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GB51110-2015洁净厂房施工及质量验收规范

9.4.4一般接地体及其弓引1出线和焊接部分均易受到水、汽和土壤 的腐蚀，所以应进行防腐处理，确保其可靠连接；通常在地面下 0.5m以内易受到地面水的侵蚀，所以本条规定接地体的理设深 度应符合设计要求，并不得小于0.6m。鉴于接地体及其引出线和 焊接部位的理设深度常常在地表下0.5m或更大埋设深度，均易 受到水、汽和土壤的腐蚀，为防止因锈蚀或接触不良导致接地体的 导电性能下降，从而进一步引发事故和危险等，所以规定本条第1 款和第2款为强制性条款，以确保施工质量和接地体的安全可靠

有活动地板时通常设在地板下；对于穿越洁净室（区）的墙体、顶棚 和地面处的接地线一般均采用套管保护，对此套管还应进行密封 处理。为此作了本条的规定。

9.4.7本条对接地线与建筑物的间距、跨越伸缩缝等的处理

志等进行了规定。为防止跨越伸缩缝等处的接地线被拉断等的损 坏，一般在这些场所可采用接地线本身弯成弧状等形式的补偿器

10.1.1鉴于洁净厂房中的微振控制设施的区域性，即在洁净厂 房中有微振控制要求者只是局部的、某些房间或设备，微振控制与 洁净广房的各专业施工、安装的关联性以及微振控制设施的特点， 作了本条“同步施工”安装的规定。 10.1.2微振控制设施的设置与微振控制要求的周围环境、振源 有关，还与具体工程项目的特点、要求有关CJJ／T 288-2018 城市轨道交通架空接触网技术标准，所以本条规定应严格 根据具体工程项自特点，按照微振控制设施的设计、测试和建造程 序按部就班地进行施工。

10.2微振控制设施施工

10.2.1、10.2.2微振控制设施的施工安装的特点是应与设计、测 试密切配合进行，所以在条文中规定了测试分析阶段，并根据测试 分析结果对微振控制设施进行调试。隔振台等的施工安装应认真 按工程设计要求进行。 10.2.3、10.2.4隔振器安装用地面状态既对微振控制设施的安 装质量产生影响，也可能成为相关环境的污染来源，为此制订本条 的规定。

10.2.6、10.2.7这两条对隔振台的台板表面，隔振用支、 制作和安装的质量验收作出了规定。

11.1.1、11.1.2由于噪声控制设施的施工安装与洁净厂房相关 专业的安装施工的关联性，为此条文规定噪声控制设施的安装施 工与建筑装饰、净化空调系统等同步进行。噪声控制所采用的设 备、材料是确保安装施工的重要条件，所以条文对设备、材料安装 前的检查、检验作了规定

11.2噪声控制设施安装

11.2.1本条对消声器、隔声罩等安装前应其备的条件的质量验 收主控项目内容作出了规定；其中强调应检查完整性、严密性等， 以确保消声、降噪的要求，并认真做好记录以备核查。

11.2.2消声器常常具有安装方向要求，在安装过程中不得搞错 方向；有的消声材料易于受潮，在安装中应做到连接严密，不得损 坏、受潮、影响施工安装质量；为方便维修、更换，且因消声器体积 较大，通常应设单独支架或吊架

11.2.3条文对隔声罩的安装施工位置、与风管的连接和检查门,

隔声材料布放等质量验收的主控项目内容作出了规定，其中尤应 注意检查门、观察窗等的严密性，否则将会降低隔声效果；隔声材 料的布放是否均匀将会影响隔声效果的均匀性，也是影响整体隔 声效果的重要因素。

