标准规范下载简介

GB51209-2016 发光二极管工厂设计规范.pdf

8.4.2由于实际工程中出现过风冷设备的冷却空气发生短路现

8.4.2由于实际工程中出现过风冷设备的冷却空气发生短路现

象，本条规定风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应 防止冷却空气发生短路现象

采用内壁电抛光不锈钢管；当干燥压缩空气输送露点低于

采用内壁电抛光不锈钢管；当干燥压缩空气输送露点低于一40℃ 时，采用不锈钢管或镀锌碳钢管是较为经济合理的选择DB34／T 3267-2018 公路养护工程设计文件编制规范，

应考虑流量与压力的因数，所以规定主管道的直径应按照全系统 实际用气量进行设计；主支管道的直径应按照局部系统实际用气 量进行设计；支管道的直径应按照设备最大用气量进行设计。 工程实践表明，干燥压缩空气输送露点低于一40℃时，用于管 道连接的密封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片。

.5根据工艺真空系统的特点，工艺真空设备应尽可能靠近 备，规定真空设备应布置在生产厂房内的一个或多个供气 为防止工艺真空压力太大导致管道的破坏，本条文规定工艺 系统宜设计真空压力过低保护装置。

8.4.6由于真空管道绝对压力较低，真空管道设计对管道的直径

和长度都较为敏感，因此，本条规定压力工艺真空管路设计应布置 成支状系统；同时，真空管道的直径应考虑流量与压力的因数，工 艺真空主管道的直径应按照全系统实际抽气量进行设计；主支管 道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计；支管道的直径应 按照设备最大抽气量进行设计。 工艺真空与工艺设备直接相连，为防止不适度的真空管道材 料对工艺系统的污染，本条规定真空管道材料宜根据工艺真空系 统的真空压力及真空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道。 8.4.7从目前的生产实际情况看，发光二极管工厂的清扫真空多

暖、通风、空气调节与净

9.1.5洁净室与周围的环境必须保持一定的静压差，这是为了确 保洁净室的正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时，空气流只 能从空气洁净度等级高的房间流向空气洁净度等级低的房间，使 洁净室内的空气洁净度不会受到污染空气的干扰，

9.2供暖、通风与废气处理

9.2.2发光二极管工厂洁净室有比较严格的洁净度和温湿度要 求，通常散热器表面不平整，且构造复杂，这样其表面易积灰且不 易清除。另外当采用散热器时，室内的温湿度也不易控制。 9.2.3规定本条是为了确保动力站内的水系统、消防系统等不被 冻结，另外也是为了检修的需要。 9.2.4规定本条是为了确保操作人员的身体健康和生产安全，因 为发光二极管工厂工艺设备生产过程中会散发有毒、有害和易燃 易爆的物质。

9.2.2发光二极管工厂洁净室有比较严格的洁净度和温湿度要

9.2.5本条是对排风系统设计

1本款规定是为了提高金属氧化物化学气相沉积设备生产 过程中排出的尾气中有害物质的处理效率，因为有害物质在高浓 度的状态下容易实现高效捕捉或清除，另外对于单一有害物质，容 易找到针对性的、高效率的处理方法。 2本款规定是为了避免因酸、碱废气不分开设置而发生反应 并生成结晶物，该结晶物不易处理，且容易沉积，堵塞管路。酸、碱 排风按一级负荷供电及工艺设备排风系统设置备用风机为提高工 艺排风系统的可靠性，从而确保工艺生产不会因排风机的意外故

