标准规范下载简介
GB 50646-2020 特种气体系统工程技术标准.pdf9.2.5本条为强制性条文，必须严格执行。部分种类的特种气体
· 种尖的特种气体 与水接触会发生剧烈的化学反应，如产生有毒有害物质、释放不可 控制的热量、发生或加剧燃烧反应等严重后果，比如CIF3、WF 等。存储和供应这些气体的特种气体间不得采用水消防系统，通 常采用气体消防、干粉灭火器等消防形式。具体采用的消防方法 需要与气体公司确认气体性质后决定。
9.2.6本条对硅烷站的消防系统做了
9.2.7本条对硅烷站的自动喷水系统做了规定。
DB11／T 1322.28-2018 安全生产等级评定技术规范 第28部分：金属非金属矿山（露天）9.3采暖通风与空气调节
门箱内安装了特种气体分配阀门和管道，阀门和管道接口较多，存 在泄漏的可能性。因此，特种气体的气瓶柜和阀门箱应设置机械 排风进行强制通风，防止自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、室 息性气体在气瓶柜和阀门箱内积聚而引起事故。
（1）防止不同种类和性质的特种气体混合后引起燃烧或爆炸 事故。 （2）避免形成毒性更大的混合物或化合物，对人体造成危害或 设备和管道腐蚀。 (3)防止在风管中积聚粉尘，从而增加风管阻力或造成风管堵 塞，影响通风系统的正常运行
9.3.4大宗特种气体站房内特种气体容器容积较大，且特种
容器直接暴露在特气站房环境内，发生气体泄漏时，气体直接泄漏 至特种气体站房环境内，操作人员、救援人员暴露风险高，因此，大 宗气体站房应设置事故通风。事故通风量应根据事故时泄放的特 种气体量和危害程度通过计算确定。根据现行国家职业卫生标准 《工业企业设计卫生标准》中的规定，事故通风换气次数的下限定 为12次/h。特种气体站房事故通风系统与环境气体探测器联锁 当发生气体泄漏事故时，自动开启事故通风系统，以降低环境中气 体浓度。报警在特种气体站房外设置紧急按钮以便救援人员启动 事故排风系统。
9.3.5.9.3.6
表明0.4%平均浓度可能引起气柜内局部体积爆燃（PVD）。估计 0.4%限值所产生的超压可以通过气柜门问失灵来泄爆。标准硅 烷体积流量应根据管道系统泄放至密闭空间的最大流量来决定。 流量应根据管线限流孔板或气瓶阀尺寸和硅烷源最大压力来计 算。在硅烷气瓶或管道系统非焊接附件和连接处的最小通风量应 不小于最大硅烷体积流量的250倍。表13.2.3为标准硅烷流量 和最小通风量。
注：1.硅烷气源温度为75F（24℃）。 2.限流孔板下流侧压力为Opsi。 3.限流孔板孔口出流系数为0.8。 4.立方英尺/分（scfm）转换为升/分换算系数28.32。 5.psi转换为kPa换算系数6.895。
9.3.7排风管道为负压，采用柔性风管或软管，风管的有效通风 面积减小，将会影响到通风效果，同时，柔性风管或软管对火灾的 耐受性较差，很容易造成排风管烧坏和变形。因此，易燃性、毒性 腐蚀性气体柜和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管采用刚性 风管。气瓶柜、阀门箱排风管道是保证气瓶柜通风良好的必要前 提。如果在气瓶柜、阀门箱的排风管道上设置防火阀，一方面，防 火阀可能误动作，导致气瓶柜、阀门箱排风故障，将存在有害气体 在气瓶柜内积聚，存在安全风险；另一方面，在火灾情形下，气瓶 柜、阀门的排风仍有必要保持联系工作，才能保证操作人员和消防 人员的生命安全。因此，本条规定了气瓶柜、阀门箱的排风管路上 不应设置防火阀。大宗有毒性气体容器出口阀门部位管道连接为 机械密封，存在泄漏风险，故本条规定了应设置抽风罩，提高通风 效率，阻止泄漏气体进人室内环境
