标准规范下载简介
GB／T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法.pdfICS 77.040 CCSH17
氮化铝材料中痕量元素（镁、）含量及
国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本文件起草单位：北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公 同、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。 本文件主要起草人：齐俊杰、魏学成、闫丹、*素青、卫喆、胡超胜、**超、许磊、王军喜、*晋闽、 魏明、刘江华、张成荣
GBT14902-2012 预拌混凝土氮化铝材料中痕量元素（镁、家）含量及 分布的测定二次离子质谱法
氮化铝材料中痕量元素（镁、家）含量及
本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和含量及分布的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于 1×101cm”，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。 注：氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适 本文件。 GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T25186表面化学分析二次离子质谱由离子注人参考物质确定相对灵敏度因子 GB/T32267分析仪器性能测定术语
GB/T14264、GB/T22461、GB/T25186、GB/T32267界定的术语和定义适用于本文件。
在高真空（真空度优于10”Pa)条件下，氧离子源产生的一次离子，经过加速、纯化、聚焦后，轰击氮 化铝样品表面，溅射出多种粒子，将其中的二次离子引出，通过质谱仪将不同质荷比的离子分开，记录样 品中待测元素Mg、Ga和基质元素”A1的离子计数率之比。利用相对灵敏度因子定量分析并计算出 氮化铝单晶中待测元素的含量
5.1样品表面吸附的镁和家可能影响其含量的测试结果，整个操作过程中应避免样品与外界过多的接 触，在放入腔体前用干燥氮气吹净。 5.2二次离子质谱仪存在记忆效应，若测试过镁和含量较高的样品，仪器样品腔内可能会残留镁和 稼，影响镁和镓含量的测试结果。 5.3仪器型号不同或者同一仪器的状态（例如一次离子束的束流密度、聚焦状态、电子倍增器效率、视 场光阑以及对比光阑大小、分析腔真空度等）不同，会影响本方法的检出限。
5.4样品架窗口范围内的样品分析面应平整，以保证每个样品移动到分析位置时，其表面与离子收集 光学系统的倾斜度不变，否则会降低测试的准确度。 5.5测试的准确度随着样品的表面粗糙度增大而显著降低，对于不平整样品，应通过对样品表面化学 机械抛光或者化学腐蚀抛光降低表面粗糙度。 5.6标准样品中镁和镓的含量偏差会导致测试结果偏差。 5.7标准样品中镁和镓的含量不均匀性会影响测试结果的准确性
温度范围为19℃~23℃，相对湿度为30%~75%。
样品的分析面应平坦光滑，表面粗糙度（Ra）不大于2nm。样品边长为6mm～10mm，总厚度 mm～2.0mm。具体根据样品架尺寸要求确定样品尺寸。 由于氮化铝样品导电性差，测试时容易产生电荷积累导致样品电压发生畸变。测试时可对样品 面和背面蒸镀金或铂等以增加其导电性
通过离子注人在厚度大于1μm的氮化铝单晶中分别注入"Ga或"Mg离子，分布不均匀性应不 %，镁、元素最大含量低于氮化铝原子个数的1%
仙河社区管理中心巢湖路、牡丹江路、松花江路路灯施工方案待测样品应符合8.1的要
9.2.1设定合适的一次离子电压，开启一次离子束。 9.2.2确保一次离子束流和质谱仪的稳定性。 9.2.3质谱仪的传输效率是可以调整改变的，在分析标准样品和待测样品时，应使用相同的传输效率。
10.1采用积分法按公式（1)计算相对灵敏度
采用积分法按公式（1)计算相对灵敏度因子
CA=RSFX（I/IR
ΦA=RSFXdX ···.·.·..··.·.··..··.··（3 IR(t)
道路施工组织设计-道路硬化施工方案该方法同一实验室对同一样品中镁和含量测试的相对标准偏差不大于10%。不同实 一样品中镁和含量测试的相对标准偏差不大于10%
试验报告应包括以下内容： 入 测试环境(温度、湿度)； b） 本文件编号； c） 使用仪器的型号； d 一次离子束的类型、轰击能量； e) 待测样品和标准样品的编号； ） 结果及其表达形式； g） 操作者及测试日期； h）编制、审核、批准人签字。