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采用PVDF。 对于纯水系统的阀门、附件的选用，其材质应选择与管道相同 的材质。为防止阀门可能发生渗气现象，影响纯水的水质，所以应 选用密封好、结构合理的阀门。根据电子工业洁净厂房的实际情 况，在集成电路芯片生产等对纯水水质要求严格的电子产品生产 工艺用纯水系统中，一般采用隔膜阀。

10.1.1洁净厂房使用的气体有常用气体、干燥压缩空气及特种 气体三大类，根据各种电子产品品种及其生产工艺的不同，使用气 体的品种、纯度及杂质含量是不相同的。表22是几类电子产品所 需气体品种

表22几类电子产品所需气体品种

禄丰县垃圾处理厂场区土地平整工程施工组织设计注表中符号“”表示该类工厂需用的气体

10.1.3洁净厂房所使用气体的制备、纯化、储存及分配系统，除 应遵守本规范外，还应遵守相关现行国家标准的规定，其中主要 有：《建筑设计防火规范》GB50016、《压缩空气站设计规范》GB 50029、《氢气站设计规范》GB50177、《氧气站设计规范》GB 50030、《工业金属管道设计规范》GB50316等。 10.1.4～10.1.6目前，各类电子工业洁净厂房中，常用气体管道 的一次配管，均敷设在与用气设备相关洁净室（区）毗邻的技术夹 层或技术夹道内。除压缩空气管道外，其他各类气体管道不得穿 过与其无关的房间或不使用这些气体的房间，有时为布置的方便

10.1.8本条为电子工业洁净厂房内设有可燃气体管道时

1在使用可燃气体的洁净室厂房内，为避免可燃气体的泄漏 引发燃烧、爆炸事故，一般是将管路上的阀门设置在阀门箱内，此 类阀门箱均设有气体泄漏报警和事故排风装置。

2目前，在电子工业洁净厂房中的氢气或含氢可燃气体等接 至用气设备（无明火）的支管和放散管，为防火回火引发事故，均设 有阻火器，但除此之外的可燃气体管道大部分没有设阻火器，所以 本条规定“宜设置阻火设施”。

10.2.1常用气体主要包括氢气、氮气、氧气、氩气和氮气，在电子 工厂中它们的供气方式主要有三种：第一种是在电子工厂内或邻 近处设制气装置，采用管道输送至用气厂房、车间或设备；第二种， 外购液态气体，在电子厂房内设液态气体储罐、气化器及气体过 滤、调压、输配装置，由管道送至用气厂房、车间或设备；第三种，外 购瓶装压缩气体，瓶装压缩气体有单个钢瓶或钢瓶集装格或长管 气瓶拖车等形式，在电子工厂内设压缩气体钢瓶储存、气体分配装 置或汇流排，再由管道输送至用气厂房、车间或设备。表23是三 种方式的比较。

表23三种供气方式的比较

标准》第6.6.3条规定：“.·可燃和有毒气体探测器必须启动报 警器和切断气体供给”。 7设有氢气等可燃气体的气体纯化间或气体人口室，应设有 良好的自然通风设施，以确保一旦氢气等泄漏时及时排放，避免在 室内积累；当房间内泄漏气体达到规定浓度时，气体泄漏报警装置 报警并启动事故排风装置。工程实践证明，自然通风、事故排风均 为可靠的、行之有效的安全技术措施。 10.2.6鉴于氧气的特性，氧气与油脂接触后，如碰上着火源，极 易引起燃烧事故，所以氧气管道、阀门及附件均应忌油，都必须进 行严格的脱脂处理；氧气是典型的氧化性气体，只要在氧气管道内 因各种原因存在机械杂质、铁锈等可燃物时，一旦有着火源都极易 引发着火燃烧事故，因此氧气管道等均应设有导除静电的接地设 施，以及时消除管道内气流摩擦等因素产生的静电聚集；当洁净厂 房因各种原因出现火情或重大事故时，为了避免引发氧气管道产 生次生灾害，减少损失，应及时切断氧气供气气源。为此制定本条 规定，并为强制性条文。 10.2.9由于洁净室（区）内密闭性好，为避免各类气体泄漏后不 易排出，积聚在洁净室（区）内或技术夹层、技术夹道内，根据电子 工业洁净厂房设计、建造的实践经验，气体管道的连接应采用焊 接。当气体管道的材质采用不锈钢管时，应采用氩孤焊，并宜采用 等离子熔融对接焊。气体管道与设备或阀门的连接宜采用表面密 封接头（VCR）或双卡套，高纯气体管道应采用表面密封接头 （VCR），采用双卡套接头时，其密封材料宜采用金属或聚四氟乙 烯垫。

