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DB32／ 3747-2020 半导体行业污染物排放标准

半导体行业污染物排放标准

Emission standard of pollutants for semiconductor industry

江苏省生态环境厅 发布 江苏省市场监督管理局

1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4水污染物排放控制要求 5大气污染物排放控制要求 6污染物监测要求 7达标判定 8标准的实施与监督

1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4水污染物排放控制要求 5大气污染物排放控制要求 6污染物监测要求 7达标判定， 8标准的实施与监督

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与 监督等相关规定。 本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。 本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排 污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本标准根据GB/T1.1起草。 本标准为首次发布。 本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。 本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与 监督等相关规定。 本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。 本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排 污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本标准根据GB/T1.1起草。 本标准为首次发布。 本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。 本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准

半导体行业污染物排放标准

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与 监督。 本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业排污许可 管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。 半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时，污水集中处理 设施的水污染物排放管理也适用于本标准，

下列术语和定义适用于本标准。 3.1 半导体企业semiconductorindustry 从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。 3.2 现有企业existingfacility 指本标准实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。 3.3 新建企业newfacility 指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目 信息服务平台 3.4 直接排放directdischarge 指排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。 3.5 间接排放indirectdischarge 排污单位向污水集中处理设施排放水污染物的行为。 3.6 污水集中处理设施concentratedwastewatertreatmentfacilities 为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施，包括各种规模和类型的城镇河 集中处理设施、工业集聚区（经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区 污水集中处理设施，以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施等。

温度为273.15K、压力为101325Pa时的状态。本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标 下的于气体为基准。

企业边界enterpriseboundary 指半导体工业企业的法定边界。若难以确定法定边界DBJT 15-169-2019 装配式市政桥梁工程技术规范，则指企业的实际占地边界

4.1水污染物排放限值见表1。 4.2企业向城镇污水处理厂排放废水时，其第二类水污染物排放应达到表1中间接排放限值；废水进入 具备处理此类污水工艺和能力的集中式工业废水处理厂的企业，其第二类水污染物排放可与集中式工业 污水处理厂商定间接排放限值，并签订协议报当地环境保护主管部门备案。企业与集中式工业废水处理 商定的间接排放限值，不得宽于《污水综合排放标准》中规定的接管限值。未签订协议的企业，其筑 类水污染物执行表1中的间接排放限值。 4.3在国土开发密度高、环境承载能力开始减弱，或水环境容量较小、生态环境脆弱，容易发生严重水 环境污染问题而需要采取特别保护措施地区的企业，根据生态环境保护工作要求，执行表1规定的特 别排放限值。 执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间，由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定

表1水污染物排放限值

表2单位产品基准排水量