降低运营成本

14.1.1本条明确了薄膜品体管液晶显示器工厂空间管理进行管 线综合时应满足的基本要求，薄膜晶体管液品显示器工厂内管线 宠杂，主要包括下列管线： （1）工艺管线，含压缩空气、大宗气体、工艺真空、清扫真空、特 种气体、纯水、工艺废水、工艺循环冷却水、化学品供应、化学品回 收、局部工艺排风等管线； （2）公用管线，含一般给排水、消防、送风、回风、全室排风、排 烟、冷冻水等管线； （3）电气管线，含工.艺设备、公用设备、照明等使用的母线、桥 架。 14.1.2～14.1.4厂房的层高是调研了部分薄膜晶体管液晶显示 器工厂总结的一个高度。随着薄膜晶体管液晶显示器的尺寸变 大，厂房的高度也在不断增高，以满足生产工艺的需要。各世代薄 膜晶体管液晶显示器工厂洁净生产层和技术夹层净高可参考 表5。

GB／T51379-2019 岩棉工厂设计标准及条文说明表5各世代薄膜晶体管液晶显示器工厂 洁净生产层和技术夹层净高示例（m）

14.2.1薄膜晶体管液晶显示器生产厂房由面积大，各种管线 较多，对各种管线进行综合布置时应该层次分明，否则会为今后维 保带来诸多问题。 管线竖向布置的顺序是根据各种管线的特性决定的，如由于 电气管线不能进入液体，电气管线若放置在下方存在液体进的 风险；丁艺管道一般设置在下技术夹层，需要与生产层丁艺设备连 接，若空调风管放置在工艺管道上方，会阻碍其与工艺设备的连 接。

14.2.1薄膜晶体管液晶显示器生产厂房由面积大，各种管线

14.3.1、14.3.2薄膜晶体管液晶显示器工厂各种管线庞杂，在对 其空间管理时应尽量放置在共用管道支、吊架上NB／T 32004-2018 光伏并网逆变器技术规范，且共用支、吊架 应布置合理，这样才能有效利用空间，并便于工艺管线与工艺设备 连接以及日常维保工作。 14.3.3共用管道支、吊架上的管路较多且重量不一，考虑到经济 和使用两方面，所以选用公用管道支、吊架时需经计算确定。 工点

14.3.4在同一生产厂房内共用管道支、吊架的形式不宜太多，太

多则会造成施工及维保的不便，所以应该统一、实用