不应设置防火阀。大宗有毒性气体容器出口阀门部位管道连接为 机械密封，存在泄漏风险，故本条规定了应设置抽风罩，提高通风 效率，阻止泄漏气体进人室内环境。 9.3.8房间排风口的位置应根据特种气体与空气的相对密度来 确定，防止有害气体积聚。为了将不同位置积聚的特种气体排出， 本条规定了根据特种气体相对密度的大小设置房间排风口的位 置，这样可以有效地将大于、小于空气密度的特种气体排至室外。 9.3.9避免特种气体站房排风造成对周围环境和人身安全造成
9.3.8房间排风口的位置应根据特种气体与空气的相对密
.8房间排风口的位置应根据特种气体与空气的相对密度来 定，防止有害气体积聚。为了将不同位置积聚的特种气体排出 条规定了根据特种气体相对密度的大小设置房间排风口的位 这样可以有效地将大于、小于空 密度的特种气体排至室外
害，因此，应根据排风中特种气体的性质和浓度等因素确定设置 里装置进行处理，如洗涤塔、吸附塔等
备用排风机。备用排风机也可以兼做事故排风机。特种气体 风系统电源设置应急电源，目的是保证排风系统的稳定运行口
火灾而导致多个特种气体间的通风关闭，造成更大的危害。因此， 空调风管不应穿越特种气体间之间的分隔墙
9.3.13为保证特种气体间的环境状态稳定，因此，建议空
设置备用空调机组。当受到条件限制时，采用适当措施保证在空 调机组维护或故障时，特种气体房间能取得足够的补风，也是保证 安全的有效措施之一
9.3.15本条为强制性条文，必须严格执行。特种气体设备及
房排风管道及空调风管采用不燃材料制作，保温采用应采用不 或难燃材料，是为了防止火灾蔓延和扩散，规定腐蚀性特种气体 排风管道采用耐腐蚀材料，是为了防止腐蚀气体破坏排风管道 生气体泄漏事故
9.3.16为防止因空气摩擦产生静电积聚，而引起燃烧和爆炸
故，因此，特种气体设备排风管、站房通风管道及空调风管应设置 防静电接地装置，消除风管静电。
排风系统连续运行，防止特种气体积聚，从而降低了火灾危险性和 对救援人员的危害，本条规定特气站房排风系统不得与火灾报警 系统联动控制。因为火灾时，一旦关闭特种气体站房的排风系统， 特种气体系统的自燃、易燃、毒性、腐蚀性、室息性气体可能会泄漏 进人房间，造成人员伤害，伤害可能比火灾危险发生更早，所以，本 条规定火灾发生时，严禁关闭排风系统。
10特种气体系统工程施工
10.1.4特种气体具有自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性
息性、麻醉性危害，而且多数情况下一种特种气体同时具有多种危 害性，稍有不慎往往会对人员、环境、生产设施造成难以挽回的巨 大损失，所以工程施工前应编制专项施工方案，控制人、机、料和安 全等各施工要素，为解决施工技术难点，关键工序，质量保障，安全 保障，环境保障，施工过程的质量检验等做好技术准备，施工方案 并应经业主审批后实施。
的设备及材料将对设施及人员安全构成潜在危险，所以本条规定 主要设备、材料进入现场后应进行实物验收，符合产品质量及本标 准要求才能在施工中使用。为保证质量的可追根溯性，要求保存
产品合格证和质量保证书、检验结论记录等。 10.1.6工程质量控制的关键在于过程控制，本条规定的各个工 序都是关键工序，在施工单位做好自检自律的同时，让相关单位共 同验证施工质量和安全可靠性是十分重要的，所以本条规定建设 单位技术人员应在场检验确认。
10.2主要设备、材料进场验收
