GB／T 39144-2020标准规范下载简介
GB／T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdfGB/T 39144—2020
氮化材料中镁含量的测定
Q／GDW 11693-2017 抽水蓄能电站有功成组控制和紧急支援功能技术规范国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
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本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中 家半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司。 本标准主要起草人：马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋 倪
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氮化材料中镁含量的测定
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T32267分析仪器性能测定术语
T／CECS579-2019 装配整体式钢筋焊接网叠合混凝土结构技术规程及条文说明、GB/T22461和GB/T32267界定的术语和定义
5.1二次离子质谱仪存在记忆效应，若测试过镁含量较高的样品，仪器样品室内会残留高含量镁，影响 镁含量的测试结果。 5.2仪器型号不同或者同一仪器的状态不同（例如电子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦状 态等），会影响本方法的检出限， 5.3在样品架窗口范围内的样品分析面应平整，以保证每个样品移动到分析位置时，其表面与离子收 集光学系统的倾斜度不变，否则会降低测试的准确度。 5.4样品表面吸附的镁离子可能影响镁含量的测试结果。 5.5测试的准确度随着样品的表面粗糙度增大而显著降低，应通过对样品表面化学机械抛光或者化学 离蚀抛光降低表面粗糙度。 5.6标准样品中镁含量的不均匀性会限制测试结果的准确度。 5.7标准样品中镁标称含量的偏差会导致测试结果的偏差
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扇形磁场二次离子质谱仪（SIMS），应配备有氧一次离子源、能检测正二次离子的电子倍增器、法拉 第杯检测器和样品架。其中，样品架应使样品的分析面处于同一平面并垂直于引出电场（一般5000V 土500V，根据仪器型号的不同而不同）
测试样品的分析面应平坦光滑，表面粗糙度Ra不大于2nm。典型样品的尺寸为边长 10mm的近似正方形，厚度为0.5mm～
将样品装入 人样品平坦地放在窗口背面，并尽可能多地覆盖窗
8.4.1移动样品架，使测试时样品上形成的溅射坑在窗口的中心位置附近。 8.4.2调节氧一次离子束的位置，使其处于分析区域的中心，开始二次离子质谱剖析。首先以第一扫 描面积溅射样品50个～100个磁场周期，直到镁的信号强度稳定。减小扫描面积到第二扫描面积，继 续溅射样品，直到镁的信号强度稳定，
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素"Ga+的离子计数率，对最后20个磁场周期的Mg、Ga+离子计数率的测试结果进行平均并输出 根据24Mg+、69Ga+离子计数率的输出值，计算出二者离子计数率之比。 3.4.4按照标准样品、空白样品、测试样品的测试顺序分别重复8.4.1～8.4.3步骤，对样品架上的样品 进行测试。 3.4.5如果测试的空白样品中的2Mg+离子计数率和"Ga+离子计数率之比超过测试样品的20%~ 50%DB11T 1187-2015 自然保护区珍稀濒危树种监测技术规程，则停止测试，分析造成仪器背景较高的原因