障而中断，也保证了操作人员的身体健康和生产安全。 4酸、碱排风管道中会有凝结液产生，该凝结液如不及时 排除，将影响排风系统的正常运行或造成安全事故，该凝结液应 收集，且应排放到相应的废水管道中进入废水处理站进行再 处理。 5金属氧化物化学气相沉积设备排风中含有易燃易爆气体， 所以该排风系统应采取防火、防爆措施，具体措施包括排风管路系 统的法兰跨接、系统接地以及风机防爆等。 6本款规定是为了防止防火阀的误动作而造成排风系统的 失效，从而引发安全和生产的事故，另外即使发生火灾时也不应将 使此类排风系统停止运行，因为一方面排风系统可兼作排烟功能， 另一方面一旦停止运行，工艺生产设备将向车间内散发比烟气毒 性更大的有害物质。 7酸、碱排风在经废气处理设备处理前处于负压状态，这样 一旦排风系统发生泄漏，不会出现未经处理的有害气体直接排入 大气的现象，另外也可以使风机处于经废气处理设备处理后的低 浓度腐蚀气体运行环境，延长风机的使用寿命

6本条是对废气处理系统设计的规定

1考虑到发光二极管工厂酸、碱排风中有害物质的含量较 大，如采用固定床吸附剂方式处理，吸附剂很快就会饱和，需频 繁更换吸附剂，调查发现采用固定床吸附剂方式处理废气的企 业，大部分不及时更换吸附剂，从而影响废气处理效果，造成环 境污染。 2本款规定主要是为了使废气处理设备处于最佳的工作状 态，提高废气处理设备的处理效率，方便日常的操作维护。 9.2.7排气筒高度应满足国家规范、环境评估报告以及环保部门 等要求，经处理过的有害废气虽然已满足排放要求，但不等于没有

9.2.8金属氧化物化学气相沉积设备由于使用较大量的

防止氢气供应系统及使用氢气的设备发生意外泄漏时出现氢气积 聚，从而引发爆炸隐患，所以该设备区域应设置不低于12次/h事 故排风系统

也布置在洁净室内，一般使用氢气房间的吊顶上部不应存在氢气， 但考虑到该类厂房的洁净室吊顶通常是由金属壁板拼装而成的 如果发生氢气泄漏，氢气会通过板缝渗入吊顶上部空间，这种渗透 量虽然是极小的，但日积月累会有事故隐患，所以该房间的吊顶上 部应设置通风换气措施

9.3.1本条是对新风处理机组设置的规定

1本款规定是为了很好地控制洁净室内的正压值，同时也为 了节能。 2本款规定的目的是室外含尘空气在送入洁净室前彻底过 滤，从而延长洁净室顶部FFU内过滤器或洁净室顶部末端高效过 滤器的使用寿命

机组十干冷却盘管”的净化空调系统，其他洁净室采用“新风处理 机组十循环空气处理机组十高效过滤器送风口”的净化空调系统， 作此规定主要考虑了洁净室的形式、综合造价、综合能耗、系统可 靠性、空间管理、运行维护管理等因素。

9.3.3规定本条主要是防止金属有机化合物化学气相沉积间的

9.3.4规定本条主要是考虑房间相对湿度是由新风机组保证的，

9.3.5规定本条主要是考虑净化空调系统的末端高效过滤器

运行时间增加而积尘量上升，从而导致阻力加大，且末端高效过滤 器的初、终阻力相差悬殊，若循环空调机组内风机不采取变频调速 措施，风机始终以满足末端高效过滤器终阻力状态运行，明显不 节能。

9.3.6发光二极管工厂冬季有大量的余热.如制冷机

余热，工艺冷却水系统余热，空压机组的压缩余热等，这部分余热 量很大，但能提供的温度相对较低，所以设计加热和加湿系统时， 应考虑最大限度的利用这部分余热，如采用温水加湿方式，“两级 加热十两级加湿”方式等

9.3.9目前对于洁净度严于等于6级的洁净室大多采用“亲

理机组十风机过滤器机组十干冷却盘管”的净化空调系统，且使用 的风机过滤器机组（FFU）规格大部分为1200mmX1200mm，按照 国家现行行业标准《风机过滤器机组》JG/T388的有关规定， 1200mm×1200mm的单机噪声（标准型）≤57dB（A），根据国内几 个工厂洁净室噪声的实测数据，当洁净室FFU采用满布时，洁净 室内FFU的叠加噪声一般为FFU的单机噪声加13dB（A)左右， 所以本规范将该类洁净室的噪声适当放宽。

