GB/T 40071-2021 纳米技术 石墨烯相关二维材料的层数测量 光学对比度法.pdf

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标准编号:GB/T 40071-2021
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GB/T 40071-2021 标准规范下载简介

GB/T 40071-2021 纳米技术 石墨烯相关二维材料的层数测量 光学对比度法.pdf

ICS 17.180.30 CCS A 50

GB/T 400712021

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DB23/T 2505-2019标准下载本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国科学院提出。 本文件由全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC279/SC1)归口。 本文件起草单位:泰州巨纳新能源有限公司、东南大学、泰州石墨烯研究检测平台有限公司、中国科 学院半导体研究所、哈尔滨工业大学(威海)、冶金工业信息标准研究院、江南大学、华东师范大学、深圳 技术大学。 本文件主要起草人:倪振华、梁铮、丁荣、谭平恒、王英英、安旭红、于远方、李倩、南海燕、吴幸 陈丽琼。

石墨烯相关二维材料(层数不多于10的碳基二维材料,包括石墨烯、双层石墨烯、少层石墨烯、氧化 石墨烯等具有优异的电学、光学、力学、热学等性能,在学术及工业界都引起了人们广泛的兴趣。石墨 希相关二维材料的层数是影响其性能的关键参数。准确测量层数是研究、开发和应用石墨烯相关二维 材料的核心问题。光学对比度法作为一种快速、无损和高灵敏度的测量方法,已经被广泛应用于测量石 墨烯、双层石墨烯、少层石墨烯等石墨烯相关二维材料的层数, 在利用光学对比度法测量层数的过程中,测量结果会受到硅(Si)衬底表面二氧化硅(SiO2)层的厚 度,显微物镜的数值孔径,数据的处理方法等各种测试条件的影响,需要对其进行标准化

GB/T400712021

纳米技术石墨烯相关二维材料的

警示一一使用本文件的人员应该有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安 题。本文件规定的一些试验过程可能会导致危险情况,使用者有责任采取适当的安全和健康措施 正符合国家有关法规规定的条件

本文件规定了光学对比度法(包括反射光谱法和光学图片法)测量石墨烯相关二维材料的层数的仪 器设备、样品准备、测量步骤、测试报告等内容, 本文件适用于利用机械剥离法或化学气相沉积法(CVD:chemicalvapordeposition)制得的晶体质 量高、横向尺寸不小于2um、层数不多于5的石墨烯薄片及石墨烯薄膜的层数测量。其他方法制得的 石墨烯薄片及石墨烯薄膜可参照本文件执行

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注目期的引用文件 日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T30544.13纳米科技术语第13部分:石墨烯及相关二维材料

光学对比度值opticalcontrastvalue 《二维材料》空白衬底区域的反射光强度与衬底上样品所处区域的反射光强度的相对差异,见公

光学对比度值opticalcontrastvalue

C 光学对比度值; I substrate 空白衬底区域的反射光强度; Isample 样品所处区域的反射光强度。 注:衬底上的样品通常为纳米片[例如,石墨烯薄片(3.2)]或纳米薄片[例如,石墨烯薄膜(3.3)】

G通道对比度值Gchannelcontrastvalue

G通道对比度值 Gchannel contrastvalue 绿通道对比度值 《二维材料》利用光学显微图片中空白衬底区域的G通道数值与衬底上样品所处区域的G通道数 值的相对差异来表示的光学对比度值(3.5),见公式(2)

材料》利用光学显微图片中空白衬底区域的G通道数值与衬底上样品所处区域的G通道数 差异来表示的光学对比度值(3.5),见公式(2)

式中: CG G通道对比度值; Gsubstrate 光学显微图片中空白衬底区域的G通道数值; Gsample 一一光学显微图片中样品所处区域的G通道数值。 注1:衬底上的样品通常为石墨烯薄片(3.2)或石墨烯薄膜(3.3)。 注2:红通道(R通道)对应的波长范围约为590nm~720nmCJT496-2016标准下载,绿通道(G通道)对应的波长范围约为520nm~ 590nm,蓝通道(B通道)对应的波长范围约为435nm520nm。

光学对比度法 opticalcontrastmetho 《二维材料》利用光学对比度值(3.5)判

如图1a)所示,(从上至下)由石墨烯薄片或石墨烯薄膜、SiO层、Si层形成一个多层膜结构。由于 二维材料自身的光吸收以及多层薄膜干涉效应的影响,Isample和Isubstrate存在差异,利用公式(1)可计算得 到衬底与样品之间的光学对比度值C。理论计算及实验结果均证明,石墨烯薄片或石墨烯薄膜的层数 不同时,C亦不相同,层数与C存在一一对应关系,因此可利用C判定右墨烯薄片或右墨烯薄膜的 层数。 理论上不同人射光波长下均可以使用光学对比度法。当人射光为连续波长的白光时,反射光强度 的大小依赖于波长。设波长为入时的反射光强度为I(入),则根据公式(3)可得

Isubstrete (入)

波长为入时的光学对比度值。当波长入取一系列连续值时,C(>)也称作光学对比

枣建集团公司明珠花园东区高层 1#楼工程施工组织设计(完整版)GB/T400712021

度谱; substrate(入) 波长为入时,空白衬底区域的反射光强度。当波长入取一系列连续值时,Isubstrate(a)也 称作衬底的反射光谱; Isample(入) 波长为入时,样品区域的反射光强度。当波长入取一系列连续值时,Isample(入)也 称作样品的反射光谱

)多层膜入射、反射、透射

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