10.2.1国内外的气瓶柜、气瓶架，阀门箱、阀门盘的做法各不相 司，设备上的各种标识也不尽相同，为方便统一管理，保证使用的 安全可靠，本条对气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘做了统一规定。 1本款规定的是通过书面告知运输部门设备的运输要求，防 止上述设备在运输过程中损坏。 2本款规定的是由于上述设备接触的都是生产过程中的高 纯特种气体，为保证特种气体的质量，防止在设备内污染，对设备 外观和机械性能提出了基本要求。 3本款规定对基本功能配制提出了要求，自的在于保证工艺 需要、特种气体质量需要和安全功能的需要，防止人员操作失误。 4本款规定是为了防止系统内部在运输与安装过程中受到 污染与机械破坏。 5本款规定在运输过程中盘面应保有不低于0.1MPa（表 压）的压力的氮气是为了防止外界空气对设备内部的污染。 6在进场验收时，要注意阀门的支撑件是否符合本标准的要 求，规定阀门用专用支撑件是为了安全的要求，阀门采用不锈钢材 料是为了环境净化的要求。 10.2.2尾气处理装置组件较多，随机资料也较多，进场验收时需 要一一核实。对于酸碱洗涤塔设备尤其要注意设计要求和合同要 求，因为酸碱洗涤塔设备大多是有机玻璃钢材料制作，质量好的玻 璃钢可以使用15年～20年，质量差的玻璃钢使用寿命只有2年 一3年，所以应严格按照合同和设计的要求进行验收。
10.2.3本条对管道、管件和阀门进场验收做出了规定。
1本款规定管道、管件和阀门的最外层的包装可在非洁净区 打开，是为防止管道在搬运过程中造成弯曲，采用了加固的木箱包 装，为防止管道内外表面洁净受污染，内包装来用了双层密封的塑 料袋包装，并且是在洁净室内完成的。管件和阀门也采用了相同 包装方法，所以外包装可在非洁净区打开，开箱后主要检查管道 管件、阀门的双层塑料透明聚乙烯薄膜是否损伤，防止受到污染。 2本款规定了验收合格产品的在洁净室内的放置方法、放置 位置，同时对保管产品的洁净环境做了规定 3为保证产品的质量和可追溯性，本款规定了进场的管道 管件和阀门应具备相关的资料。
10.2.4本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包 装，防止管道、管件和阀门验收时受到环境污染物的污染，特规定 了验收的环境、内容和方法
10.2.4本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包
10.3气瓶柜与气瓶架的安装
10.3.1为防正施工单位未经过设计单位同意更改图纸，造成安 全与质量隐患，本条规定气瓶柜、架应按照设计图纸的要求定位。 10.3.2本条是对气瓶柜、气瓶架的固定做出的规定，目的在于防 止气瓶柜晃动和移动，造成气瓶柜连接的管道接口松动，导致气体 泄露发生事故。 10.3.3本条是对单个气瓶柜、气瓶架和成排气瓶柜、气瓶架定位 的基本要求。满足使用功能要求的同时，也满足美观功能的要求 10.3.4为保证气瓶柜的安装质量，本条规定气瓶柜的安装应保
10.3.3本条是对单个气瓶柜、气瓶架和成排气瓶柜、气瓶架定位
3.3本条是对单个气瓶柜、气瓶架和成排气瓶柜、气瓶架定位 基本要求。满足使用功能要求的同时，也满足美观功能的要求 3.4为保证气瓶柜的安装质量，本条规定气瓶柜的安装应保 巨门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严
10.4阀门箱与阀门盘的安装
4.1本条对阀门箱和阀门盘的安装位置做了规定，这样便于 车，同时保证阀门箱稳固和避免对管道运行造成的影响，
10.4.2本条规定，一是保证支座不会因腐蚀而影响洁净室的洁 净度，二是保证整体的美观，因为特种气体系统的施工要求严格， 造价较贵，支座的制作应与系统整体美观相适应。 10.4.3本条是对单个和成排就位的阀门箱和阀门盘的基本要 求。满足使用功能要求的同时，也满足美观舒适的要求。 10.4.4本条是对阀门箱和阀门盘的固定而做出的规定。目的在 于防正阀门箱和阀门盘的晃动和移动，造成阀门箱和阀门盘连接 的管道接口松动，导致气体泄露发生事故。 10.4.5在众多的工业用途中，不锈钢都能提供令人满意的耐蚀 性能，但不锈钢与其他金属和非金属之间容易造成点腐蚀、晶间腐 蚀以及缝隙腐蚀。尤其在湿度较大或有弱酸性的环境中，其腐蚀