11.2.4根据产品生产工艺的要求，对有隔声要求或有降低噪声

洁净度等级的实现。为此本条对吸声设施的构造、材质和表面质 量作出了相应规定。

12.1.1本条对洁净厂房中的特种设施”的范围作了规定。 12.1.2～12.1.5由于洁净厂房内的“特种设施”种类较多，包括 可燃、有毒、室息、腐蚀等气体、液体、有机溶剂等；许多设施还有 定的压力和高纯度要求，很多设备、管路属于压力容器、压力管道： 为确保气体纯度和避免渗漏污染，均需要求对其设备、管路的气密 性、渗漏性等进行严格控制，为此这儿条规定了各类特种设施在安 装前应具备的条件，并均应按规定进行检查、检验和验收，并做好 记录

装前应具备的条件，并均应按规定进行检查、检验和验收，并做好 记录。 12.1.6洁净厂房内的“特种设施”的种类较多，所以规定应分类， 分系统进行施工安装和质量验收，并推荐与相关供应系统试运转 结合进行。

分系统进行施工安装和质量验收，并推荐与相关供应系统试运 结合进行。

12.2高纯气体、特种气体供应设施安装

12.2.1、12.2.2由于这类管道输送的气体介质大部分对气体中 的杂质含量都有严格要求，所以条文规定在试运转阶段应进行纯 度试验，此项试验常常是在投入运行前进行。

12.2.3本条对高纯气体、特种气体供应设施安装前应具备的条 件作出了规定，其中强调检查设备、阀门和管件的完整性、密封性， 这是十分重要的环节，检查中一且发现异常，应与供应商进行协 商，必要时应进行相应试验验收。

求、搬入口要求等进行运输、就位；由于这些设备通常是接管、接线 较多，为避免返工和正确进行接管、接线，搬送、就位前应认真熟悉 设备图纸、文件等，防止差错的发生；这些设备交货前一般进行了 规定的试验和填装纯化材料，因此就位后不得进行气体接管，应在 管道系统按规定试验合格后才能接管

12.2.5本条对阀门箱、吹扫盘的安装和管路连接的质量验收主

12.2.6高纯气体、特种气体设施的纯度试验是此类设施安装施

工质量验收的最重要的环节，是确保此类设施正常、稳定、安全运 行的保障条件。本条对纯度试验的介质、压力、取样口、取样时间 和合格标准等作出了规定。此项试验工作可能时间较长，一般应 连续进行，并应认真做好记录。

12.2.7本条是对管路系统的试验方法、压力、介质和合格标准

的规定，其中对泄漏量试验气体作了三种可能的选择，即干燥压缩 空气、纯氮、氮气。据了解，这是国内外高纯气、特种气体管路施工 安装中的实际情况，因为高纯气、特种气种类很多，物理、化学性质 各不相同，所以应根据气体特性分别进行选择，如可燃性气体，应 选用纯氮或氮气，但由于国内氮气价格较贵，所以采用纯氮的较 多；但氮气检漏效果最好，若有条件，且管路系统不大，管径较小时 采用氮气也是一种很好的选择。泄漏率的计算见本规范第7.8.4 条的条文说明

12.2.8本条对管路吹扫方法、介质和吹扫合格标准的质量验收 要求作出了规定

12.3纯水供应设施安装

12.3.1、12.3.2这两条对纯水供应设施安装前应具备的条件和 管路及其阀门、附件的材质的选择作出了规定。各类洁净厂房的 纯水供应设施主要是指电子产品生产用纯水、超纯水，药品和保健

品生产用纯水、注射用水等，由于这类供应系统对安装和设备、阀 门、管路等都有较严格要求，并因生产的产品品种不同、用途不同 有所差异，所以条文规定应符合工程设计要求，并强调安装前核查 完整性、密封性等

12.3.3本条对单体设备的搬运、就位的质量验收主控项目内容 作出了规定。

作出了规定。 12.3.4纯水末端装置是为某些高科技产品生产对纯水有严格要 求时，对纯水供应系统的纯水在用户终端对其进行的最终纯化、过 滤的处理装置，本条是对此类纯水末端处理设备的搬运、就位和管 路安装、连接作出了规定，其中强调应在纯水循环供水系统试运转 合格后，才能将末端处理设备与纯水系统相连接，以防止末端处理 设备被污染甚至失效。