9.4.3发光二极管工厂的金属有机化合物化学气相沉积车间是 整个厂房中危险性相对较高的车间，从人员安全角度考虑，必须设 置机械排烟系统

为了防止室外空气对洁净室（区）环境的影响，必须设置防止室外 气流倒灌的措施。排烟风机需要定期进行巡检，为了避免对洁净 室（区）内空气的污染，影响正常的生产，一般在进入排烟风机前， 设计旁路系统，用于平时巡检，

在施工过程中，保温材料的纤维会在空气中飞扬，难以清除

对洁净空气造成污染，影响室内洁净度等级，且降低送风末端过滤 器的使用寿命。建议采用双面金属板材内含保温材料的成品风管 作为排烟风管

10.1.1本条规定了发光二

1本款要求尽量将各种给水排水管道布置在技术夹层内，使 布置在洁净室内的管道最天限度地减少，自的是防止布置在洁净 室的管道影响洁净室的洁净度。 2洁净室内的温度、湿度、风压等在正常情况下基本处于恒 温、恒湿、恒压状态，与洁净室无关的管道应尽可能避免穿过，以减 少管道对洁净室风压、风向的干扰；管道渗漏、结露等会增加洁净 室内的湿度，对洁净等级产生影响。

10.1.2发光二极管厂房首层往往设有较厚的结构层

直接敷设在结构底板下，一旦发生管道泄漏，很难被发现，会形成 废水对地下水、士壤等的污染，形成环境事敌，因此应避免

10.2.2本条规定了设置紧急淋浴器或洗眼器的场所。 10.2.3一般情况下，紧急淋浴器或洗眼器距离危险区最大间距 应在10s步距之内，按照人每小时行走6km计算，间距不应大于 16.7m。因此本规范确定了不宜天于15m的间距。 当操作人员受到了化学伤害，尤其眼部溅射到了化学品后，行 动会很不方便，如存在障碍物和跨越房间，会延缓受到化学伤害的 操作人员的施救时间.造成更大伤害

10.2.2本条规定了设置紧急淋浴器或洗眼器的场所。

10.2.4本条对发光二极管工厂一般给水排水的管道材料提出

水管道的材质应确保其耐腐蚀性及耐温性。另外，对于某些 由于可能含有有机溶剂，这些有机溶剂可能对某些塑料管道 接剂产生溶解，因此，在考虑管道本身的耐腐蚀及耐温性的 ，还应考虑管道接口的可靠性

粘接剂产生溶解，因此，在考虑管道本身的耐腐蚀及耐温性的同 时，还应考虑管道接口的可靠性。 10.2.5本条规定了排水收集系统的设置要求。 1生产废水、生化污水单独设置，便于废水处理。 2由于不同污染物的废水，其处理方法往往不同，因此应单 独设置收集系统，以便于废水处理。 3生产废液的排出往往是间式，如果不设置废液收集系 统，废液排出时对废水收集槽的浓度冲击负荷太大，影响废水处理 系统的正常工作，因此应设置单独的废液和废水收集系统。 4重金属是国家严格管理的污染物之一，应单独设置废水收 集和处理系统：。 10.2.6设置废水通气管的作用：①将管道内的有害废气排人大 气，避免了有害气体进入工作环境；②平衡废水管道内的气压，使 管道排水畅通。高出屋面2m是为了使通气孔高出一般人员的 高度。 10.2.9发光二极管工厂使用的化学品一般具有较强的危险性 一旦发生泄漏或是火灾事故，其泄漏液或火灾事故废水如果不经 收集直接进入环境，会对环境造成严重的破坏，因此在厂区化学品 存储、分配卸货等区域需要设置防护堤（或其他措施），防止泄漏 液或火灾排水外溢。防护堤的容积应大于堤内最大储罐容积与该 区域2omin消防水量之和。美国消防协会发布的《Standardfor theProtectionofSemiconductorFabricationFacilities》NFPA 318一2006第5.1.2条也有类似规定。 化学品卸货区域一般位于室外，当卸货槽车发生漏时，泄漏 液及室外卸货区的雨水不能直接排放到厂区或市政排水管网中

