GB 51392-2019标准规范下载简介

GB 51392-2019 发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准

6.0.1设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管完成，并 应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单位组织 实施，设备单机调试及试运转结论应有记录并应符合本标准附录 B表B. 0.7、表B. 0.8的要求。

6.0.2设备试运转应具备下列

1设备应安装完毕并自检合格； 2设备所需各种气体动力配管配线应已与设备接通，各种介 质的各项参数符合设备使用要求； 3给水、排水，排气、排风管路应已与设备接通； 4电气线路相位应正确，接线端子连接应牢固、可靠，器件接 线应正确，无短路、断路现象； 5接地应正确，连接牢固、可靠，接地电阻应符合设备要求； 6房间洁净度，温、湿度，照度，静电防护指标应测试合格； 7室内各项安全设施和消防设施应满足使用要求。 6.0.3 镀膜机试运行应符合下列规定： 1待溅射基板应清洗，并应在烘干后安装到机内的载片 台上； 2设备通电后应检查设备操作软件是否工作正常： 3应检查各个运动部件是否正常，并应对各个运动部件进行 位置校正； 4应安装好溅射靶材，靶对机壳的绝缘电阻不得小于1M2； 5应检测设备管路接口是否漏气，具备加热功能的管路应先 空载烘烤； 6启动机械泵、分子泵、低温泵时，运行状态应正常，噪声、振

1应检查紧急按钮是否有效； 2启动真空泵时真空室真空度可在规定时间内降到规定值 极限真空度不应天于5Pa； 3设备工艺反应腔漏气率不应大于1.5Pa/min； 4应根据设备要求设置高纯氮气或氮气等保护气体流量，并 应向炉内通入保护气体进行吹扫； 5应在抽气正常的情况下通入工艺气体，运行淀积程序进行 淀积时，应定期检查工艺气体和保护气体流量。

4应将基片放到刻蚀腔室承片台上，应关闭腔室并设置好工 艺气体流量、射频电源电压、刻蚀时间，进行刻蚀工艺。 5设备应具备光学发射光谱法终点检测系统。 6.0.6 匀胶设备的试运行应符合下列规定： 1 应准备好光刻胶、基片等材料及相应的工具； 2元 运行设备，设备自动开合旋涂盖功能、涂胶单元真空吸附 功能应正常； 3涂胶功能、顶针上下运动功能、加热部件真空吸附功能应 正常，涂胶台应润滑良好； 4应设置好胶阀压力、滴胶时间、旋涂转速、旋涂时间和热板 温度； 5应分别设定烘烤温度为60℃、120℃和180℃，待温度稳定 后，应在加热器表面200mm范围内选择中心点及外圆周上与X 轴、Y轴相交的四点等五处进行温度测量，然后计算平均值，所测 各点的温度值与平均值相比较时，允许偏差为土1.5%； 6应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应 保持一致。 6.0.7曝光机的试运行应符合下列规定： 1曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，曝 光均匀性应随分辨率要求而定； 2打开曝光机汞灯预热30min后HY/T 0314-2021 海水入侵监测与评价技术规程，应用紫外线测量仪测量 承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度，均匀度允许偏差为士5%， 并应根据测量强度设置好光刻能量； 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及 时显影； 4激光光路及曝光光源必须安装保护装置。

1曦光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，曦 光均匀性应随分辨率要求而定； 2打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量 承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度，均匀度允许偏差为5% 并应根据测量强度设置好光刻能量； 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及 时显影：