性能，但不锈钢与其他金属和非金属之间容易造成点腐蚀、晶间 蚀以及缝隙腐蚀。尤其在湿度较大或有弱酸性的环境中，其腐 更为严重，所以本条对阀门箱和阀门盘的连接螺栓做了规定
尾气处理装置及纯化器的安装
10.5.2本条是对尾气处理装置的固定而做出的规定。目的在于 防止尾气处理装置的晃动和移动，造成设备连接管道接口松动，导 致气体泄露发生事故。
致气体泄露发生事故。 10.5.4为防止吸附剂失效，本条规定干式尾气处理装置及纯化 器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。
10.5.4为防止吸附剂失效，本条规定干式尾气处理装置及纯化
10.6特种气体管道安装
10.6.1本条对特种气体管道下料、预制做出了规定。 1本款是针对特种气体管道是洁净管道的特点，规定各种作 业应在洁净室内完成，所以作业人员的穿戴应满足洁净室的基本 要求，并规定不得用裸手触摸模管口及管道内壁，因为手上往往附着 肉眼无法看得见的油分子、水分子、细小的灰尘颗粒等，这些看不 见的有害分子的是特种气体管道施工的主要隐患，所以应杜绝。 2本款规定切管器所适用的不锈钢管的管道口径，切管器 （即通常所说的割刀）应与管道直径相匹配，并规定了切割后管道
的端口处理方式和处理要求，这些都是为保证特种气体管焊接质 量而做出的规定。 3本款规定的目的是防止管道加工时切屑进入管道内污染 或划伤管道内壁。 4本款规定管外径大于1/2"的管道的切割方法和要求。不 锈钢管洁净施工专用切割机一般采用行星式薄壁不锈钢管道切割 机，它是使自转的刀片绕着管子公转进行切割，管子被夹紧在确保 和刀片垂直的自定心卡盘上；行星式管道切割机切割前，进刀手柄 先进刀，然后固定进刀位置，接着旋转手轮，在刀片公转一周以后 管道自动切割下来。由于夹持面和切割面非常垂直，切割中受力 并不大，所以可以得到与管道垂直的切割平面。行星式切割机的 优点是：整个切割过程为冷切割，没有毛刺，切口非常垂直，不用冷 却液，管道待焊部位没有污染，能满足焊接质量要求；切割机有非 常高的切割速度，能在30s内完成一个管外径为3 管道的切割，如果要和带锯相比较的话，带锯切割相同的管道需要 5倍的时间，而且切割质量无法相提并论。而手工锯、砂轮切割机 更是不能满足特种气体配管的质量的要求，为保证管道的洁净度 和防止危险发生，为此，做了本款规定。 5由于不锈钢管洁净施工专用切割机切割时会产切屑颗粒， 通入高纯氮气的目的是及时将产生的铁屑颗粒从切口处吹出，减 少颗粒在管道内壁的吸附。 6本款规定不得采用什锦锉的目的是为了防止什锦锉对管 道内壁戳伤导致管道报废。 7本款规定了对切割后的管道及时进行管口的清理，用洁净防 尘帽或洁净纸胶带将管道口封堵目的在于保证管道的洁净度的要求。 8特种气体系统材料昂贵，不能随意丢失，应对切割后剩余 管道进行防空气污染的处理，方便下次使用。本款的洁净环境要 求，目的是为了保障特种气体管道的施工质量，
10.6.2本条对特种气体管道配管做出了规定
1本款强调室外作业的特种气体管道应进行预连接，并不应 全部打开包装袋，仅在管口处打开并立即充氩气保护，其目的是避 免污染。 2因为特种气体管道支架间距比公用、动力管道小，而室外 特种气体管道经常与公用动力管道共用室外管架，所以本款规定 室外特种气体管道支架采用槽式桥架的形式。槽式桥架的材质应 保证特种气体管道不发生腐蚀和满足美观的要求。 3本款规定了支架的制作要求，支架切割、端头处理等措施 这与系统整体质量要求一致，目的是防止支架生锈、产尘，从而影 响环境洁净度。 4本款是为了防止支架不被腐蚀而做的规定。 5特种气体系统配管的支架应单独设立，一方面保证支架免 受腐蚀，另一方面保证不受产品制造装置的辅机、排风管、管道等 振动影响或利用它们的固定支架进行配管施工而引起微振，从而 导致阀门箱（盘）内的接头会慢慢产生气体泄漏。