.2.5本条规定了排水收集系统的设置要求

10.2.9发光二极管工厂使用的化学品一般具有较强白

一旦发生泄漏或是火灾事故，其泄漏液或火灾事故废水如果不经 收集直接进入环境，会对环境造成严重的破坏，因此在广区化学品 存储、分配、卸货等区域需要设置防护堤（或其他措施），防止泄漏 液或火灾排水外溢。防护堤的容积应大于堤内最大储罐容积与该 区域2omin消防水量之和。美国消防协会发布的《Standardfor heProtectionofSemiconductorFabricationFacilities》NFPA 318一2006第5.1.2条也有类似规定。 化学品卸货区域一般位于室外，当卸货槽车发生泄漏时，泄漏 液及室外卸货区的雨水不能直接排放到厂区或市政排水管网中。 卸货区域事故排水可按照下式计算：

式中：q一 降雨强度（mm）；按平均日降雨量： F一进人事故排水存储设施的雨水汇水面积（hm²）

式中：q。一年平均降雨量（mm）； n一一年平均降雨日数。 本条为强制性条文，必须严格执行。 10.2.10由于废水收集槽及提升泵是将废水由生产厂房输送到 废水处理站的关键过程，其特点是一般位于地下，容积较小，当停 电时，废水收集槽非常容易出现溢流现象，造成废水提升泵没 影响生产，因此废水提升泵应采用应急电源，

10.3.2纯水系统的砂过滤器、活性炭过滤器等设备的反洗排水， 离子交换柱的再生排水，往往水量较大，排水时间短，站房排水管 道的排水能力，应确保这些设备的排水能得到及时排除，避免纯水 站房地面积水。

10.4.2本条规定的目的是为了确保不同用水设备的水量、水压 得到较好平衡，适用下列情况：工艺用水设备台套数较多时：工艺 设备进出水水压要求不同时；工艺用水设备布置在不同建筑层时。 10.4.4本条规定主要是考虑了管道介质温度对洁净室的影响 当工艺冷却水的水温低于环境温度时，可能产生结露，影响洁净室 的湿度；当工艺冷却水的水温高于环境温度时，管道系统会向环境

放热，影响洁净室的温度。

放热，影响洁净室的温度。

由于砷及其他重金属属于国家重点监控的污染物，其污 费用较高，因此，单独收集和单独处理含及其他重金属废 管理和降低污泥处置费用。

10.5.2由于砷及其他重金属属于国家重点监控的污染物，其污

10.6.2本条第2款关于自动喷水喷头的规定，参照了美国消防 协会发布的《StandardfortheProtectionofSemiconductorFabri cationFacilities》NFPA318一2006第2.1.2.2条的条款。当洁净 室的气流为向下时，火灾初期形成的向上热气流受到洁净室向下 气流的抑制，使安装在洁净室吊顶的喷头热敏元件反应滞后，对扑 灭初期火灾极为不利。由于快速反应喷头对热反应更敏感，使喷 头在火灾初期能更早动作，而且喷头动作数量少，所以当洁净室的 气流为向下时，应采用快速反应喷头。