6.0.8显影设备的试运行应符合下列规定：

1 应先连接好显影液供应管道、去离子水管道； 2开机后应设置好工艺液体的温度和喷头喷溅压力；

3应设定好真空吸盘旋转速度、显影时间、漂洗时间、冲洗时 间以及主轴转速，并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤； 4应按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作； 5进行显影、漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护， 工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干； 6设备运行时应无震动和噪声。 6.0.93 抛光机的试运行应符合下列规定： 1应准备好抛光液、待抛光专用测试样片，并将循环水及抛 光液溃入系统； 废液处理系统应工作正常； 3 应调节抛光头及抛光台的转速； 4压力以0.005MPa为一档时，应依次将抛光头压力从 0.005MPa调到0.05MPa，应观测压力传感器测量值，测试结果应 满足设备技术要求； 5 应清洗待抛光基片，并应固定到抛光台上； 6 应设置抛光压力、抛光转速、抛光液滴注流量，运行抛光 程序； 7 应进行磨抛后的样片测试并应满足指标要求。 6.0.10 芯片粘片机的试运行应符合下列规定： 1 吸片、滴注工作模式的切换应确保转换灵活； 应装配吸嘴、滴注针头； 3应调节气压及真空，连接与吸嘴、滴注的浆料罐相连的气 路后试触发，检查气路应符合要求； 4应操纵设备在样品上进行粘接试验； 5操纵部件应灵活，可稳定吸取相应的器件，滴注的粘片胶 应大小一致并调节有效。 6.0.11共晶焊机的试运行应符合下列规定： 1切换焊料吸取、元件拾取模式，应确保转换灵活；

相连的气路并试触发； 3应调节加热系统的温度，以常用的儿种焊料分别设置共晶 温度，到达设置温度后应用计量合格的温度计测量加热台的实际 温度； 4应设置焊接压力、共晶温度、摩擦频次、摩擦幅度； 5待加热台温度稳定后应打开氮气阀门，调节流量，操纵设 备在样品上进行芯片焊接试验，焊接时吸嘴应避免接触加热件表 面，应能顺畅地完成整个焊接过程。

1触发打火杆、线夹等部件并移动键合机手柄时应确保运转 灵活； 2应根据设备的要求调节气体压力并试触发线夹，压缩空气 应符合要求； 3应调节加热系统的温度并设置到常用键合温度，到达设置 温度后测量实际温度应达到工作要求； 4应设置键合超声的功率与时间、键合压力； 5操纵设备在样件上进行键合试验，操纵部件应灵活，在设 定参数的状态下可有效键合； 6全自动键合设备应具有断线检测报警、无焊线报警、错误 位置报警和打火失败报警功能； 7全自动键合设备在防误动作保护下，计算机屏幕上的参数 应禁止修改，开关或阀门等不能操作。 6.0.13倒装焊机的试运行应符合下列规定： 1应确认设备后面板上的压缩空气、负压、氮气、水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀；

5.0.13倒装焊机的试运行应符合下列规定：

1应确认设备后面板上的压缩空气负压、氮气水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀； 2应打开设备的总电源开关、打开工控机的电源，关上主操 作面板的“开机”开关； 3在系统操作界面运行设备操作软件前应进行初始化直至 系统提示“待机”状态；

4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统； 5应设置超声时间、超声功率、焊接压力、加热温度，完成对 洋品电路的加工： 6设备应具备热台温度超温报警。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定： 1设备自检通过后应将网版装入网版槽内，按下锁紧装置 查看网版是否被锁紧； 2应加人焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷； 3在保证印刷工艺参数设置合理时，应用自动光学检测仪检 查网印质量，印刷图形应完整、边缘应齐整。 0.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定： 1应安装测试专用夹具，并应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上； 2启动设备总电源，应正常进入初始化界面； 3 开机后设备应无震动或杂音； 4对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准； 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定； 测试时设备应自动生成并打印出测试结果； 7 应在设定的测试参数基础上对晶圆进行通断验证，并应符 合打印的测试结果。 6.0.16激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定： 1 应仔细观察测量传动轴，运动时应顺畅无异响； 2应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准；

4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统； 5应设置超声时间、超声功率、焊接压力、加热温度，完成对 样品电路的加工： 6设备应具备热台温度超温报警。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定： 1设备自检通过后应将网版装入网版槽内，按下锁紧装置， 香看网版是否被锁紧； 2应加人焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷； 3在保证印刷工艺参数设置合理时，应用自动光学检测仪检 查网印质量，印刷图形应完整、边缘应齐整。

6.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定：

1应安装测试专用夹具，并应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上； 2启动设备总电源，应正常进入初始化界面； 3 开机后设备应无震动或杂音； 4 对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准； 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定； 测试时设备应自动生成并打印出测试结果； 应在设定的测试参数基础上对晶圆进行通断验证，并应符 合打印的测试结果。 6.0.16 激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定： 1 应仔细观察测量传动轴，运动时应顺畅无异响； 2 应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准； 3激光对焦千分尺旋钮使用中应顺畅，并应能自锁； 4测量范围应满足技术指标要求。

