标准规范下载简介

JJF(沪) 58-2018 微纳米线间隔标准样板校准规范.pdf

上海市地方计量校准规范

微纳米线间隔标准样板校准规范

上海市市场监督管理局发布

WST 311-2009标准下载上海市市场监督管理局发布

归口单位：上海市市场监督管理局 主要起草单位：上海市计量测试技术研究院 同济大学 参加起草单位：中国计量科学研究院

本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释

本规范主要起草人： 傅云霞（上海市计量测试技术研究院） 程鑫彬（同济大学） 雷李华（上海市计量测试技术研究院） 参加起草人： 高思田（中国计量科学研究院） 魏佳斯（上海市计量测试技术研究院）

微纳米线间隔标准样板校准规范

本规范适用于线间隔不大于100μm的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形 状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。

具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100um的周期性刻线，可以是 维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。 3.2扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope，SPM） 基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样 品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和 化学特性，包括原子力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM）、扫描隧道显微 镜（scanningtunnelingmicroscope，STM）等。 3.3计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope，MSPM） 具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜 比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针 显微镜。

具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100μm的周期性刻线，可以是 维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。 3.2扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope，SPM） 基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样 品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和 化学特性，包括原子力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM）、扫描隧道显微 镜（scanningtunnelingmicroscope，STM）等。 3.3计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope，MSPM） 具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜 比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针 显微镜。

3.4重心间距（gravitycenterdistand

在线间隔扫描线上，中线以上部分的几何重心之间的距离，如图1所示。

5.2二维线间隔的正交性

对于二维微纳米线间隔标准样板，以二维线间隔X、Y方向的夹角作为其正交 性。

在样板有效测量区域内均匀选取多条测量线，以其一维或二维节距的多次测量 结果的实验标准差给出。

校准过程中环境条件如表2。

校准室内应无影响测量的振动源。

NB／T 10155-2019 家用直膨式太阳能热泵热水系统试验方法6.2测量标准及其他设备

内米线间隔标准样板的校准项目及相应标准

纳米线间隔标准样板的校准项目及相应标准器

使用计量型扫描探针显微镜扫描被测样板，扫描前应确定与栅格结构正交的扫 描方向（方法参见附录D），沿正交扫描方向扫描样板特征区域。选3个测量区域， 在每个测量区域内进行扫描，扫描曲线数应不少于3条，每条扫描曲线应包含6个 以上线间隔；通过重心法，对每条曲线分别进行线间隔计算：选取每个刻线高度在 中线以上的所有测量点坐标值，按式（1）得到该节测量方向上的重心坐标值。

2Z;Xi = 22

分别计算首尾刻线重心坐标值，按式（2）将首尾刻线重心间距除以线间隔个 数得到线间隔的单次测量结果，并记录相关测量区域信息

式中： P一一线间隔单次测量值，单位：nm； li一一所选取的第1刻线的重心值，单位：nm： ln一一所选取的第n刻线的重心值，单位：nm； n一一选取的刻线个数 按上述方法连续重复测量10次，按式（3）计算10次测量值的平均值作为平 均线间隔的测量结果。

l1一一所选取的第1刻线的重心值，单位：nm； ln一一所选取的第n刻线的重心值，单位：nm； 一一选取的刻线个数(晋)12J3-2 外墙夹心保温， 按上述方法连续重复测量10次，按式（3）计算 匀线间隔的测量结果。

P一一平均线间隔测量值，单位：nm； Pi一一线间隔单次测量值，单位：nm;