11.1.1在发光二极管厂房中，设备用电的负荷等级应根据下列 因素来确定： （1)突然停电造成排风中断，有毒有害气体不能排出和处理 对工作人员的安全产生不利影响，对环境造成破坏。 （2）生产设备和生产装备在突然断电时造成损环的情况。 （3）洁净厂房的空气洁净度对有净化要求的产品质量有很大 影响。因此，必须保持净化空调系统的正常运行。一旦停电，室内 空气会很快污染，影响产品质量。洁净环境遭到破坏后恢复到正 常生产要求的时间长短。 （4）突然停电造成产品报废的损失情况。 设计时应综合上述因素，确定工厂的用电负荷等级。 11.1.2、发光二极管厂房工艺设备和动力设备对配电系统的影响 各有不同，所以设置配电变压器时应尽量把工艺设备用变压器与 动力设备用变压器分开设置。 如果工艺设备对于供电电源提出不间断供电、稳频、稳压等特 殊要求，设计时应针对使用要求的不同，分别设置不间断电源 UPS）、稳压稳频装置等，以满足用电要求。 11.1.3发光二极管厂房内存在部分单相负荷和非线性负荷存 在，造成配电线路中存在不平衡电流和高次谐波电流，致使中性线 有较大的电流。而TN一S或TN一C一S接地系统中有专用不带 电的保护接地线（PE），因此安全性好。 11.1.4洁净厂房从工程投资规模和厂房的密封结构等方面考

11.1.1在发光二极管厂房中，设备用电的负荷等级应根据下列 因素来确定： （1)突然停电造成排风中断，有毒有害气体不能排出和处理， 对工作人员的安全产生不利影响，对环境造成破坏。 （2）生产设备和生产装备在突然断电时造成损环的情况。 （3）洁净厂房的空气洁净度对有净化要求的产品质量有很大 影响。因此，必须保持净化空调系统的正常运行。一旦停电，室内 空气会很快污染，影响产品质量。洁净环境遭到破坏后恢复到正 常生产要求的时间长短。 （4）突然停电造成产品报废的损失情况。 设迁时应综合上述因 企用电负益黛级

11.1.2发光二极管厂房工艺设备和动力设备对配电系统的影响

如果工艺设备对于供电电源提出不间断供电、稳频、稳 殊要求，设计时应针对使用要求的不同，分别设置不间迷 （UPS）、稳压稳频装置等，以满足用电要求

11.1.3发光二极管厂房内存在部分单相负荷和非线性负荷存

在，造成配电线路中存在不平衡电流和高次谐波电流，致使中性线 有较大的电流。而TN一S或TN一C一S接地系统中有专用不带 电的保护接地线（PE），因此安全性好。

规范》GB50016中的规定

.1.5洁净室内配电设备的选择应尽量减少积尘的可能 应尽量放置在辅助区内，以减少对工艺区洁净度和温湿度 响。

洁净厂房内管材应采用不燃材料。当洁净室不能保持正压 止由于压差而使尘粒通过管线空隙由非洁净区渗入洁净区 级别洁净室之间电气管线口也应做密封处理

11.1.7发光二极管厂房入口室、辅助间等的防爆要求应

11.1.8洁净室的照明一般要求照度高。灯具的选择应该考虑发 光效率、发热量小、光谱分布尽量接近于天然光，一般均采用荧光 灯作为照明光源。当有些洁净室层高较高，采用一般荧光灯照明 很难达到设计照度值，在此情况下，可采用其他光色好、光效更高 的光源。

11.1.9照明灯具的安装方式应按照洁净室的要求考虑，一般采 用吸顶明装和嵌人顶棚暗装，同时还需要考虑灯具的维修和灯管 的更换方便

11.1.9照明灯具的安装方式应按照洁净室的要求考虑，一般采

11.1.10发光二极管厂房照度值参照现行国家标准《洁净）房设

由于某些生产工艺对光源光色有特殊要求，或荧光灯对生厂 工艺和测试设备有王扰时，需要在指定区域采用黄色光源。

11.1.11发光二极管厂房是一个相对的密闭体，室内人员流动 路线复杂，出入通道迁回，为便于事故情况下人员的疏散，及火 灾时能救灾灭火，所以，洁净厂房应设置供人员疏散用的应急 照明。 在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置标志灯以便于疏 散人员辨认通行方向，迅速撤离事故现场。在专用消防口设红色 应急灯，以便于消防人员及时进入厂房进行灭火