6.0.17X射线检查仪的调试及试运行应符合下列规定： 1将待测样件放到设备载片台上、夹持好或吸附住后，应关 团并锁定设备安全门： 2开启总电源，控制工作台运动，各个运动部位应在运行平 稳的状态下使红色指示光标指到待检样件中心位置；

X光开关开启前必须确保设备安全门处于关闭状态：

.0.18MOCVD设备的调试及试运行应符合下列规定：

1应在确认供电相序止确后再给设备逐级送电开确认设备 初始化成功，设备初始化成功后应逐个检查确认紧急断电按钮功 能正常并做好检查记录。 2应检查确认每个MOCVD反应腔的真空压力检测和控制 功能，所有真空部件与气体管道的漏率应符合工艺性能指标要求 3在通入每一路工艺气体之前，应先用纯化氮气代替对设备 每一路气体的气动阀与联动阀的控制逐一确认，并应确认该路气 本管道上的气体质量流量计及压力传感器的设定值与反馈值均可 经由系统控制软件正确发送和读取。 4所有互锁装置功能应有效、逻辑正确，特别是与安全相关 的实时监测传感器应直接触发相关报警并立即关断气源的源端气 动阀。必要时还可切断反应腔与真空泵机组间的连接以进一步保 护反应腔，防止可能发生的气体倒灌造成粉尘沾污。 5所有冷却水流量监测传感器功能应有效，触发时应及时关 断反应器内加热器电源组的供电以起到超温保护作用。 6应测试并确认石墨载盘在做加速、高速及减速转动时的稳 定性及摆动状态，并应确认石墨盘通过自动或手动机械手搬运时 的稳定性和位置的重复性和可靠性。 7应测试反应腔内加热器的有载状态下的温度控制以及重 复性，并应确认温控用温度传感器的信号通道的正确连接以及温

度的精确度。 8应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 以确认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收

精确度。 应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收。

7.1.1生产设备安装工程验收宜分为交接验收与工验收。

7.2.1交接验收应由建设单位组织，并应根据施工合同、本标准

1 生产工艺设备安装工程施工合同： 2 主要材料合格证或质量保证书； 3 设备开箱检查记录； 4 管道焊接检验记录； 5 设备按功能检验批质量验收记录； 6 设备配管配线的检验批质量验收记录； 7 设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录： 8 竣工图及设计变更文件； 9 工程质量事故处理记录。

7.2.3验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论。验收

7.3.1建设单位接到生产设备调试单位按本标准附录B表 B.0.4填写的《生产设备安装工程交接（竣工）验收报告》后，应组 织安装施工单位、供货单位、设计单位组成验收组，并应根据施工 合同、设计文件、本标准及设备技术文件进行生产设备安装工程竣 工验收，

3.2设备安装工程工验收时，调试单位应提供每台设备 几试运行记录。

7.3.3验收组应对生产设备安装工程的所有工程内容

审核、检查，检查时应做好记录，各项指标符合设计要求应判为合 格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标

7.4.1当生产设备安装工程、设备二次配管配线安装工程不符合 质量要求时，应按下列规定处理： 1经返工返修后的设备，安装检验批、二次配管配线检验批 应重新进行验收； 2经返工返修后的检验批能满足安全和使用性能要求时，可 按技术处理方案和协商文件进行让步接收。 7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程 不得验收。

B.0.3 设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录应符合表B.0.3 的规定。

设备二次配管压力试验、冲（吹）法

B.0.4 生产设备安装工程交接（竣工）验收记录应符合表B.0.4 的规定

生产设备安装工程交接（竣工）验收

B.0.5设备安装/配管配线分项工程质量验收记录应符合表 B. 0. 5 的规定

备安装/配管配线分项工程质量验

.0.7生产设备调试记录应符合表B.0.7的规定。

表B.0.7生产设备调试记录

1为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不 同的用词说明如下： 1）表示很严格，非这样做不可的： 正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”； 2）表示严格，在正常情况下均应这样做的： 正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”； 3）表示充许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的： 正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”； 4）表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。 2本标准中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合 的规定”或“应按执行”

