标准规范下载简介
T∕CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片.pdfICS 31.140 L 21
T/CEMIA 0062018
DB63／ 958-2011标准下载zcrystalresonatorforfilmthickness
中国电子材料行业协会 发布
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本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。 本标准主要起草单位：唐山万士和电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司、唐山国芯晶源电子 有限公司、北京晨晶电子有限公司、江苏省东海硅产业科技创新中心。 本标准主要起草人：王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔
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本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包 装、运输、贮存的要求， 本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T191一2008包装储运图示标志 GB/T2421.1一2008电子电工产品环境试验概述和指南 GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样 计划 GB/T3352一2012人造石英晶体规范与使用指南 GB/T12273.1一2017有质量评定的右英晶体元件第1部分：总规范 SJ/Z9154.3一1987利用有并电容C。补偿的元网络相位法测量频率高达200MHz的石英晶体元 件两端网络参数的基本测量方法 RoHS指令/2011/65/EU关于在电子设备中限制使用有害物质的欧盟议会和欧盟理事会第2011 65/EU号指令
产品标记方法应符合以下规定：
示例：W14Au01代表直径为13.97mm、铬金电极、双面满电极图形石英晶振片。
5.1人造石英晶体材料
用于制造产品的人造石英晶体材料应符合GB/T3352一2012，其中： a）包裹体密度≤3级； b) 红外质量级别≥C级（Q值≥180万）； c） 腐蚀隧道密度≤3级（≤100条/cm）
产品结构和外形尺寸公差见图1～图4
注：图中阴影中部分为电极，其材料为金（Au）、银（Ag)或银铝（AgAI)，由具体型号确定
图1W14YY01型石英晶振片外形尺寸
图2W14YY02型石英晶振片外形尺寸
的性能参数应满足表1
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图3W12YY01型石英晶振片外形尺寸
图4W12YY02型石英晶振片外形尺寸
T/CEMIA 006—2018表1(续)项目要求谐振电阻/α≤15≤20并电容/pF01型≤31,02型≤19品质因数/Q>125 k实际频率可在标称频率范围内土50kHz选用。5.4激励电平相关性石英晶振片的激励电平相关性应满足表2的规定，表2激励电平相关性R序号谐振电阻/α1<5≤525~10≤2.0310~20≤1.8420~35≤1.5注： R.低激励电平下测得的谐振电阻，Rz2高激励电平下测得的谐振电阻。5.5无用响应石英晶振片的无用响应满足表3的规定。表3无用响应测量条件与要求扫描范围扫描点数电阻比值要求f。～f。+500kHz≥250>25.6外观质量崩边小于0.1mm，无刀痕、划痕、裂纹、炸口、附着粉、阴阳面、印痕、水印、花斑、油污、污染物等缺陷。6试验和测量方法6.1一般规定试验条件应满足GB/T2421.1一2008中5.3的规定a)温度15℃~35℃；b)相对湿度45%~75%；c)气压86kPa~106kPa(860mbar~1060mbar)。4
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按GB/T12273.1一2017中4.7.2的规定进行
按GB/T12273.12017中4.7.5的规定进行
按SJ/Z9154.3一1987规定的方法进行
按SJ/Z9154.3一1987规定的方法进行
采用非接触测量，测量工具的选择应保证产品尺
用5～10倍放大镜在日光灯下测量裂纹、炸口、崩边，在强灯光下目检破碎、附着粉、阴阳面、污染 快陷。
等效测量方法，但在出现争议时以本标准规定的测
检验分为逐批检验、鉴定检验和周期检验
检验批由同一条件下生产的同一型号、同一规格且一次提交检验的产品组成
7.2.2检验项目顺序与分组
逐批检验项目与顺序按表4的规定进行
7.2.3抽样与检查水平
被检验样品有任意1项不符合表1要求的判定为样品不合格。 本批产品不合格样品数达到和超过表4和GB/T2828.1一2012规定的允许不合格数则判定本批 产品为不合格批。
经逐批检验不合格的检验批，经100%测试剔除不合格品后，允许再次提交检验，但应按 GB/T2828.1一2012规定的转移原则转人加严检验
7.3鉴定检验和周期检验
新产品试制定型前进行鉴定检验；检验要求同周期检验。 有下列情况之一时，应进行周期检验： a）材料或工艺变更后； b）生产设备大修或更新后； 停产超过3个月，再次恢复生产时； d）正常生产时.每6个月进行一次
的样品应从本周期生产并经逐批检验合格的产品
7.3.3检验项目、顺序与分组
白云新机场1、3号灯光变电站施工组织设计鉴定检验和周期检验的检验项目、顺序、分组、样品数、合格判定按表5的规定进行
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表5鉴定检验和周期检验项目
按同一产品规格和标称频率划分代表组进行周期检验
春风西路破路施工方案8标志、包装、运输、购存
在产品包装标签上应印有以下内容： a）公司标志： 产品型号，按4.2格式进行标记； c）生产批号。
在产品包装标签上应印有以下内容： a）公司标志； b）产品型号，按4.2格式进行标记； c）生产批号，