元型不锈钢管卡 就是特种气体管道专用管卡，与U型钢匹配，口径1/2”及其以下 的管道通用。3/4"及以上的管卡没有专用元型管卡，而且由于管 径大，其需要的承受力增大，故本款做此规定。 6本款规定是对弯管器所能撼的口径的界定，是十多年经 验的总结和多次试验的结果。为减少流体阻力，弯管的曲率半径 一般为管径的5倍，规定弯管变形率越小越好是为了保证焊接质 量和保护管内表面的粗糙度。操作者用大弯管器制小口径的管 道，用公制的铜管弯管器制英制不锈钢管，甚至出现直接用手撼 制，撼制出来的管道出现变形时还使用榔头敲打等现象。这些做 法都会严重影响管道的表面粗糙度，是绝对不充许的。 7本款为强制性条款，必须严格执行。本款规定不锈钢管道 密封面接头的密封垫片使用不锈钢垫片或镍垫片，这是因为这两 种材料能与管道材料性质相匹配，能保证垫片挤压的延展性，从实
际效果看密封良好，而聚四氟乙烯等非金属垫片的刚度达不到要 求，容易挤坏破损而导致泄漏，同时，使用过的金属垫片密封性能 下降，所以规定严禁使用非金属垫片和使用过的金属垫片；经验表 明，两个垫片重叠使用会造成密封不严，面密封（这里是指行业内 通称的VCR面密封）端面用硬器稍微毁伤（如头发丝那么细或肉 眼看不见）都会导致大量的气体泄漏，特种气体的泄漏会危及人员 的生命安全和财产的损失，所以本款规定了同一密封面上应采用 一个垫片。 8本款规定用气设备与特种气体管道的连接应采用不锈钢 面密封（这里是指行业内通称的VCR面密封）形式，非金属软管 不能满足特种气体的质量要求，所以不能采用。 9本款规定为保证特种气体管道免受损伤，在穿墙部位设置 套管；为达到防火的要求，在套管内填充难燃材料；为保证室内外 密封同时应将洞口两侧密封处理
套管；为达到防火的要求，在套管内填充难燃材料；为保证室内外
10.6.3本条对特种气体管道焊接做出了规定
2本款规定焊接使用的工具应为自动轨道氩弧焊机，内外氩 气保护焊接，是因为这种焊接方式的焊口质量优良，能满足特种气 体管道的要求，规定氩气的纯度也是为了保证焊接质量，低纯度的 赢气会导致焊缝表面发黄或发黑，造成焊口报废。管路末端装压 力计的目的在于保证同种规格的管道焊接参数容易掌握、焊接质 量稳定。 5焊接工艺评定的目的是为了验证焊接接头的力学性能是 否满足使用需求，是编制焊接工艺规程的依据。所以本款规定应 按焊接工艺规程中的技术参数要求进行焊接，否则焊接接头的力 学性能无法得到保证。焊接过程中应做好焊接记录，焊接接头编 号要与单线图中焊接接头编号、现场实际焊接接头位置编号一致： 相关信息具有可追溯性，以确保焊接质量得到有效控制。 9特种气体管道施工过程中不得中断保护气体供应，其目的 在于防止焊接时形成氧化膜及管内壁被空气污染：施工中断时，可
适当降低充气流量，但应确保管内呈正压，其目的也在于防止管道 内壁被污染。 10特种气体管道的两端管口在运输、保管、施工、测试等各 种情况下都应保持密封或管道内充高纯氩气或氮气，使管道内免 受空气污染。管口暴露在大气中，会使空气中的水分、颗粒、氧气、 油分吸附在管道内壁，对最终测试和运行使用造成极大的隐患，甚 至造成整个系统的报废，所以当安装结束后，所有系统内应充氩气 或氮气正压保护。
2本款规定双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充 屯氩气保护，其目的是为了及时地、准确地确认内管是否被焊 因为内管一旦焊穿，外管与内管之间的氩气就会流人内管，内管 压力表的读数就会增加
10.7特种气体管道改扩建工程施工