1为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不 同的用词说明如下： 1）表示很严格，非这样做不可的： 正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”； 2）表示严格，在正常情况下均应这样做的： 正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”； 3）表示充许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的： 正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”； 4）表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。 2本标准中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合 的规定”或“应按执行”

《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169 （建筑电气工程施工质量验收规范》GB50303 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB50467 特种气体系统工程技术规范》GB50646 （电子工业纯水系统设计规范》GB50685 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724 （电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781 《化工工程建设起重规范》HG/T20201

《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169 （建筑电气工程施工质量验收规范》GB50303 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB50467 特种气体系统工程技术规范》GB50646 （电子工业纯水系统设计规范》GB50685 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724 （电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781 《化工工程建设起重规范》HG/T20201

中华人民共和国国家标准

发光二极管生产工艺设备安装工程

《发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准》 GB51392一2019，经住房和城乡建设部2019年9月25日以第 254号公告批准发布。 本标准紧密结合发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质 量验收的技术要求，认真总结发光二极管生产设备生产单位、发光 二极管生产设备安装施工单位和发光二极管生产单位等在安装工 程施工及工程验收、设备包装、搬运、运输、储存及设备试运行等方 面的经验，较好地反映了近年来的建设成果和运行经验。 为便于规划、设计、施工、科研、学校等单位有关人员在使用本 标准时能正确理解和执行条文规定，《发光二极管生产工艺设备安 装工程施工及质量验收标准》编制组按章、节、条顺序编制了本标 准的条文说明，对条文规定的目的、依据以及在执行中需注意的有 关事项进行说明。其中，着重对标准中强制性条款的强制性理由 做了解释。但是本条文说明不具备与标准正文同等的法律效力， 仅供使用者作为理解和把握标准规定的参考

基本规定 施工准备 (48) 4.1 安装前的储存 (48) 4.2 施工条件及准备 (48) 4.3 设备开箱 (49) 4.4 设备搬运 (49) 设备安装 (51) 5.1 一般规定 (51) 5.2 外延设备安装 (51) 5.4 芯片封装设备安装 （52) 5.6二次配管配线： (52)

墨本规定 4 施工准备 (48) 4.1 安装前的储存 (48) 4.2施工条件及准备 (48) 4.3 设备开箱 (49) 4.4 设备搬运 (49) 设备安装 (51) 5.1一般规定 (51) 5.2 外延设备安装 (51) 5.4 芯片封装设备安装 (52) 5.6 二次配管配线 (52)

3.0.3在洁净区域内使用的所有支撑和紧固金属件含垫块、螺 柱、管线支架，水、气管材等适宜选择不锈钢材质，因为不锈钢材质 不易积尘

3.0.4技术交底由设计方、设备供货方、建设方、施工方的相关人 员参加。

3.0.4技术交底由设计方、设备供货方、建设方、施工方的相关人

3.0.7检验、检测的仪器仪表使用前要校核。

性验收，不包括生产工艺设备的工艺验收。

4.1.5发光二极管生产设备的安装涉及

4.1.5发光二极管生产设备的安装涉及多种材质的工艺管线，如 SUS316L不锈钢管、PP管、CLPVC管、特富龙管等对外界污染 因素非常敏感的材料，储存环境要求高，要加强管理，防止因被污 染造成对生产工艺的运行产生不利影响

4.2.9本条对设备安装时的要求做了规定。

1为便于操作和维修，并考虑设备周围工作空间、危害与安 全等有关人一机一环境工程方面的要求，设备定位时应预留电气 箱全开空间和操作、维修空间。 2LED生产设备多属精密设备，安装时是否采用良好的防 微振措施，是能否良好发挥设备性能的关键。 4.2.11重要机械设备指全自动氩弧焊机、PVDF专用焊机、焊缝 内窥镜、探伤仪、氮检漏仪、粒子测试仪、水氧分析仪等。 4.2.12本条中特种设备主要指起重机、叉车恒温恒湿运输

4.2.13本条中的需复检材料通常有电线、电缆，保温材

4.2.16除本条规定外，一般施工前施工单位还应向建

供如下文件：施工方案，人员、机具进场计划，事故应急预案。施工 方案主要包括工程概况、施工平面图、编制依据、施工进度计划、施 工工艺技术、施工安全保证措施、施工质量保证措施。事故应急预 案的主要内容有：应急工作的组织及相应职责，发生事故后的救援 程序，信息交流的方式和程序；危险物质信息及对紧急状态的识 别，包括物质的危害因素以及发生事故时需采取的有效措施；应急 避险的撤离逃生路线图；相关人员的应急培训程序