在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置标志灯以便于疏 散人员辨认通行方向，迅速撤离事故现场。在专用消防口设红色 应急灯，以便于消防人员及时进入厂房进行灭火

11.2.2综合发光二极管厂房功能接地电阻要求，通常12是功 能接地要求均能满足的电阻值。

11.2.3由于发光二极管工厂

采用的标准不同，所以对工艺设备和生产线的接地要求也不同，但 是，在实际设计中，采用共用接地装置，各种功能的接地单独引出 接线的方式一般各方均能接受，故推荐采用此方式。 11.2.4有资料表明，不同功能的接地装置与防雷接地保持20m 约距商能够险止需由启

11.2.4有资料表明，不同功能的接地装置与防雷接地保持20m

11.4.1为了减少洁净室内人员的走动引发尘埃颗粒，保证室内 洁净度，在每个工序宜至少设一个有线语音插座。 11.4.2当生产工艺采用自动化操作，需要网络来支持时，在洁净 室（区）应设局域网设施。 11.4.3本条规定是为最大限度地减少不必要人员进入，保证洁 净室的洁净度。

至（区）应设同域网设施。

5.1发光二极管工厂主厂房为丙类洁净厂房，根据现行国 《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的要求，应设火灾

了特别的规定，火灾报警时，洁净室（区）的空气净化及排烟系统不 可联动自动启停，原因是一发生误报，自动联动停止空气净化系 统、启动排烟系统，洁净室的环境就会遭到破坏，恢复起来需要 定的代价和时间。所以为防止误报造成不必要的损失，规定应在 火灾报警经核实确认，确定需要启动排烟系统时，由专职人员手动 实施相应的排烟系统和空气净化系统的后动、停止，并接收反馈信 号，要在消防控制室设人员操作按钮

可联动自动启停，原因是一且发生误报，自动联动停正空气净化系 统、启动排烟系统，洁净室的环境就会遭到破坏，恢复起来需要 定的代价和时间。所以为防止误报造成不必要的损失，规定应在 火灾报警经核实确认，确定需要启动排烟系统时，由专职人员手动 实施相应的排烟系统和空气净化系统的启动、停止，并接收反馈信 号，要在消防控制室设人员操作按钮。 11.5.2发光二极管生产过程中使用一些易燃、易爆、腐蚀、有毒 特种气体，这些特种气体一日泄漏，将可能产生火灾、爆炸、腐蚀或 毒害，危及生产作业人员安全，或对设备造成损害。为避免这些气 体泄漏造成事故，应设置有效、安全、可靠的气体管理、泄漏监测和 联动控制系统，并且应在储存、分配场所设闭路视频监视摄像机和 门禁设施，24h全天候进行监视，以确保其安全性。 《特种气体系统工程技术规范》GB50646中对特种气体的管 理、泄漏探测、报警联动以及安全设施的设置都做了详细的规定， 发光二极管工厂在设计中应按规范执行。 11.5.3发光二极管生产过程中使用一些甲类化学品，这些化学 品储存间是工厂安全监控的重点部位，应设闭路视频监视摄像机 和门禁设施，并且应24h全天候进行监视，以确保其安全性。 11.5.4洁净室内环境比较复杂，除了火灾事故外，自燃、易燃、毒 性、腐蚀性气体及化学品液体泄漏也是易发生的事故，仅设声光报 警器室内人员难以了解事故性质及状况，不便于采取相应的避难 错施，因此应当设置事故应急广播，确切的通报事故性质，组织人 员疏散。 洁净室内应选用密封性能好的专用扬声器，确保不会因扬声 器粉尘的飘落降低产品的合格率。

