标准规范下载简介

GB50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范.pdf

电子工业洁净厂房设计规范

中华人民共和国住房和城乡建设部 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

万柳体育中心工程施工组织设计中华人民共和国国家标准

电子工业洁净厂房设计规范

主编部门：中华人民共和国工业和信息化部 批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部 施行日期：2009年7月1日

中国计划出版社 2009北京

电子工业洁净厂房设计规范

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

关于发布国家标准 《电子工业洁净厂房设计规范》的公告

现批准《电子工业洁净厂房设计规范》为国家标准，编号为 GB50472—2008，自2009年7月1日起实施。其中，第3.2.5、 4.3.3(1)、5.4.2、5.5.6、6.2.1、6.2.6、6.2.7、6.2.8、6.2.9、 6.3.1、7.1.6、7.5.1、7.5.3(1、2、4、5、6、7、8)、7.5.4、7.5.6、 7.6.1、7.7.2、7.7.7(2、3)、8.3.1、8.3.2、8.5.1、8.5.2(1)、 8.5.3(3)、9.2.3(3、4、5)、10.15、10.1.6、10.1.7(2、3)、 10.1.8(1、3、4)、10.2.5、10.2.6、10.4.2、10.4.3(1、2、3)、 10.4.5、11.2.1(1、2、3、5、6、7、8)、11.2.2、112.3、11.2.5、 11.3.1、12.1.8、12.2.3(1)、12.2.4、12.3.2、12.3.4(1、3)、 12.3.6、12.3.7、12.38、12.4.4、13.2.1(2、3)、13.3.4条(款) 为强制性条文，必须严格执行。 本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部 二〇〇八年十二月十五日

深圳市电子院设计有限公司 中国电子系统工程第二建设有限公司 北京中瑞电子系统工程设计院 主要起草人·陈霖新秦学礼晁阳张利群王唯国 侯忆穆京祥赵海高艳敏王毅勃 肖红梅李杰李锦生路振福章光护 邹英杰钟景华牛光宏 张晓敏周志刚 陈骝焦明伟

75采暖、通风· ·（23） 76排烟* 77风管、附件· ·…·（25) 给水排水设计 81一般规定 ··…（27) 82给水·. ······…·（27) 83排水·** "，··（28) 8.4雨水 。.。 （28） 85 消防给水和灭火设备“ 纯水供应 9.1一般规定 （30） ：： 92纯水系统 93管材、阀门和附件 ···（31) 10 ）气体供应·，· （32） 101一般规定·.· 102常用气体系统 · · （33） 10.3干燥压缩空气系统 ： （35） 104特种气体系统 · 、： （35） 11 1化学品供应· (37) 111一般规定 （37) 112化学品储存、输送···· ·…·（37) 113管材、阀门 ·….·…（39） 12电气设计· ··（40) 121配电*.· 122月 照明··· ····（41) 123 通信与安全保护装置 （42） 12.4 自动控制·…·…·· 2 125 接地 （44） 13 防静电与接地设计· （46）

131一般规定 （46） 132防静电措施·..··· ·.···（46） 133防静电接地··..… .·（48） 14噪声控制· .·（49) 141一般规定··· 142噪声控制设计···“ . ··· .·（49） 15微振控制· ··（51） 151一般规定· ·（51） 152容许振动值·* "（51） 153微振动控制设计 ··（51） 附录A各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求··（53） 附录B电子产品生产间/工序的火灾危险性

分类举例· （55） 附录C精密仪器、设备的容许振动值举例 （56） 附录D洁净室（区)性能测试和认证 · （57） 本规范用词说明·· 附：条文说明 67

本规范用词说明 （65） 附：条文说明 "（67)

1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、 安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境 保护的要求，制定本规范，

1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设

1.0.3电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品 生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工 艺改进的需要预留条件。

运行、维护管理创造必要的条件

空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内 诱人、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等 按要求进行控制。

空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少 空间内诱人、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿 度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。

由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球 径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。

用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在 5um的固体和液体粒子。

单位体积空气中悬浮粒子的颗数

cleanliness

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的 状态运行，但无生产人员。

设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况 下进行工作。

2.0.12气流流型airpatterr

室内空气的流动形态和分布

2.0.13单向流 unidirectionalairflow

沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流 垂直单向流和水平单向流

利用高速洁净气流吹落并清除进人洁净室人员或物料表 着粒子的小室

设置在洁净室出入口，阻隔室外或相邻房间的污染气流和压 差控制而设置的缓冲间。

在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇 的开启应进行联锁控制

洁净工作服cleanworking

为把工作人员产生的粒子限制在最低程度所使用的发尘量少 的洁净服装。

2.0.21高效空气过滤器（HEPA）highefficiency particulate

在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.95%以上 流初阻力在220Pa以下的空气过滤器

在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.9995%以上及 气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器

将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空 间。

由HEPA或ULPA与风机组合在一起，构成自身可提供动 力的末端空气净化的装置。

洁净厂房中以水平构件分隔构成的空间，用于安装辅助设备 和公用动力设施以及管线等。

echnical tunnel

洁净厂房中以垂直构件分隔构成的廊道，用于安装辅助设备 和公用动力设施以及管线等。

洁净厂房中主要以垂直构件分隔构成的井式管廊离心式喷雾干燥器安装施工工艺探讨，用于安装 辅助设备和公用动力设施以及管线等

消防人员为火火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时 由消防人员从室外打开

2.0.30纯水purewater

杂质含量很少的水，其电解质杂质含量（常以电阻率表征）和 非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均要求很 少的水。

电子产品生产过程中，广泛使用的氢气、氧气、氮气、氩气、 等气体。

电子产品生产过程中，便用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷 化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或室息等

某污水处理厂智能化施工组织设计2.0.34防静电环境