10.3干燥压缩空气系统

10.3.1干燥压缩空气系统是电子工厂中的一种重要动力源，它 用于许多电子产品生产工艺设备气动设备或仪器仪表的动力气 源，一旦供气量不足或供气品质下降，都将影响产品生产过程的正

常进行，严重时还将停产，故本条对电子工业洁净厂房中的干燥压 缩空气系统作了相关的规定。 1应按生产工艺、公用动力系统对干燥压缩空气品质、消耗 量确定设计规模。为确保生产工艺供气的安全、可靠、稳定性要 求，应留有合理的富余量。当产品生产过程要求不能中断供气或 中断供气将会引起安全事故时，应设置一定的备用供气装置等。 2电子产品生产过程对干燥压缩空气的含水量（或露点）、含 油量、微粒粒径及其浓度的要求较为严格，表24是一些电子产品 生产工艺对干燥压缩空气品质的主要要求。

表24一些电子产品对干燥压缩空气品质的主要要求

3电子工厂所需干燥压缩空气大多要求严格控制含油量或 无油；即使少数产品因生产工艺对干燥压缩空气无含油量要求，但 为了确保干燥装置的安全可靠运行，应采用无油润滑空气压缩机 或采取多级过滤器除油，所以本条推荐“宜选用无油润滑空气压缩 机”。

10.4.1由于电子产品生产工艺所使用的特种气体是品种多、单 一品种数量少，所以均为外购供应，一般采用钢瓶包装、运输、储存 或少量采用槽车运输。在钢瓶（储罐）内的状态有气体及液体。根 据生产工艺所使用的特种气体物化性质、耗量、品质要求，在电子 工厂内应合理设置储存、分配系统。 10.4.2本条规定的特种气体储存分配间是指电子工业洁净厂房 中设置特气柜的专用房间，该特气柜间属于洁净厂房中的生产辅

助房间，通常设在靠外墙的边跨中，有时为了平面布局的需要也可 设在其他场所。该特气间生产危险性类别的划分应根据放置的特 气种类确定，而电子工业洁净厂房中的特气间常常设有可燃性、毒 性、氧化性特种气体，所以应按甲、乙类生产类别进行设计。参照 现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016一2006中的相关规 定，在甲、乙、内类厂房内，布置有不同类别火灾危险性的房间的隔 墙应采用耐火极限不低于2.0h的不燃烧体，隔墙上的门窗应为甲 级防火门窗。并根据多年的工程实践，制定本条规定，并为强制性 条文。 10.4.3可燃或有毒的特种气体具有对安全生产、人员健康极大 的危害，因此本条的第1～3款对其分配系统的设置作了强制性规 定： 1特种气体钢瓶及其分配系统应设在具有连续机械排风的 特气柜中，该特气柜应配有气体泄漏检测报警系统、手动或自动切 换系统、自动切断输送气体及自动吹扫的设施。气体泄漏检测报 警系统应与事故机械排风机联锁。该特气柜设排风装置，并应排 入相应的生产废气处理系统，经集中处理达标后，方能排放至大 气。对储存高危害性特种气体的钢瓶柜应配置就地废气处理装 置，经集中处理达标后，才能排入上述相应的生产废气处理系统。 2为确保连续不中断运行，分配系统所设置的自控系统、报 警系统及与之所联锁的事故排风机的电源，均应设应急电源。 3特种气体系统的阀门、附件及连接件都应设在多路阀门箱 （盘）（VMB或VMP)内，该阀门箱/盘均设机械排风装置、气体泄 漏检测及声光报警系统，并能在事故发生时及时切断气体供应和 启动所联锁的事故排风机，排入相应的生产废气处理系统。 10.4.4特种气体分配系统中，具有危害性的特种气体钢瓶气源 应配备吹扫盘，为此本条作了相应规定。 1现将美国消防协会发布的NFPA318《洁净室消防标准》 第6.3节有关特种气体吹扫盘的租关规定摘要如下：