11.5.2发光二极管生产过程中使用一些易燃、易爆、腐蚀、有毒

特种气体，这些特种气体一旦泄漏，将可能产生火灾、爆炸、腐蚀或 毒害，危及生产作业人员安全，或对设备造成损害。为避免这些气 本泄漏造成事故，应设置有效、安全、可靠的气体管理、泄漏监测和 联动控制系统，并且应在储存、分配场所设闭路视频监视摄像机和 门禁设施，24h全天候进行监视，以确保其安全性。 《特种气体系统工程技术规范》GB50646中对特种气体的管 理、泄漏探测、报警联动以及安全设施的设置都做了详细的规定， 发光二极管工厂在设计中应按规范执行

11.5.3发光二极管生产过程中使用一些甲类化学品，这

品储存间是工厂安全监控的重点部位，应设闭路视频监视摄像机 和门禁设施，并且应24h全天候进行监视，以确保其安全性，

性、腐蚀性气体及化学品液体泄漏也是易发生的事故，仅设声光报 警器室内人员难以了解事敌性质及状况，不便于采取相应的避难 错施，因此应当设置事故应急广播，确切的通报事故性质，组织人 员疏散。 洁净室内应选用密封性能好的专用扬声器，确保不会因扬声 器粉尘的飘落降低产品的合格率

12.1.1防静电工作区的确定边界，可以是建筑的实体介质（如

1防静电工作区边界的空间界定

历好电 工可定 注：图中最外层六面体是建筑的实质性边界，即墙、柱、门窗、顶棚、地面。

注：图中最外层六面体是建筑的实质性边界，即墙、柱、门窗、顶

防静电工作区范围界定，应根据工艺要求、环境构成、防静电 控制要素综合考虑，发光二极管厂房防静电工作区常见的布置方 式可如图1（b）。 12.1.2、12.1.3防静电工作区设计首先应符合工艺要求，当工艺 要求不明确时，设计可参考表12.1.3确定防静电工作区分级，当

12.1.2、12.1.3防静电工作区设计首先应符合工艺要求，当工艺 要求不明确时，设计可参考表12.1.3确定防静电工作区分级，当

要求不明确时，设计可参考表12.1.3确定防静电工作区分级，当

化二极管生产工序对静电防护要求较高时可取二级，当发光 管生产工序对静电防护要求较低时可取三级

12.2.1、12.2.2本规范采用材料的表面电阻值作为量纲单位。 本条规定的材料名称、性能指标依据现行国家标准《电子工程防静 电设计规范》GB50611。 12.2.2条第3款中每个房间顶棚和墙柱面的导电层接地连 接点的设置不应少于四处，是考虑到接地连接点的设置通常是顶 朋、墙柱面分别设置二处接地连接点，并应保证所有墙、柱面的导 电层均能与接地连接点连通

标准和文献的一般提法，低起电材料界定为摩擦起电电压绝对值 不大于2000V，为满足三级防静电工作区的静电电位要求，用于防 静电环境材料的摩擦起电电压绝对值仍不得大于1000V

12.2.4一般装修设计中经常使用未经表面改性处理的高分子绝

由于装修饰面的平整光滑对于抑制静电的产生和积聚有积极 作用，所以防静电工作区作为工作场所不宜将饰面设计得过于 复杂。

、12.2.6由于空调系统的送、回风口和风管管壁是易产生

12.2.7空调系统的送风口、流动液体、气体和粉体管道的内壁会 在液体、气体和粉体的流动过程中产生摩擦起电，因此不适当地安 装将会造成静电放电的严重危害。易燃、易爆环境中的防静电接 地，相关行业都已制定了相应标准

得很好，防静电工作区某些部位仍然会形成超过规定限值

电位。因此，应用适宜的离子化静电消除器来中和局部表面和空 气中的静电电荷，可以降低局部静电电位

接地系统应设计低阻抗的静电泄放电气通路，接地导线的横截面 除了满足低电阻的要求以外，还必须有足够的机械强度及其他电 磁兼容性要求

当防静电工作区设置在高层建筑内，总等电位接地端子板与防静 电工作区楼层垂直距离较远时，为保证防静电接地端子板与楼层 其他接地设备的等电位，防静电接地主干线宜从楼层等电位接地 端子板引接