10.7.1特种气体系统改建、扩建工程施工工艺及质量要求与新 建工程的要求是一致的，但由于改建、扩建工程中增加了拆除特种 气体管道的工序，这牵涉到与生产同时进行以及拆除的管道中有 可能残存少量危害性极大气体。 1本款再次强调应编制施工方案，鉴于改建、扩建工程的特 点，其施工方案应更加具有针对性、指导性和全面性，要把现场可 能出现的危险因素全部考虑周到，并制订切实可行的实施措施以 及应急预案，由于业主方专业技术人员比施工方更了解现场情况 风险程度及安全技术措施，所以施工方案应报业主批准。对潜在 的危险向施工人员进行详尽的技术交底，也是安全预防措施的一 个很重要的方面，是避免安全事故发生的源头保证。 2本款规定是为了尽量减少施工对生产造成影响，保证施工 人员和产品生产作业人员的安全以及设备的安全、产品质量、施工 质量等应采取的措施
3本款规定改建、扩建、拆除工程由施工方和业主方共同现 场监督，所有作业应由专人在业主技术人员的指导下完成。施工 人员要有极强的责任心和丰富的施工操作经验，在双方技术人员 的共同确认下认真地完成各项作业，如切割改造工作时应提前在 被切割管道全线和切割处明显标示。 10.7.2本条为强制性条文，必须严格执行。施工前将管道内的 特种气体用高纯氮气置换尽，这是为了防止管内残存有害气体在 施工时对人身、环境和设施造成安全威胁所采取的措施，由于特种 气体对环境及人员存在的危险性特性，因此，本条规定被置换出的 气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。 10.7.3施工、测试完成后，其管内充入高纯0.1MPa的高纯氮 气，其目的是为了便于检查管道因受外力导致接头松动或管道破 损而造成管道泄漏，同时还确 管道不受污染
11特种气体系统工程验收
本节是对特种气体系统施工验收的范围和工程验收的依据做 规定。
11.2.1~11.2.3特种气体设备的验收，可根据设备的类型、功能 特性和参数确定验收程序，检查包括但不限于管道走向、焊接质 量、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和 流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格和 流向、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、面密封 接头是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、设备出口管径、排放 口管径、危险标签等内容。 监测和联动控制的压力传感器、电子秤、过流开关、高温开关、 火焰探测器、负压开关、紧急切断、输入电源、输入输出信号、接地 保护、功能联动测试等参数应符合工程设计要求。 尾气处理器的检查内容除了包括型号、流程、配管、配电、仪表 量程、标签、说明书、出厂测试报告，还应检查测量仪表显示、本体 阻力、漏风率、噪音、滴漏、处理量、去除效率、报警联锁测试、紧急 切断等参数是否符合设计要求。 下列验收表的检查、验收内容是一些工程公司实际使用的验 收表格，供使用者参考。表4是常用气瓶柜/气瓶架/阀门箱/阀门 盘的验收内容，表5是尾气处理装置的验收内容。本节是根据这 些表格的内容整理并结合工程实践做出的相关规定（条文中的面 密封是指行业内通称的VCR面密封）。
表4常用GC/GR/VMB/VMP验收表日期：名称：编号：适用气体：序列号：盘面号码：左中盘面：V（好），X（不好），N/A（不适用）右吹扫1.外观检验管道横平竖直焊接质量合格管道清洁调节阀规格和流向气动/手动阀门手柄颜色（若气动/手动阀门规格和流向要求）单向阀规格和流向细流阀规格和流向压力变送器/压力表规格过滤器规格和流向过流开关和流量安全阀流向和设定压力（（高压：低压：slpm)MPa)管件规格：弯头/三通/密封接所有VCR已锁紧头等垫片规格管道与阀门支架已安装吹扫入口管径工艺出口管径排气管径：人口出口测漏管线人口管径零组件配置与图面是否一致触摸屏图控与盘面流程是否一致2.压力测试测试压力：MPa日期：24h压降：MPa时间：温度：.125.