1）所有危险的压缩工艺气体钢瓶在使用时，应设置吹扫盘； 2）选用的吹扫盘所使用的管道、配件的材料与所输送的气体 应具有相容性， 3）应设置过流量控制，并设紧急切断阀， 4）只有用于相容气体的吹扫盘，才容许共用吹扫气瓶； 5）设手动切断阀，以便将吹扫盘整体取下进行修理。 2吹扫盘的吹扫气源一般采用以下两种方式 1）采用常用气体输配系统作为吹扫气源，系统应设置防回流 措施，以防止吹扫气体与其他工艺特气的交叉污染， 2采用专用吹扫气体钢瓶或钢瓶组作为吹扫气源，对物化性 质不相容的两个或两个以上特气钢瓶气源所配置的吹扫盘，不允 许合用一气体钢瓶或钢瓶组吹扫气源。 10.4.5本条规定硅烧或硅烷混合物气瓶应存放在电子工业洁净 厂房建筑外的储存区内，并规定了这类储存区设置的相关规定。 这些规定，主要是参考了美国消防协会发布的NFPA318《洁净室 消防标准》第6.4节的有关规定： 1储存区必须是三面敲开的，气瓶用钢制框架保护。 2气瓶与周围构筑物及围栏最小间距应大于等于95英尺 (约2.7m)。 3当储存区设有雨篷时,其净高应为12 英尺(约3.7m)。

表25一些电子工业洁净厂房所用主要化学品种类

注表中符号“”表示该类工厂需用的牛

表26集成电路芯片(64M)生产过程部分化学品的质量要求

11.1.2电子工业洁净厂房所用化学品如表25所列品种较多，它 们的分类、储存应符合现行国家标准《常用危险化学品的分类及标 志》GB13690、《常用危险化学品贮存通则》GB15603等的相关规 定。危险化学品按主要危险特性分为8类，即第1类爆炸品，第2 类压缩气体和液化气体，第3类易燃液体，第4类易燃固体、自 燃物品和遇湿易燃物品，第5类氧化剂和有机氧化物，第6类有 毒品，第7类放射性物品，第8类腐蚀品。 由于各类化学品的性质不同，因此常用化学危险品应分区、分 类、分库储存，并不得与禁忌物料混合储存。储存化学危险品的建 筑物不得有地下室或其他地下建筑，其耐火等级、层数、占地面积、 安全疏散和防火间距，应符合国家有关规定

11. 2化学品储存、输送

关规定。第5.1.1条，危险化学品的储存和分配间应以耐火极限 为1.0h的构造物与洁净室分隔。第5.1.3条，洁净室中应把危险 化学品控制在使用和维护需要的限值。第5.1.4条，危险化学品 的储存和分配间应设有下列机械排风装置：（1）机械排风最低流量 为1m/s·m²地板面积；（2）排风和人口处的开口应防止气体的 积聚：（3）机械排风系统应与自动应急电源相连。

11.2.2制定本条的依据和参考资料如下：

1美国消防协会发布的NFPA318《洁净室消防标准》的有 关规定。第5.3.2条，危险化学品不应在出人口走廊内分配和存 放。第5.3.3条，运输和装载危险化学品的小车应为完全封闭型。 用于运输化学品的小车的容量不应超过208L，最大单个容器的容 量为19L。第5.3.4条，不相容的危险化学品，不得用同一装载危 险化学品的小车同时运输。 2据了解，目前国内一些使用危险化学品的电子工业洁净厂 房内，为确保桶装危险化学品运输过程的安全，均采用液压升降装 置，在运输危险化学品的通道或走廊，均设有自动灭火装置，一日 发生火情，及时进行救援。对于运送有机溶剂部位，应采用二氧化 碳灭火系统或泡沫灭火系统，其余采用自动喷水灭火系统。 11.2.3本条规定是根据国内一些电子工业洁净厂房使用危险化 学品的储存、输送系统的调查分析资料和参考NFPA318《洁净室 消防标准》的相关条文制定的。 1电子工业洁净厂房中的危险化学品采用管道输送时，一般 采用气泵增压输送，增压气体采用氮气。 2在危险化学品的管道输送系统的压力储罐后的分配和使 用设备处均应设手动切断阀，以便及时进行切断操作。 3NFPA318《洁净室消防标准》第5.2节中的相关规定：“采 用加压系统时，系统中所用各种材料都应与所输送的化学品物化 性能具有相容性”，“压力罐设有自动减压通风口，若火灾时，可 气至安全的位置”“使用点设手动切断阀”“加压只能用惰性气