生物或热源等都有严格要求，通常在安装施工后应按工程设计文 件、产品说明书和《药品生产质量管理规范》等相关标准要求进行 试验、试运转，并应进行消毒灭菌。本条对此类系统的设备搬运、 就位、管路及其阀门等材质的选择和安装后的消毒灭菌等的质量 验收主控项目内容作出了规定。

12.3.6本条对管路系统的试验、试运转的压力、范围和纯水水质 试验等质量验收作出了规定。

12.4.1、12.4.2各类洁净厂房中，根据产品生产的不同要求常需 更用各类酸、碱、有机物质等，如高科技电子产品芯片、光电器件等 洁净厂房中需使用十儿甚至数十种化学品，药品生产中常使用异 为醇、甲醛等化学品。这两条对化学品供应设施的范围、安装应具 备的条件等作出了规定。

12.4.4各类洁净厂房为了加强对化学品，尤其是危险化学品供 应系统的管理，通常设置集中或分区的控制阀门箱，对化学品进行 分配管理，防止因阀门泄漏带来相关设备、管路甚至厂房结构的腐 蚀、损坏。本条对化学品供应设施的阀门箱安装应具备的条件、就 位和管路连接等安装施工作出了规定。

12.4.5本条规定化学品供应设施的容器、管路及其阀门、附件的 材质选择应符合工程设计要求，这是基本原则，许多工程实践表 明，化学品供应设施的材质应根据所输送介质的物化性质和工作 参数确定，一般可按下列原则选择： (1)酸碱类容器宜采用内衬PTFE、PFA、PVDF或PE等材 质，酸碱管道宜采用内管为PFA、外管为透明PVC的双层套管； （2）有机溶剂类的容器、管路，宜采用低碳不锈钢； （3）管路系统法兰、螺纹连接的垫片，宜采用氟橡胶或聚四氟 乙烯等。

12.4.5本条规定化学品供应设施的容器、管路及其阀门、附件的

12.4.6洁净厂房的化学品供应设施一般是设在辅助生产区内， 为减少对洁净室（区）的污染，在此类设施的容器搬人前应至少将 外表面清洁、擦净；此类容器大部分为静置设备，参照有关静置设 备的安装要求，本条对容器的搬运、安装就位要求和偏差等作出了 规定。

13. 1 一般规定

13.1.1本条明确本章涉及生产设备安装的内容，只包括与洁 厂房施工验收相关的要求，不包括生产设备自身安装验收方面 规定，有关生产工艺设备的安装验收应执行相关的标准规范，如 行国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB 50467

13.1.2由于在许多行业的洁净厂房中都不可避免地有大型或

殊结构的生产工艺设备，这类设备常常需在洁净室的围护结构方 工前进行安装，所以本条规定洁净厂房中生产工艺设备除大型1 备外，一般是在洁净室（区）空态验收合格后进行安装。

13.2.1为使洁净室（区）进行生产工艺设备的安装做到有序和无尘 或少尘作业，并能按洁净厂房内洁净生产管理制度进行安装工作，本 条作出了生产工艺设备安装施工条件的有关规定，其中净化空调系统 已连续正常运行是于分重要的条件，但对不同产品生产用洁净厂房有 不同的要求，如电子工业洁净厂房，由于洁净度要求十分严格，一般要 求净化空调系统连续正常运行48h后才开始安装生产工艺设备。这 些规定应在安装过程中认真执行，并应做好记录，以备核查，

求净化空调系统连续正常运行48h后才开始安装生产工艺设备。这 些规定应在安装过程中认真执行，并应做好记录，以备核查。 13.2.2为使洁净室（区）内生产工艺设备的安装工程做到无尘或 少尘作业，在生产工艺设备搬运、安装过程保护好已“空态”验收的 各项“成品”，在生产设备安装中所使用的材料应不散发（长期、包

