DB35/T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

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DB35/T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

ICS 77.150.99 H 72

DB35/T1873201

JC/T 2275-2014 蒸压加气混凝土生产设计规范General technical specification for thermal spraying rotary silicon target

福建省市场监督管理局 发布

DB35/T18732019

范围 规范性引用文件 要求 试验方法. 检验规则 标志、包装、运输和贮存

范围 规范性引用文件 要求 试验方法.. 检验规则 标志、包装、运输和贮存

DB35/T18732019

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由福建阿石创新材料股份有限公司提出。 本标准由福建省工业和信息化厅归口。 本标准起草单位:福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术 研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。 本标准主要起草人:张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。

DB35/T18732019

热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以高纯硅粉为原料,添加微量物质后,采用等离子喷涂工艺,将硅粉喷涂于不锈钢衬 管上的热喷涂旋转硅靶材。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件, 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T1423贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T1551硅单晶电阻率测定方法 GB/T13296锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管 GB/T26125电子电气产品六种限用物质(铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚)的测定 YS/T935电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

钢材应为奥氏体不锈钢无缝管。

材应为奥氏体不锈钢无缝

3. 1. 2 硅粉纯度

硅粉标称含量应大于等于99.95%。

硅粉标称含量应大于等于99.95%。

3.2硅涂层杂质元素限量指标

元素限量指标应符合表1

表1硅涂层杂质元素限量指标

DB35/T 18732019

尺寸偏差应符合表2的规定。

涂层密度(p)应大于等于2.2g/cm,且密度均匀性偏差应小于等于土2

涂层电阻率应小于0.05Qcm

余层电阻率应小于0.05

3.6涂层有害物质指标

涂层有害物质指标应符合表3的规定。

表3涂层有害物质指标

4. 1. 1不锈钢衬管

每批检查供应商材质报告,有争议时按照GB/T13296进行材质分析。

4.2硅涂层杂质元素限量

按YS/T935的规定进行检测。

DB35/T18732019

在照度8001m的日光灯照条件下,通过目测和量具检验JC/T 2127-2012 建材工业用不定形耐火材料施工及验收规范,量具精度优于0.02mm。

使用精度优于0.05mm的量具测量

使用精度优于0.05mm的量具测量!

4. 5. 1涂层密度

单根产品进行破坏性取样,取样位置分别为涂层两端和中间位置,取三组样品,每组重量在5g~ 10g,按GB/T1423的规定测试。密度均匀性偏差根据三组样品的测试密度数值计算,取三组样品密度 数值的算术平均值作为密度平均值,每组样品密度数值未超出密度平均值的土2%DB34/T 1983-2013 安徽省公路水运工程施工满堂钢管支架技术规程,判定密度均匀性偏差 合格。

4. 5. 2涂层电阳率

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