11.2.5制定本条规定的主要依据如下：

1根据对一些电子工业洁净厂房内设有危险化学品储存，分 配间的调查表明，储存化学品的储罐一般设置在底层半地下间，位 于化学品供应系统的最低处，在各类液体储罐之间设有隔堤或保 护堤。保护堤是用于储罐泄漏或检修用围堰，防止液体化学品外 溢；隔堤是用于甲、乙类液体或液体相互接触能引起化学反应的储 罐之间的分隔。隔堤、防护堤的高度约500mm。危险化学品储 存、分配间一般均设有液体泄漏报警装置、紧急洗眼器、淋浴器。 2在现行国家标准《石油化工企业设计防火规范》GB50160 中，对于甲、乙类液体设置防火堤、隔堤制定厂有关规定。 3NFPA318《洁净室消防标准》第5.1.2条规定：洁净厂房 内的危险化学品储存和分配间应设二次抑制化学品溢出的设施

11.3.1电子工业洁净厂房所需化学品的品质较多，包括具有可 燃性、氧化性、腐蚀性的各种酸碱、有机溶剂等，为确保化学品的输 送质量、安全运行和使用寿命，输送化学品的管道材质应根据管内 流过化学品的物理化学性质进行选择，如酸碱类输送管道材质，通 常采用聚四氟乙烯管，并以透明PVC管做保护套管，避免输送管 道被腐蚀和预防酸碱液泄漏时造成人身（设备）受伤（受损）。为防 止各类化学品，特别是一些高纯化学品在输送过程中被污染或因 管道材质选用不当，引发不应发生的化学反应，影响化学品质量， 所以输送化学品管道的材质应选用化学稳定性良好和相容性好的 材料，如：输送有机溶剂类化学品管道材质，通常采用管内壁抛光 的低碳不锈钢管（SUS316LEP/BA）等。本条为强制性条文。

11.3.2据调查了解，在电子工业洁净厂房中，为防止有腐蚀性的 酸碱类管道泄漏，殃及操作人员或生产设备，各类腐蚀性的酸碱类 管道均采用带套管的聚四氟乙烯管（PFA管），外套管为透明的

11.3.2据调查了解，在电子工业洁净厂房中，为防止有腐

PVC管等。 在美国消防协会颁布的NFPA318《洁净室消防标准》中，有 一条例外的说明：“易燃液体的加压输送系统容许用非金属管道输 送，但必须设置于熔点高于1093℃（2000°F）的金属制造的外壳 中”。 鉴于上述情况，作了本条规定。 11.3.3对一些使用多种化学品的管道供应系统的国内电子工业 洁净厂房的调查和相关的技术资料介绍表明，为确保化学品供应 输送系统的安全和有利于连接多台生产设备共用一条管路系统， +般在液体化学品供应系统中设有化学品供应分配阀箱（Valve ManifoldBox，简称VMB，如图9所示）。故作本规定，

图9化学品供给系统示意 1一化学品供给装置，2一阀门箱（VMB），3一使用化学品的设备 4一三通箱，5一化学品供给管道

4m以上，此时，配电系统的配电箱基本上均布置在下技术 内，故本条规定“配电设备宜设置在下技术夹层”。

4m以上，此时，配电系统的配电箱基本上均布置在下技术夹层 内，故本条规定“配电设备宜设置在下技术夹层”。 12.1.7洁净室（区)为密闭空间，一旦出现火情时烟气不易排出， 为确保工作人员的安全和健康，宜采用低烟、无卤型电缆，避免电 缆燃烧产生的烟雾和卤素毒气危及工作人员的安全。为保证洁净 生产区的洁净度、不积聚尘埃，电缆不宜在洁净生产区明敷。为避 免防止污染物从接缝渗漏入洁净室（区），对各种接缝、电气管线口 应进行密封处理。