13.2.2为使洁净室（区）内生产工艺设备的安装工程做到

少尘作业，在生产工艺设备搬运、安装过程保护好已“空态”验收的 各项“成品”，在生产设备安装中所使用的材料应不散发（长期、包

括正常运行产品生产过程）对产品有害的分子污染成分。本条对 生产设备安装施工用辅助材料作出了有关规定，应予认真执行，并 做好记录，以备核查。 13.2.3本条规定洁净室（区）使用的机具不得搬至非洁净室（区） 使用，非洁净室（区）使用的机具不得搬至洁净室（区）使用，以防止 交叉污染或增加清洁、除尘、消毒灭菌的工作量。 13.2.4、13.2.5这两条对洁净室（区）内的特殊基础的施工和在 洁净室（区）内的墙板、吊顶和活动地板开洞施工作出了有关规定 13.2.6～13.2.8为防止在拆除生产设备外包装、内包装过程和 表面不清洁等对洁净室（区）带来的污染以及在生产设备搬运过程 可能对已经过“空态”验收的洁净室（区）带来不良影响或损坏洁净 室（区）的墙体、地面，条文对拟搬入洁净室（区）的生产工艺设备拆 除包装和搬运设备的搬入、搬运通道以及搬运机具作出了有关规 定，应予认真执行，并做好记录，以备核查。 13.2.9本条对洁净室（区）内的生产工艺设备的就位安装作出了

括正常运行产品生产过程）对产品有害的分子污染成分。本条义 生产设备安装施工用辅助材料作出了有关规定，应予认真执行，关 做好记录，以备核查。

13.2.3本条规定洁净室（区）使用的机具不得搬至非洁净

13.2.9本条对洁净室（区）内的生产工艺设备的就位安装作出 有关规定，以保护相关的地面、活动地板，防止或减少对洁净生 环境的污染。

13.2.9本条对洁净室（区）内的生产工艺设备的就位安装作出了

13.3.1本条规定了洁净室（区）内的生产工艺设备的二次配管配 线施工安装的条件、施工安装要求，二次配管配线的主材、辅材的 选择原则以及制作安装，支（吊）架、引下管线及其附件等的安装， 这些规定是此类安装工程经验的总结，在二次配管配线施工安装 中应认真执行。

13.3.2为防止或减少对已“空态”验收的洁净室（区）的污染， 出了本条的规定。

13.3.3由于二次配管配线直接与生产工艺设备相连接，

没有设置切断装置等，为了设备安全和不因冲（吹）洗、严密性试 造成生产设备损坏或影响其使用性能，作了本条的规定。

14.1.2～14.1.4这三条是根据近年来国内的洁净厂房施工建造 中的工程实践和广泛征求洁净厂房设计、施工、监理和使用单位的 意见，经综合分析研究后作出的规定

14.1.2～14.1.4这三条是根据近年来国内的洁净厂房施工建造 中的工程实践和广泛征求洁净厂房设计、施工、监理和使用单位的 意见，经综合分析研究后作出的规定。 14.1.5本条是根据国内洁净房建造的实际情况，并参照国际 标准《洁净室及相关受控环境第4部分：设计、建设、启动》ISO 14644一4中的有关要求作出的规定。

14.1.5本条是根据国内洁净广房建造的实际情况，并参照国际 示准《洁净室及相关受控环境第4部分：设计、建设、启动》ISO 4644一4中的有关要求作出的规定。

14.1.5本条是根据国内洁净厂房建造的实际情况，并参用

14.2洁净厂房的测试

护结构进行密闭性测试。 14.2.18本条规定了洁净厂房的每项测试均应编写测试报告，并 规定测试报告的主要内容，这是洁净广房工程验收的重要依据，应 认真执行。

护结构进行密闭性测试。

（2）与其他供应商的衔接： （3）公用设施和辅助设备的功能无误： （4）所有控制、监测、警告和报警系统校准； （5）末端过滤器的装配和原地测试； （5）证实空气处理系统的备用能力； （7）测试围护结构有无渗漏： 8)确认循环风与新风的比例与设计规格书相符； （9）设施的表面洁净度和适用性； (10）成套备件。