设计时，应以防雷接地系统设计为基础。由于在大多数情况下各 种功能接地系统最终采用联合接地方式，因此，应首先考虑防雷接 地系统设计，使其他功能接地系统都包含在防雷接地系统的保护 范围之内。

13.1.1本条明确了发光二极管工厂空间管理进行管

满足的基本要求，发光二极管工厂主要包括下列管线： （1）工艺管线。含压缩空气、大宗气体、工艺真空、清扫真空、 特种气体、纯水、工艺废水、工艺循环冷却水、化学品供应、化学品 回收、局部工艺排风等管线； （2)公用管线。含一般给排水、消防、送风、回风、全室排风、排 烟、冷冻水等管线； （3）电气管线。含工艺设备、公用设备、照明等使用的母线、 桥架。 13.1.2、13.1.3生产厂房的层高是调研了部分发光二极管工厂 总结的一个高度，经调研，国内现有发光二极管工厂洁净生产层净

13.2.1、13.2.2发光二极管生产厂房由于各种管线较多，对各种 管线进行综合应该层次分明，避免为今后维保带来不便。 管线竖向布置的顺序是根据各种管线的特性决定的，如：由于 电气管线不能进入液体，电气管线若放置在液体管线下方会存在 液体进入的风险；工艺管线需要与生产层工艺设备连接，若空调风 管放置在工艺管线正上方，则会影响工艺管线与工艺设备的连接 13.2.3管线布置时应充分考虑各专业需求，满足各专业系统设 然

13.2.1,13.2.2

13.2.3管线布置时应充分考虑各专业需求GTCC-058-2018 轨道车运行控制设备-铁路专用产品质量监督抽查检验实施细则，满足各专业系统设

C.2.2管芯（芯片）生产工艺流程包括：光刻、刻蚀、减薄

光刻：通过一系列生产步骤，在晶圆表面部分区域形成设计所 需的薄膜保护层，以便后续工序进行选择性蚀刻。光刻工艺主要 包含匀胶、烘干、曝光、显影四个阶段： ①匀胶：在清洗后的外延片上，涂覆一层均匀的光刻胶。 ②烘干：在一定条件下烘烤，除去光刻胶中的溶剂，增强黏附 性；释放光刻胶膜内的应力；防止光刻胶站污设备。 ③曝光：在掩模版的遮蔽下，对光刻胶进行选择性曝光，使光 刻胶发生化学反应，整个晶面的光刻胶薄膜由起交联反应部分与 未起交联反应部分组成。 ④显影：采用特定化学溶剂去除起交联反应部分光刻胶或去 除未起交联反应部分光刻胶，在晶圆表面部分区域形成设计所需 的薄膜保护层。 刻蚀：刻蚀技术分为干法刻蚀和湿法刻蚀；刻蚀的目的是将光 刻后暴露的保护层去除，使下面的基质层暴露出来。 ①干法刻蚀：利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离 基（处于激发态的分子、原子及各种原子基团等）与材料发生化学 反应或通过轰击等物理作用选择性腐蚀基材的过程，刻蚀气氛通

DB37／T 3366-2018 山东省涉路工程技术规范C.2.3管芯（芯片）封装生产工艺流程包括：装片、金线键

装片：将发光二极管芯片安装在相应的支架位置上。 金线键合：键合的目的是将电极引到发光二极管芯片上，完成 产品内外引线的连接作用。 固化：对芯片进行包封，以产生器件的光学和防护特性。 切筋：由于发光二极管在生产中是连在一起的，采用切筋工艺 切断发光二极管支架的连筋

统一书号：1551820107 定价：20.00元