为确保工作人员的安全和健康，宜采用低烟、无卤型电缆，避免电 缆燃烧产生的烟雾和卤素毒气危及工作人员的安全。为保证洁净 生产区的洁净度、不积聚尘埃，电缆不宜在洁净生产区明敷。为避 免防止污染物从接缝渗漏入洁净室（区），对各种接缝、电气管线口 应进行密封处理。 12.1.8电子工业洁净厂房内使用的可燃气体、危险化学品的种 类很多，各自的物理化学特性不同和供应系统配置不同，且具体工 程中的系统、设备和安防设施的配置也不相同，所以电气设计应按 现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GE 50058的规定，由工艺专业等确定其设防等级。

12.1.8电子工业洁净厂房内使用的可燃气体、危险化学品

类很多，各自的物理化学特性不同和供应系统配置不同，且具体工 程中的系统、设备和安防设施的配置也不相同，所以电气设计应按 现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的规定，由工艺专业等确定其设防等级。

12.2.1根据现行国家标准《建筑照明设计标准》GB50034 2004中的规定，照度值均为作业面或参考平面上的维持平均照度 值。该标准第5章中规定了各类建筑的照明标准值，现将其中有 关电子工业的部分摘录于表27中。

操作要求相关，实际采用局部照明的照度值一般为500～20001x， 个别也有超过20001x的。为此，本条规定局部照明的照度值应 根据生产操作的要求确定

.2.3洁净室（区）内的电子产品生产一一般为连续性生产，对

的连续性、可靠性均有较严格的要求。设置备用照明的目的是 了正常照明因故熄灭时，确保工作人员能够继续从事必要的生 活动或采取应对措施所必须的照度。为减少灯具的重复设置 省投资，备用照明一般都是作为正常照明的一部分，以不低于证 所一般照明照度值的20%为宜。

以目前已建的洁净厂房内均设有供人员疏散用的应急照明，

12.3通信与安全保护装置

12.3.1电子工业洁净厂房是一密闭性建筑，为确保正常生产、安 全生产，在洁净室（区）内设置通信设施，是加强内外联系和实现科 学管理的重要手段。 1洁净室内设置内外联系的通信设施，主要指建立内外语音 和数据通信。鉴于洁净室内的工作人员是主要的尘源，人员走动 时的发尘量是静止时的5～10倍，为了减少洁净室内人员的走动， 保证室内洁净度，在每个工位宜设一个有线语音插座。 2若洁净室（区）设有无线通信系统时，应采用功率小的微蜂 窝无线通信等系统，以避免对生产设备造成干扰。 3洁净室生产工艺大多采用自动化操作，需要网络来支持； 现代化生产管理，也需要网络来支持。因此，需在洁净室（区）设局 域网的线路及插座。 4为减少洁净室（区）内人员的活动，最大限度地减少不必要

入员进入，通信配线及管理设备不应设置在活净室（区

2.3.3由于洁净室(区)进出程序比较复杂，一般未做身体净

12.3.4制定本条的依据是：

1电子工业洁净厂房内火灾探测器选择时，应充分考虑洁净 室（区）的环境条件及房间构造特点，如高度、面积、空气流向、流 速、有无对火灾探测器的干扰等，以及火灾探测器的特性和技术指 标。选用智能型探测器可比较可靠地探测火灾。 2在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶显示器生产用洁 净厂房，洁净生产区的面积较大，防火分区的面积大大超过现行国