表5尾气处理装置验收表
11.3管路与系统验收
11.3.1本条是对特种气体管路施工安装后的外观检查等做出的 规定。其中，管件的安装位置和方向应符合设计文件要求。弯头 的臧制和焊缝的验收应符合本标准中相关章节的规定。 11.3.3本条规定的特种气体管道安装完后需进行5项测试 包括：
11.3.1本条是对特种气体管路施工安装后的外观检查等做出的
（1）压力试验，包括强度试验和气密性试验或泄漏量试验。由 于此类管道大都输送具有一定纯度的各种特种气体，为避免污染 和吹净水分的复杂过程，所以规定不能采用水压试验，一般采用高 纯氮气或高纯氩气进行气压试验。压力试验前管道及附件不应进 行绝热保温作业，管道各路出口应用阀门、堵头或其他措施隔离。 在进行气压试验前应确认完成管道吹扫。管道强度试验压力应为 系统设计压力的1.15倍，时间应保持30min。气压试验时，应逐 步缓慢增加压力，当压力升至试验压力的50%时，如未发现异状 或泄漏，应继续按试验压力的10%逐级升压，每级稳压3min，直至 试验压力。管道气密性试验压力应为系统设计压力的1.05倍，时 间应保持24h。为避免昼夜温度变化和长时间试验时的压力波 动，所以应记录整个试验过程的温度、压力变化，并对记录值进行 温度、压力修正后压降值不得超过1%。压力试验的压力修正公 式如下：
式中：P 初始表压； P2 最终表压； Patm 大气压力，通常为1.01bar(a）； 初始周围温度K（K=℃十273.15）； 最终周围温度K（K=℃十273.15）； 压力试验合格后，将压力降低到0.5bar左右，保证管道内为 正压并提交测试报告，格式可参考表6的规定。
表6压力测试记录表项目名称：项目编号：项目结果描述例：SiH，工艺管线测试从客户内部范围设备编号例：SiH，气瓶柜/GC001至客户内部设备编号例:SiH,VMB/VMB001测试介质ON2ArHe/N2口低压测试：例：80psig×24h，Drop≤1%测试标准口高压测试：例：1500psig×30min，Drop≤1%测试口其他结果起始压力psig/bar(g)月时分结束压力psig/bar(g)月日时分起始温度：结束温度：下降比率%T, ℃T2 ℃操作人年月日确认项目经理年月日客户年月日（2）氢检漏试验。由于特种气体有易燃性，有毒，腐蚀性、氧化性、室息性等特性，这些气体在生产作业过程中一旦发生泄漏将会引发作火、中毒、腐蚀和损害作业人员健康等事故。为防止泄漏，特种气体管道在进行气密性试验或泄漏性试验后还应进行检漏试验，以便严格检查控制管道系统可能出现的泄漏点，确保管道施工质量。特种气体氨检漏测试要求应符合本标准附录A的规定；测试完毕后，应提交测试报告，格式见表7。.131:
表7氢检漏测试记录表
（3）颗粒、水、氧测试。为了确保特种气体管道投入运行后，不 会因为管道内存在污染物或管道内壁吸附的污染物质逐渐释放或 管道附件、阀门花簇渗漏污染物，影响输送的特种气体受到污染， 达不到产品生产所要求的纯度，为此，应在特种气体进行氮检漏试 验合格后进行纯度试验。根据所输送的特种气体种类和物理化学 生质的不同采用不同的试验气体，包括颗粒测试、水分测试、氧分 则试的纯度测试或纯度试验均采用增重法进行评价，即从被测试 种气体管道的测试气体引入端获取引入的测试气体的颗粒、水 分、氧分含量，同被测试管道排出口的测试气体的相关杂质含量进