14.3.7本条规定洁净厂房竣工验收后，应由施工单位编

.7本条规定洁净厂房竣工验收后，应由施工单位编写竣工 报告的主要内容。

（7）必要时，证实并记录气流形式和换气次数。

14.5.1本条规定了洁净厂房的使用验收的占用状态和目的。制 订本条时，参照了国际标准《洁净室及受控环境第4部分：设计、 施工、启动》ISO14644－4中对使用验收的表述：应进行一系列的 测量和测试，确定设施的各个部分都能有效运行，达到空态或静态 所要求的条件。

附录B测试项目的选择和实施顺序

表3洁净室的检测项目和仪器

续表3选择检测检测规选择检测仪器项目和检测项目程参照检测检测仪器备注参照条款实施顺序条款仪器电子微压计C. 5. 1压差测量B. 5斜管压力计C. 5.2机械式压差计C. 5. 3已装过滤器B. 6C. 6检漏线性气溶胶光度计C.6.1.1对数气溶胶光度计C.6.1.2离散粒子计数器（DPC)C.6.2已装过滤系B.6.2和气溶胶发生器C. 6.3统扫描检漏B. 6. 3气溶胶物质C.6.4稀释装置C. 6. 5凝聚核计数器C. 2. 1线性气溶胶光度计C. 6. 1. 1对数气溶胶光度计C. 6.1.2风管或空气离散粒子计数器（DPC)C. 6.2处理机组上的B. 6. 4气溶胶发生器C. 6. 3过滤器检漏气溶胶物质C.6.4稀释装置C. 6. 5凝聚核计数器C. 2. 1示踪剂C. 7. 1热风速计C. 7. 2气流方向与B. 73维超声波风速计C. 7. 3可视检查气溶胶发生器C. 7. 4烟雾发生器C. 7. 4.189

表3中“参照条款”的编号是《洁净室及相关受控环境第

C.1空气洁净度等级测试

D=0.1m时各粒子浓度值小于（1）中规定的限值。这个结 果满足了分级的相关规定，因此可进行95%置信度上限值的 计算。 3）按公式计算总平均值。

x=(926+958+937+963+214)= X3998799.6

取800个/m。 4）按公式计算采样点平均值的标准偏差。 4 取107394个/m3。 S=V107393=327.7 取328个/m3。 5)按公式计算95%置信度上限值（UCL）。单个平均值的数 n=5GB/Z 42007-2022 跨境电子商务交易服务质量评价，则按表选择的分布系数t=2.1。

382 95%UCL=800+2.1 =1108（个/m3) V5

6）所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值，但是 95%置信度上限值的计算表明，该洁净室的空气悬浮粒子洁净度 不符合规定的级别。 本例说明，一个单次采样的限值外低粒子浓度（即第5个采样 点）对95%置信度上限值计算结果的影响。因为空气洁净度未达 标是由于该95%置信度上限值造成的，而这一上限值是由单个的 低粒子浓度值造成，因此应记录、分析造成低粒子浓度的可疑因 素，由相关各方协商认可。 （2）空气洁净度等级计算例2： 被测洁净室（区）面积为1000m²，空气洁净度等级为ISO5级， 规定受控粒子粒径为0.3um（D）、0.5um（Dz）。根据测试结果确 定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。 1)规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围，并符合D2≥ 1.5Di的要求。 2)计算最大允许悬浮粒子浓度： 对大于或等于0.3um的粒子：

Cn = 105 X U. 10176，取10200个/m3 0. 3

对大于或等于0.5um的粒子：

Cn = 105 × V. =3517，取3520个/m² 0. 5

3）按式（C.1.3)计算采样点数量

JGJ／T 461-2019 公共建筑室内空气质量控制设计标准（完整正版、清晰无水印）Vs = 20 X 1000 = 5. 69(L) 3517

选用采样量为28L/min的粒子计数器。这一选择满足：Vs> 2L、Cm>20个/m的要求，其采样时间大于或等于1min。 5）在每个采样点仅作一次采样（28L/min），测试得到的计数 记录见表5：