12.3.5在消防控制室平时对下列设备不应自动联动，应对

12. 3. 6~12. 3. 8制定这三条的根据是

1在一些电子产品生产过程中使用品种多样的易燃、易爆！ 毒气体,如 SiH、SiH,Cl²、NHs、C,F。,AsHs、PH3、Cl² 等。这

些气体一旦泄漏，将可能产生火灾或爆炸、或危及操作人员安全、 或对设备造成损害。因此，必须设置有效、安全、可靠的气体探测 和控制系统，避免、防止因气体泄漏造成事故。气体探测器按原理 分，有电化学式、化学纸带式、红外技术和固态金属氧化物技术等： 按采样方式分，有泵吸式和扩散式。应根据所监测的气体物化特 性和使用环境特点合理选用。 2因在各种气体的输送管道和特种气体的气瓶柜、分配阀门 箱内的气瓶阀、减压阀、分配阀、切换阀等的连接处容易产生气体 泄漏，在特气柜更换气瓶时因操作不当阀门未关紧，管道接口、阀 门受腐蚀或连接不牢固等原因，易产生气体泄漏。因此，在这些易 发生泄漏的场所，沿程管道的阀门或接头易泄漏处和气瓶柜、分配 阀门箱内均应设置检测点。气瓶柜、分配阀门箱均设有强制排风 系统，如有气体泄漏时，泄漏的气体大部分被吸入到排风管内，所 以应将采样点设置在排风管口处。 3气体泄漏报警装置报警后，为了及时切断相应气体的气 源，防止继续泄漏，造成着火、爆炸事故，应自动联锁相应气体输送 管道的进气阀门。 4美国消防协会发布的NFPA318《洁净室消防标准》，第 6.6.1条规定：易燃或有毒气体在使用中，应设置于配有排气通风 的柜内，柜内应设置气体监测报警和自动切断气体供应设施。第 6.6.3条规定：在可能有易燃、有毒气体泄漏的场所、阀门或装配 件或接头处，应设置气体报警和排气通风设施，一旦报警时，应能 切断气源。第6.6.5条规定：对可能发生易燃气体泄漏的场所，设 置爆炸下限20%的报警装置。以上各条要求是制定本条规定的 主要依据。

2.4.1、12.4.2电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集 技术、自动化仪表、计算机技术和网络通信等技术为一体的综

技术，只有正确合理地运用各门技术，系统才能达到控制要求。为 了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求，公用动力 工程系统、净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性。其次，对 于不同的控制设备，要求具有开放性，以适应实现全厂联网控制的 要求。电子产品工艺技术发展迅速，电子工业洁净厂房设计应具 有灵活性、扩展性，为此要求控制设备具有可扩展性，以满足洁净 厂房控制要求的变化。 集散式网络结构具有良好的人机交互界面，能较好地实现对 生产环境、各类动力公用设备实施检测、监视和控制，可适用于采 用计算机技术进行控制的洁净广房。当洁净厂房的参数指标要求 不是很严格时，也采用常规仪表进行控制。但无论采用何种方式， 控制精度都应满足生产要求，并能做到稳定、可靠运行，达到节能 的要求。 12.4.3洁净室（区）需要保持一定的静压差，这是实现洁净室 （区)空气洁净度的基本要求，所有洁净室（区）都应采用各种不同 的静压差控制方法，如余压阀、压差变送器等。 12.4.4净化空调系统采用电加热器对送入洁净室（区）的洁净空 气进行加热时，通常都将电加热器设置在送风管的支于管或支管 上，一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许 温度时，可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故，净化空调 系统采用电加湿器时，加湿器加热汽化纯水对送入洁净室（区）的

气进行加热时，通常都将电加热器设置在送风管的支于管或支管 上，一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许 温度时，可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故，净化空调 系统采用电加湿器时，加湿器加热汽化纯水对送入洁净室（区）的 洁净空气增湿，通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内， 一旦发生纯水供水中断或无风时，也会诱发电加湿器烧毁甚至相 关部分着火事故。为此作了本条的规定，并为强制性条文。

12.5.1电子工业洁净厂房有多种用于不同目的的接地，宜采用 共用接地系统，以避免分开接地不同电位所带来的不安全因素，以 及不同接地导体间的耦合影响。不同的接地可以采用单独的接地

接地极系统是共用的，并应遵循等电位连接的原则 3接地系统设计应以防雷接地系统为基础，各种接地应包 防雷接地系统保护范围之内，

12.5.3接地系统设计应以防雷接地系统为基础，各种接

电子工业洁净厂房中，根据电子产品生产工艺要求设防静电 环境的场所主要有对静电放电敏感的电子元器件、组件、仪器和设 备的制造和操作场所。操作场所包括包装、传输、测试、组装以及 与这些操作相关联的活动；配置静电放电敏感的电子仪器、设备和 设施的应用场所，如各类电子计算机房，各类电子仪器实验室、监 控室等。在电子工厂中的一些电子产品生产、检测、试验场所有洁 净环境要求，静电的存在将会影响洁净技术措施的效果。因此、洁 净环境的设计亦应设定静电控制的预期目标，并按本规范的规定 执行。 防静电环境设计应采用的主要技术措施，应从抑制或减少静 电的产生和有效、安全地排除静电的措施着手。