行比较，若增量值未超过规定值，判断为验收合格。纯度测试用仪 器应根据增量规定值的要求选用相应检测精度的分析仪器。 颗粒度分析主要是检查高纯气体系统中各种尺寸超细颗粒的 数量，也是系统纯度检查和纯度保证的一种方式，它对于辅助吹扫 气源的颗粒度有严格的要求，一般要求0.1μm～0.5um的颗粒数 量为零，辅助吹扫气体的雷诺数应大于10000，表8是各种尺寸管 道颗粒检查对于吹扫气体流量及雷诺数的推荐要求：
表8管道吹扫气体流量
气体系统颗粒计数仪器大都采用激光式的计数仪器，激光颗 粒计数仪主要应用光散射和分子布朗运动的基本物理性质制成 激光具有很好的单色性和极强的方向性，所以在没有阻碍的无限 空间中激光将会照射到无穷远的地方，并且在传播过程中很少有 发散的现象。 特种气体系统颗粒测试合格的参考标准： 1）大规模集成电路行业管道系统测试气体中大于0.1um的 颗粒数宜小于或等于1颗/标准立方英尺；连续5次达标为合格； 2)平板显示行业管道系统测试气体中大于0.1um的颗粒数
宜小于或等于1颗/标准立方英尺；连续3次达标为合格； 3）太阳能电池行业管道系统测试气体中大于0.3μm的颗粒 数宜小于或等于1颗/标准立方英尺；连续3次达标为合格。 4)颗粒测试完毕后，应提交测试报告，格式见表9。
（4）水分测试。为保证高纯气体系统的水分含量及系统的纯 度，需要进行水分分析。一般情况下，直接阅读水分分析仪的显示 数值。水分分析仪器有很多种，它的测量方式主要有电化学测量 法和光学绝对测量法。 特种气体系统的水分测试应符合下列要求： 1)特种气体系统水分测试时，气体速度应低于设计流速的 10%，且小于3m/s。 2测试气源的水分应小于10ppbv。 3）水分测试合格参考标准： ①大规模集成电路行业管道系统测试气体水分增量宜小于 10ppbv; ②平板显示行业管道系统测试气体水分增量宜小于10ppbv； ③太阳能电池行业管道系统测试气体水分增量宜小于 20ppbv。 4）测试结束后，应至少保持20min稳定在规定值以下为 合格。 5）水分测试完毕后，应提交测试报告，格式见表10
表10水分测试记录表
（5)氧分分析。氧分分析的自的和水分分析一样，也是检 查气体系统纯度的一种方式，一般情况下，直接阅读氧分分析 仪的显示数值，电子行业所用的氧分分析仪器主要为电化学分 析仪器。 特种气体系统的氧分测试应符合下列要求： 1特种气体系统氧分测试时，气体速度低于设计流速的 10%，且小于3m/s; 2）测试气源的氧分应小于10ppbv； 3）氧分测试合格的参考标准： ①大规模集成电路行业管道系统测试气体氧分增量宜小于 10ppbv; 平板显示行业管道系统测试气体氧分增量宜小于10ppbv； ③太阳能电池行业管道系统测试气体氧分增量宜小于
20ppbv。 4）测试结束后，应至少保持20min稳定在规定值以下为 合格。 5）氧分测试完毕后，应提交测试报告，格式见表11。
表11氧分测试记录表
DB／T 75-2018 地震灾害遥感评估 建筑物破坏11.4气体探测（监控）系统验收
表12特种气体探测、监控系统验收
附录A特种气体管道氨检漏方法
本附录为特种气体管道氮检漏方法，本附录的内容在一些工 程公司的实际工作中得到使用，作为推荐性内容提供给使用者。
附录B电子工业用特种气体的 主要物化性质（单一气体
附录B电子工业用特种气体的 主要物化性质(单一气体
本附录为电子工业用特种气体的主要物化性质（单一气体）， 本附录的内容在一些工程公司的实际工作中得到使用NB／T 35089-2016 水轮机筒形阀技术规范，作为推荐 性内容提供给使用者。
统一书号：155182·0650 定 价：29.00元