GB/T 25755-2010标准规范下载简介

本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。