13.2.1本条是对防静电环境中防静电地面的规定：其主要依据 是： 1防静电地面是防静电环境控制的重点部位，防静电地面面 层类型的选择，首先应满足不同的电子产品的生产工艺的要求，并 进行技术经济比较后确定。一般防静电地面有导静电型活动地 板、静电耗散型活动地板、贴面地板、树脂涂层地面、水磨石地面、 移动式地垫等。 2随着防静电工程技术的发展和工程实践经验，在防静电工 程领域，采用表面电阻值、表面电阻率或体积电阻率等作为量纲单 位，国内（如电子行业）、国外（如美国材料与试验协会、防静电协

会）近年来发布的标准都使用了上述量纲单位，本规范采纳表面电 组率作为量纲单位： 本条规定的材料名称、性能指标主要依据《地板覆盖层和装配 地板静电性能的试验方法》SJ/T11159、《防静电地面施工及验收 规范》SJ/T31469，并参考国际、国内相关规范、标准，结合我国实 际情况，综合考虑确定。 13.2.2本条是对防静电环境中的吊项和墙、柱面的防静电要求。 制定的理由是： 1在电子工业洁净厂房防静电环境中的顶棚和墙、柱面采用 防静电装饰，对控制环境质量的作用主要是：抑制尘埃的带电吸 附，改善环境的清洁度；抑制静电噪声的空间传导及其与电噪声的 耦合，净化工作区的电场环境。故本条规定防静电环境中的吊项 和墙、柱面的装饰应按设计分级标准选择。 为确保在任何时间任何情况下静电电位不大于规定值，一、二 级防静电环境的墙、柱面应设置导电层，有利于静电的可靠泄导。 2本条规定主要依据行业标准《防静电地面施工及验收规 范》SJ/T31469、地方标准《防静电工程技术规程》DGJ08一83，并 参考国内、国外相关标准以及近年来大量大工程实践经验制定。 由于软帘的放电机理比较特殊，在静电泄放过程中会形成多 次放电，参照国外标准，软帘的摩擦起电电压可适当放宽。 三级防静电工作区提出了低起电材料的应用，根据有关标准 和文献的一般提法，低起电材料界定为摩擦起电电压不大于 2000V，为满足三级防静电工作区的静电电位要求，用于防静电环 境的材料仍不应大于1000V。 13.2.4未经表面改性处理的高分子绝缘材料，是环境中产生静

13.2.4未经表面改性处理的高分子绝缘材料，是环境中产

由于装修饰面的平整光滑对于抑制静电的产生和积聚不 作用，所以防静电环境不宜设计的过于复杂。

13.3.1导静电泄放至大地是消除静电的一种主要方法。为了保 证静电迅速、安全、有效地泄放，洁净区域金属物体，导静电材料均 应做可靠接地。

安全的导静电泄放至大地的接地措施，以保证一旦产生静电能够 迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合 现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

表28噪声频谱的限制值（空态

14.2噪声控制设讯

14.2.1、14.2.2噪声控制设计，一般应充分考虑声源设备的选 型、布置和降噪隔声措施。工程实践和洁净室内噪声测试表明：一 是在进行洁净厂房的平面、空间布置时，在工艺布局可能的情况 下，宜将发声类设备集中布置，并应充分考虑噪声控制技术措施的 合理安排；二是在洁净厂房内公用动力用房、空调机房、洁净室 （区）的围护结构设计时，应认真分析研究各类发声设备的特性、性

能参数后，合理地选用围护结构的构造、材料，以达到良好的隔声 性能；三是洁净厂房内，包括公用动力系统、洁净室（区）内应选用 低噪声产品，以确保洁净室（区）内的噪声控制要求；当选用的设备 辐射噪声值超过规定时，应根据设备的特性、性能参数、外形尺寸 等因素，设置专用隔声室或隔声罩或隔声屏或隔声器等隔声设施。 14.2.3本条规定电子工业洁净厂房中的主要声源设备一公用 动力设备，如各种压缩机、泵类设备、净化空调系统等的噪声超过 规定时，应设有隔声、消声、隔振等有效的噪声控制措施。工程实 践表明，动力站房、空调机房的围护结构包括墙体、门窗、项棚等， 的应采取吸声、隔声处理；对于辐射噪声值超过规定的公用动力设 备、风机等设备的四周、项顶部，应根据这些设备的特性、性能参数、 外形及其尺寸等因素，采取设置隔声罩、隔声屏或悬挂吸声体等噪 声控制设施；为了进一步降低空调机房、动力站房内控制室的噪声 声压级，改善操作人员的工作环境，宜对控制室的围护结构包括墙 体、门窗和顶棚采用隔声性能良好的材料进行隔声处理。