4.3.9设备开箱时，建设单位、监理和施工单位的负责人需共同

4.3.9设备开箱时，建设单位、监理和施工单位的负责人需共同 对设备进行检香和确认，检香后要做好设备开箱检查记录及影像 资料保存。

1优先采用尼龙吊带或锦纶吊带，当尼龙吊带或锦纶吊带的 承载不能满足起吊设备重量要求时，尽量采用较柔软的钢丝绳外 套尼龙软管作为吊索。 3吊装作业是一项高危的风险性工作，吊装过程中如果存在 不合规操作，有可能产生吊装物脱落及吊装设备倾倒等事故，为确 呆风险能够得到有效控制，避免风险的扩大化，吊装过程中严禁人 员进入起吊区域。本款为强制性条款，必须严格执行。 4.4.8本条规定了设备从搬入平台搬入口气闸室至洁净室

4.4.8本条规定了设备从搬入平台、搬入口、气闸室至洁

2保护的材料指保护墙壁、墙角、门框、地面等所用的材 5所有搬运器具在中转库应清理干净，通常使用无尘布 丙醇（IPA）擦拭，擦拭前事先佩戴无尘手套：液压推车等起

具也要经清理后方可进入厂房，通常做法是：清理后在所有接触地 面的车轮上包装防尘胶带，以避免灰尘被印留在厂房清洁间的地 面上。

1大宗气体主要指普氮（GN2）或经过滤、除油处理后的压缩 干燥空气（CDA）。 2动力线供电电缆要满足技术文件对电缆线径和材质的 要求。 6不同厂家对水质有不同要求。 7设备尾气有酸碱排气、有机排气、热排气，各处排气处理方 法不同、静压值不同，如果接入系统有误，可能造成设备不能正常 使用、排气管道堵塞，同时造成环保问题。 8由于设备内部工作温度较高，设备正常停机时需要设备冷 却水持续供应缓慢降温，在外部电源中断时，需要冷却循环系统维 持运转一段时间。 MOCVD生产设备属于大型精密控制下的高温真空设备，对 厂务的要求很高，其中包括对室内洁净度、温度、相对湿度、换风 （包括排风和新风补充）、排气，以及冷却水的压力、流量的稳定性 和水的质量均有一定要求。另外，对动力电的稳定性和可靠性也 有很高要求。对动力条件有以下要求： （1）厂务冷却水（PCW）除了要求在供水端使用杂质过滤器以 保证供水质量，还要满足对供水和回水的压力、最小压差以及流量 的稳定性的要求。厂务端同时需要对冷却水的水质有定时监测，

5.4芯片封装设备安装

5.4.1本条对芯片粘片机的安装做了规定。 2设备的工作组件（真空吸嘴、滴注头）安装部位为浮动机 构，在运输时安装固定块以防机构损坏，设备放置到固定工位之前 不得拆卸固定块，

5.6.1本条的规定主要是为了减少因设备移位而造成的二次配 管配线拆除工作。

5.6.4预留阀门在设备运行前不影响管线系统的整体

运行中出现故障时，可以及时将管路系统与设备有效隔断，方便 维修。

GB／T 24591-2019 高压给水加热器用无缝钢管本条规定的自的是将洁净厂房内的施工焊接作业减至最 组件在预制过程中不受到污染。 本条第3款中测试仪器使用前需校核。

5.6.5本条规定的目的是将洁净厂房内的施工焊接作

本条规定的的是将洁净厂房内的施工焊接作业减至最

6.0.7本条第4款中激光光路及曦光光源必须安装保

6.0.7本条第4款中激光光路及曝光光源必须安装保护装置，以 免对操作人员的眼睛和皮肤造成损害。本款为强制性条款，必须 严格执行。

6.0.12触发打火杆主要针对球键合设备。

3为避免X射线泄漏对人体造成伤害JTG／T 3650-02-2019 特大跨径公路桥梁施工测量规范，X光开关开启前必 须确保设备安全门处于关闭状态。本款为强制性条款，必须严格 执行。