标准规范下载简介
GB／T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性.pdfICS 13.040.35 CCSC70
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Part 15:Assessment of suitability for use of equipment and materials by airbornechemicalconcentration
本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求JGT292-2010 洁净工作台，提供了指南。 本文件不适用于以下内容： 健康和安全要求； 清洁剂及清洁技术的相容性； 清洁性； 生物污染； 工艺和产品对设备和材料的特定要求； 设备的设计细节。
最大载气量breakthroughvolume
特定温度下，可从采样装置抽取的、不产生分析物损失的最大吹气
3.4 化学污染物chemicalcontamination 危害产品、工艺、设备的非颗粒物质。 [来源：GB/T25915.8—2021，3.1.1] 3.5 洁净度cleanliness 污染物浓度控制在一定限值以内的状态。 3.6 洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度 等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。 注3：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。 [来源：GB/T25915.1—2021,3.1.1] 3.7 洁净室适用性cleanroomsuitability 对目标洁净区，维持关键受控参数或工况的能力。 注1：本部分基于空气中化学物浓度来评估。 注2：本定义是指设备和材料的使用。 [来源：GB/T25915.14—2022，3.3，有修改] 3.8 洁净区cleanzone 空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行使进人、产生和滞留于空间的粒子 受控。 注1：空气悬浮粒子浓度的级别已确定。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度 等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，做出规定并进行控制。 注3：洁净区可以是限定于洁净室内的空间，也可用隔离装置实现。隔离装置既可设在洁净室内也可在洁净室外。 注4：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。 [来源：GB/T25915.1—2021,3.1.2] 3.9 受控区controlledzone 以减少污染物引人和影响的方式来建造和使用的特定空间，其空气中的和表面上的污染物（粒子、 化学物、生物）浓度已受控和分级。 注1：按空气中化学物、生物等其他物质浓度划分洁净度，或按表面粒子、化学物、生物浓度划分洁净度。 注2：温度、湿度、压差、振动、静电等其他物理参数，可根据必要而受控。 注3：受控区能位于洁净室内，或通过隔离装置来实现，该装置可位于洁净室内或外。
本文件所使用符号见表1。
闭式系统需要一个受控的载气供气系统和一个设置于采样装置后的流量计。载气流量应使用 空制。采样泵设在流量计之后
闭式系统需要一个受控的载气供气系统和一个设置于采样装置后的流量计。载气流量应使用阀门 控制。采样泵设在流量计之后
5.3闭式设计特殊应用
图2闭式设计特殊应用
此检测装置适用于有平滑表面的材料样品。试验场和材料样品的接触面应密封良好。 获取背景数据时，能使用与舱壁具有相同化学清洁水平的玻璃或不锈钢板替代检测材料 开式设计
此检测装置适用于大型设备和运行中的设备。它通常是指洁净室或受控区，载气为空气。化学过 滤、新风和背景释放会影响本检测装置的性能。通过检测环境的部分载气作为采样气体。剩余过量载 气通过排风释放（检测环境泄漏和通过空调通风系统排放）。
应在定量评定前后对表面洁净度进行目视检查定性评定，但定量评价不能被取代。目视检查宜关 注生产、包装、运输或设备安装时非故意引人的化学物。 目视检查宜记录并可与后续目视结果比较。目视检查结果可作为直接重复或改进设备净化过程的 基础，或用来更换材料样品的依据。 目视检查不能作为测量样品洁净度的手段。
目视检查时应确认所有包装已拆除，设备未受损且正确组装、并与必需的公用设施连接。 检查工作应识别源自清洁处理后残留的、源自生产、包装、运输或初始安装的诸如粒子和保护膜的 污染。 设备的可见污染物检测效率取决于以下因素： 被观测表面介人的难易与朝向； 设备制造所采用的材料、表面状况与表面处理； 视觉参数（如照明、视觉范围、视觉放大、观测距离）
必要的采样和分析流程如下
e) 记录流量和采样时间。 美 在达到预定采样时间后关闭载气，从采样装置中取出样品送交分析。 g) 1 分析样品，得到背景质量。 h）将待测对象放置于检测环境并按代表性模式运行。 i) 进行下一步前，至少流通3倍于检测环境容积的载气，记录时间。 j) 记录流量和采样时间。 k)安 安装采样装置，通人载气并按规定采样时间运行，记录采样时间。 D 达到预定采样时间后关闭载气，取出采样样品并进行分析。 m）样品分析，得出释放污染物的量。 宜根据使用的分析方法，考虑合适的质量控制措施。
根据检测分析所得的质量m、采样流量F和采样时间t,考虑各参数的不确定度施工组织设计30讲，使用公式(1)和 2)计算浓度值：
P。= F。.to h。 mb Pb= Fb·t
检测对象的特定释放速率q。依据质量m。和m。及采样时间t。和特定指标x来计算，检测到的任 何背景质量都应扣除。 采样值质量不应低于背景质量值的10倍。若无法满足，则应按公式(3)选择试验参数、采样及检测 设备
4。 检测对象的特定释放速率，单位为克每平方米秒[g/（m²s)]或克每台秒[g/（台·s)］； m。 含检测对象时采样检测环境释放的污染物总质量，单位为克（g)； mh 无检测对象时采样检测环境释放的污染物总质量，单位为克（g）；
目标测量时的采样时间，单位为秒(s)； 检测材料面积或检测设备数量，单位为平方米或台（m²或台）。 应指明评定特定释放速率的化学物或化学物组分
10.2特定释放速率的计算—开式设计
检测对象的特定释放速率q。依据计算浓度p。和p，检测环境的容积V,检测环境换气频次n虹桥国际机场扩建能源中心工程土方专项施工方案，与 检测材料面积或检测设备数量来计算。应扣除背景质量。 检测目标污染物的质量至少为背景质量的10倍。若无法满足，则需重新考虑试验参数以及采样或 测量设备。按公式（4)计算9。：
特定释放速率可用于评估受控区对化学物浓度空气洁净度等级（ACC)的影响。它既适用于已建 成设施，也适用于处于设计中的洁净室或受控区。评定受控区及所需考虑参数见图4。 注：化学过滤的效率随时间变化。