影响洁净厂房内精密设备、仪器的微振控制设施不能达到微 振动容许值的因素主要有：环境的干扰振动，洁净广房内公用动力 系统、净化空调系统的设备、管道在运转过程中产生的振动等；洁 净厂房的建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置等能否满足微振 控制要求；微振动控制设施中所采取的主动隔振措施、被动隔振措 施的准确性等。微振控制设施的工程设计、施工、测试和实际运转 的实践表明，洁净厂房的精密设备、仪器的微振控制设施的设计： 应分阶段进行。这里所谓的分阶段进行微振控制设施的设计是根 据微振动测试所得到的数据进行分析研究后作为设计依据XX区政协办公大楼改造装饰工程施工组织设计，按具 体项目工程设计的要求，一般是按2～3阶段进行精密设备、仪器 的微振控制设计工作。是按场地环境测试数据和精密设备、仪 器的微振控制要求，合理进行所在洁净厂房的总平面布置和建筑 基础以及隔振施的设计，二是根据建筑结构振动特性测试和精 密设备安装地点环境振动测试及其分析研究结果，合理、准确地进 行微振控制设施的设计，三是在微振控制设备的最终测试和分析 研究后，若微振控制设施没有达到控制要求时，尚需进行调整设 计。

精密设备、仪器是微振控制设计的主要对象。当作用于精密 设备、仪器的微振动超过一定的界限时，此类设备、仪器就无法进 行正常的工作，不能按要求生产合格的产品或中间产品，这一界限 就是微振动控制值或容许振动值。容许振动值是指保证精密仪

15.3微振动控制设计

15.3.1电子工业洁净厂房中微振控制设计，应按图10所示的程 序进行。工程实践表明，该程序是电子工厂，特别是微电子工厂洁 净产房中微振控制设计的有效程序。图中指出的四次测试就是本 条制定的依据。 15.3.2有微振控制要求的洁净室（区）的建筑结构设计是微振控 制设计的重要部分。实践表明，大量的环境振动能量是通过建筑 结构传递到精密设备、仪器的基础底部，所以建筑结构的微振动控 制设计的基本要求是：建筑物的基础应尽可能地置于坚硬土层上 或置于动力特性良好的地基上，并且基础应具有足够的刚度；设置 独立的建筑结构微振动控制体系，并与厂房主体结构脱开，减少厂 房主体结构振动的影响；厂房的主体结构还应根据微振动控制的 需要，在可能情况下，适当增大结构截面尺寸，增加整体建筑的刚 度。建筑结构微振动控制体系的内容，随不同电子产品的生产工

艺要求有所不同，如集成电路芯片生产用洁净广房的建筑结构微 振动控制体系包括：独立于厂房主体结构的基础，一般采用深基础 或复合地基，以确保基础具有足够刚度和较少沉降量，设置防微振 平台，该平台与主体结构脱开，并应具有较大的质量及较好的刚 度，平台下支撑柱一般采用较小的柱距；在防微振平台下，一般设 必要的防微振墙，以减弱水平向振动的传递；微振动控制体系底部 般设置厚重地面层等。根据上述要求和工程实践制定本条规定。

15.3.3、15.3.4对洁净厂房内的各类振源进行积极隔振，以减少 它们对洁净室（区）内的精密设备、仪器的振动影响，是洁净厂房设 计的重要内容之一。洁净广房内的振源形式大体有：冲击型（冲 床、各类介质输送管道等）、往复型（各种压缩机等）、旋转型（通风 机、离心式压缩机、泵、电动机等），对它们的隔振措施设计包括隔 振元件的选用、隔振台座的形式和构造的设计、静力计算及振动计 算等。 对精密设备、仪器采用隔振器隔振SL 583-2012 泵站计算机监控与信息系统技术导则（清晰无水印，附条文说明），以减弱支承结构传递的振 动影响，达到容许振动值的要求，这被称为消极隔振。根据近年来 微振控制设计、测试、建造的工程实践，制定了本条规定

统一书号 1580177：176