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JJF 1965-2022 锡膏厚度测量仪校准规范.pdf

中华人民共和国国家计量技术规范

锡膏厚度测量仪校准规范

房屋建筑楼及地下车库施工组织设计pecificationforSolderPasteInspect

国家市场监督管理总局发布

锡膏厚度测量仪校准规范

归口单位：全国新材料与纳米计量技术委 主要起草单位：广东省计量科学研究院 山东省计量科学研究院 苏州市计量测试院 中国计量科学研究院 参加起草单位：广州计量检测技术研究院 天津大学

IF19652022

JJF1965—2022

本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释

IF19652022

规范主要起草人： 黄敏晗（广东省计量科学研究院） 赵东升（山东省计量科学研究院） 王云祥（苏州市计量测试院） 曹丛 （山东省计量科学研究院） 施玉书（中国计量科学研究院） 参加起草人： 司卫征（广州计量检测技术研究院） 张欣宇（广东省计量科学研究院） 胡晓东（天津大学）

1JF1001《通用计量术语及定义》、JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》、 JJF1094《测量仪器特性评定》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列文件。 本规范参考了JJG818一2005《磁性、电涡流式覆层厚度测量仪》、JJF1306一201 《X射线荧光镀层测厚仪校准规范》的相关内容。 本规范为首次发布

JJF1001《通用计量术语及定义》、JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》 F1094《测量仪器特性评定》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列文件 本规范参考了JJG818一2005《磁性、电涡流式覆层厚度测量仪》、JJF1306一20 【射线荧光镀层测厚仪校准规范》的相关内容。 本规范为首次发布

本规范适用于测量范围不大于600um的锡膏厚度测量仪的校准。

锡膏厚度测量仪校准规范

本规范引用了下列文件： JJF1071一2010国家计量校准规范编写规则 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用 件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范

锡膏厚度测量仪是一种非接触式的测量仪器，利用光学原理快速测量印刷电路板上 锡膏的厚度。它的作用是检测和分析锡膏印刷的质量，及早发现生产过程中的工艺 缺陷。 锡膏厚度测量仪的结构示意图见图1。目前常见的锡膏厚度测量仪按照测量的原 理，可分为激光三角测量法和莫尔轮廊测量法

4.1厚度测量示值误差。

图1锡膏厚度测量仪的结构示意图

温度：（20土5）℃。 相对湿度：≤75%。

5.2测量标准及其他设备

可根据仪器测量范围和实际使用情况选用不同的标准台阶块，校准时推荐使用的标 准台阶块的结构和规格见附录A，标准台阶块应确保表面洁净，避免划痕、腐蚀和 氧化。 标准台阶块高度值的扩展不确定度应不大于1.0um（k=2），或不大于被校仪器的 最大允许误差的1/3。

校准前，需确保仪器处于正常的工作状态及没有影响校准计量性能的因素后方可进 行校准。标准器和被校准仪器的等温时间应符合仪器说明书的要求（如说明书无要求， 应不少于30min）。 首先按使用说明书对被校仪器进行参数设置，必要时进行系统调校。在被校仪器的 有效测量范围内选择不少于3个校准点，选取相应高度的标准台阶块。在每个标准台阶 决的有效区域内，分别在同一测量区域重复测量10次并记录仪器示值，计算10次示值 的算术平均值h，作为第i个标准台阶块的测量结果，根据公式（1）计算仪器厚度测量 的示值误差，根据公式（2）计算实验标准偏差S；，作为第i个校准点的厚度测量的重 复性。

8一 使用第i个标准台阶块时的仪器示值误差，um； 使用第i个标准台阶块时的仪器示值平均值，um； H: 第i个标准台阶块的校准值，um

h：—第i次测量的仪器示值，um； h——10次测量的仪器示值的算术平均值，um。

经校准的锡膏厚度测量仪出具校准证书。校准证书包括的信息应符合JJF1071 10中5.12的要求

由于复校时间间隔的长短是由锡 仪的使用状况、使用者、设备本身质量 等诸因素所决定的，因此，送校单位可根据仪器实际使用情况自主决定复校时间间隔。 建议复校时间间隔一般不超过1年。

标准台阶块的三维示意图如图A.1所示，剖面图如图A.2所示。

标准台阶块的结构与规格

图A.1标准台阶块的三维示意图

2标准台阶块的部面图

台阶面积一般应不小于1mm²。建议使用的高度H见表A.1。锡膏厚度测量仪要 求被测面不能为镜面反射，故标准块的台阶面和基准面应进行哑光处理

个面积一般应不小于1mm。建议使用的高度H见表A.1。锡膏厚度测量仪要 面不能为镜面反射，故标准块的台阶面和基准面应进行哑光处理。

表A.1建议使用的台阶高度H

校准时，应根据被校仪器的有效测量范围和客户的使用情况选用适当的 阶块

示值误差不确定度的评定示例

锡营厚度测量仪的示值误差是用标准台阶块进行校准的，根据实际测量应用范围和 条件的不同，设定好相关的测量程序和条件，并按要求进行必要的仪器预校准后再进行 测量。本次评定以分辨力0.1um的锡膏厚度测量仪，测量148.7um的标准台阶块 为例。

——示值误差，μm h——仪器示值的平均值，um； H标准台阶块的校准值，um

B.3不确定度传播公式

1, C2=H u1、u2分别表示h和H的标准不确定度，因h和H的标准不确定度不相关，则合 成标准不确定度u。为：

u2分别表示h和H的标准不确定度，因h和H的标准不确定度不相关，则合 不确定度u为：

B.4标准不确定度分量的计算

u=Z(c? ·u)=ui+u

锡膏厚度测量仪的测量重复性引入的不确定度分量可以通过10次重复连续测量得 到，测量结果为148.0μm、148.5μm、149.0μm、147.5μm、147.8μm、148.0μm、 147.9um、148.3um、148.6um、148.4um，计算单次实验标准偏差为：

测量时采用10次重复测量结果的平均值，

0.44μm =0.14μm ( 11 = /10

4.1.2锡膏厚度测量仪分辨力引入的标准不确定度分量u12

4.1.2锡膏厚度测量仪分辨力引人的标准不确定度分量u12 锡膏厚度测量仪分辨力为0.1um，其量化误差引起的标准不确定度分量为均匀 ，则

u12可以忽略不计，故u=0.14un

3.4.2标准台阶块引人的标准不确定度

JIF19652022

0.1 μm =0.03μm 12 2X./3

标准台阶块引人的不确定度主要来源于标准台阶块的高度测量结果不确定度，可根 据校准证书给出的扩展不确定度来计算。 由标准台阶块的校准证书测量结果的扩展不确定度U=1.0um，k=2科技文化创意产业园项目商业策划、建筑规划设计及工程设计招标文件.pdf，则

B.5标准不确定度一览表

锡膏厚度测量仪校准时的标准不确定度一览表见表B.1。

u2=1.0μm/2=0.5μm

B.6合成标准不确定度

GB∕T 38553-2020 工业锅炉系统节能管理要求B.6合成标准不确定度