标准规范下载简介
GB／T 20230-2022 磷化铟单晶.pdfICS 29.045 CCS H 83
GB/T20230—2022 代替GB/T20230—2006
Indiumphosphide single crystal
无锡市境内某高速公路京杭运河大桥工程施工组织设计方案国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB/T20230—2022
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 本文件代替GB/T20230一2006《磷化钢单晶》，与GB/T20230一2006相比，除结构调整和编辑性 外，主要技术变化如下： a）更改了适用范围（见第1章，2006年版的第1章）； b） 增加了“术语和定义”一章（见第3章）； 更改了磷化铟单晶锭的牌号表示方法（见4.1，2006年版的3.1）； d）增加了磷化铟单晶抛光片的牌号表示方法（见4.2）； 更改了磷化铟单晶锭电学性能的要求（见5.1.1，2006年版的3.2.2）； f 增加了n型非掺磷化钢单晶锭的电学性能要求（见5.1.1）； 删除了磷化铟单晶锭晶向<111>以及其他晶向供需双方协商确定的规定（见2006年版的3.2.3）； h）增加了磷化铟单晶锭位错密度的要求（见5.1.3）； 1 删除了磷化钢单晶锭无李晶线的要求（见2006年版的3.2.4）； 删除了磷化单晶锭直径的要求（见2006年版的3.2.5）； K 更改了磷化铟单晶抛光片位错密度的要求（见5.2.12006年版的3.3.1）； 1 增加了磷化钢单晶抛光片表面取向及基准标记的要求（见5.2.2）； m）增加了直径150.0mm磷化铟单晶抛光片的几何参数要求（见5.2.3）； n 更改了磷化铟单晶抛光片厚度、总厚度变化、翘曲度、总指示读数的要求（见5.2.3，2006年版 的3.3.2）； 更改了磷化钢单晶抛光片表面质量的要求（见5.2.4，2006年版的3.3.3）； 增加了磷化钢单晶抛光片表面颗粒的要求（见5.2.5）； 删除了磷化钢单晶抛光片晶向的要求（见2006年版的3.3.5）； 更改了试验方法（见第6章，2006年版的第4章）； 更改了组批、检验项目、取样及检验结果的判定（见第7章，2006年版的第5章）： t 更改了标志的要求（见8.1，2006年版的6.1）； 更改了包装的要求（见8.2，2006年版的6.2、6.3）； V） 更改了随行文件的要求（见8.5，2006年版的6.5）； W）增加了订货单内容（见第9章）； x）增加了规范性附录“磷化铟单晶位错密度的测试方法”（见附录A）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本文件起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、云南鑫耀半导体材料有限公司、广东先导 子科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。 本文件主要起草人：孙轰枫、李晓岚、主阳、刘惠生、惠峰、李素青、朱刘、主书杰、邵会民、周铁军 磊、付莉杰、王博、张晓丹、姜剑、王宇。 本文件于2006年首次发布，本次为第一次修订
GB/T20230—2022
本文件规定了磷化钢单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文 件及订货单内容。 本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化钢单晶锭及磷化钢单晶抛光片
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于 本文件。 GB/T1555 半导体单晶晶向测定方法 GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样 计划 GB/T4326 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T 6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T13388 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T 26067 硅片切口尺寸测试方法 GB/T 32278 碳化硅单晶片平整度测试方法 SJ/T11488 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法
GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件！
磷化铟单晶锭的牌号表示方法如下
表示晶向 表示导电类型，括号内用元素符号表示掺杂剂 表示磷化钢单晶锭 表示单晶的生长方法
示例： 长的n型掺硫、晶向为（100》的磷化钢单晶锭
4.2磷化钢单晶抛光片
磷化钢单晶抛光片的牌号表示方法如下
5.1磷化铟单晶锭特性
磷化钢单晶锭的电学性能应符合表1的规定。
磷化钢单晶锭的晶向为<100》
磷化钢单晶锭的位错密度应符合表2的规定，
磷化钢单晶锭的表面应无裂纹、无夹杂、无微孔
5.2.1电学性能、位错密度
磷化钢单晶抛光片的电学性能、位错密度应分别符合磷化钢单晶锭特性中5.1.1、5.1.3的要求 方提供对应磷化钢单晶锭的检验结果
5.2.2表面取向及基准标记
也光片的表面取向及基准标记应符合表3的规定
磷化钢单晶抛光片的几何参数应符合表4的规定。
磷化钢单晶抛光片正表面应无李晶、无划痕、无橘皮、无凹坑、无雾、无沾污、无崩边或裂纹等异常。
磷化钢单晶抛光片正表面的颗粒应符合表5的规定。
注：需方如对磷化铟单晶抛光片的表面颗粒有特殊要求，由供需双方协商确定
6.1.1.1磷化钢单晶锭导电类型的检测按GB/T4326的规定进行。 6.1.1.2n型、P型磷化钢单晶锭载流子浓度、迁移率以及n型磷化钢单晶锭电阻率的检测按GB/T4326 的规定进行。
钢单晶锭晶向的检测按GB/T1555的规定进行
磷化钢单晶锭位错密度的检测接附录A的规定进行，计数方式的选取由供需双方协商确定
6.2磷化铟单晶抛光片
6.2.1表面取向及基准标记
GB/T20230—2022
6.2.1.1磷化钢单晶抛光片表面取向的检测按GB/T1555的规定进行。 6.2.1.2磷化钢单晶抛光片主参考面取向及切口基准轴取向的检测按GB/T13388的规定进行 6.2.1.3磷化钢单晶抛光片副参考面取向的检测采用满足准确度要求的角度尺进行
6.2.2.1磷化钢单晶抛光片直径、主参考面长度、副参考面长度的检测用精度为0.02mm的量具进行 6.2.2.2磷化钢单晶抛光片厚度的检测按GB/T6618中规定的分立点式测量方法进行。 6.2.2.3磷化钢单晶抛光片切口尺寸的检测按GB/T26067的规定进行。 6.2.2.4磷化钢单晶抛光片总厚度变化、翘曲度、总指示读数的检测按GB/T32278的规定进行
6.2.2.1磷化钢单晶抛光片直径、主参考面长度、副参考面长度的检测用精度为0.02mm的量具进行
JTG D70／2-2014 公路隧道设计规范 第二册 交通工程与附属设施（附条文说明）.pdf因单晶抛光片表面质量的检测按GB/T6624的规
磷化钢单晶抛光片表面颗粒的检测按GB/T199
7.1.1产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定， 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时， 应在收到产品之日起三个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，应由供需双方 协商确定
7.2.1磷化钢单晶锭应成批提交验收。每批应由同一根磷化铟单晶锭组成。 7.2.2磷化铟单晶抛光片应成批提交验收。每批应由同一牌号，并可追溯生产条件的磷化钢单晶锭加 工的磷化钢单晶抛光片组成
7.3.1磷化钢单晶锭的检验项目及取样应符合表6的规定
表6磷化铟单晶锭的检验项目及取样
7.3.2磷化铟单晶抛光片的检验项目及取样应符合表7的规定
某干休所改造工程施工组织设计7.3.2磷化铟单晶抛光片的检验项目及取样应符合表7的规定。
表7磷化铟单晶抛光片的检验项目及取栏