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GB／T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdfICS 13.040.35 CCSC70
CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
.............. 范围 规范性引用文件 术语和定义 评估大纲 目视检查… 悬浮粒子浓度测量的适用性评估 8设备的洁净室适用性的表述 ·10 附录A（资料性）测试数据处理示例… 11 附录B（资料性）可选测试… 参考文献
卸料平台搭设与拆除安全技术交底书第14部分：按粒子浓度评估设备适
下述术语和定义适用于本文件。 3.1 洁净度cleanliness 污染物浓度控制在一定限值以内的状态。 3.2 洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度等 级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。
下述术语和定义适用于本文件。 3.1 洁净度cleanliness 污染物浓度控制在一定限值以内的状态。 3.2 洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度等 级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。
实际测试评估前后，都应对设备进行目视检查。 目视检查应确认所有的外包装已去除，设备未损坏，且设备已正确组装，必要的动力设施已联接 位。 应对表面洁净度进行定性评估，这个过程中应严格进行下述定性测试。这部分目视检查包括对颗 立物、表面保护膜或异常出现的润滑剂进行评估。 目视检查的目的如下： 1 识别生产、打包、运输或刚开始组装过程中产生的颗粒物及保护膜等污染物； 识别前期清洁过程未去除的污染。 目视检查的目的不是测量表面洁净度。 根据污染所处的位置不同，对目视检查的结果应有以下要求： 一 测试后对表面洁净度进行目视检查，做好记录并进行对比； 为重复开展或持续改进清洁工艺提供基础。 对设备表面可见污染的检测效率，取决于下列因素： 被检表面的可接近程度及其朝向； 设备制造所采用的材料、表面状况与表面处理； 视觉参数（如照明、视觉范围、视觉放大、观测距离）。
6悬浮粒子浓度测量的适用性评估
本章的目的是通过在洁净室内设备的悬浮粒子高浓度（HPC)位置或附近设置测点，提出测量悬浮 粒子释放速率的一种合适方法。 该评估方法与GB/T25915.1规定的一个或多个粒径档对应的空气洁净度分级系统建立关联。 为了评估设备在洁净室中的适用性，需要识别设备散发HPC的位置，最终的适用性测试包含设备 散发HPC位置。因为事先不知道释放粒子的粒径分布，所以要求测量多个粒径范围。宜选择3个传 播范围较广的粒径档。 由设备评估得到的粒子浓度与GB/T25915.1规定的洁净度等级对应的粒子浓度限值相比较。 对需要测试的设备，应确保其已经符合洁净室设计原则。这些原则包括但不局限于下列方面： 一选择合适的材料及表面镀层； 一一无气流死角； 1 便于清洁； 维护方便。 本测试方法手用于确定神测设名的粒子总聚妆南
图1给出评估所需的基本步骤。
当确定适用性评估的范围时，需考虑影响评估结果的各个方面，例如（但是不局限于）： 同种设备之间的差别； 被测设备的预处理（累计运行时间）； 设备的磨合期。 测试之前应确认测试环境（见6.2.4与6.2.5）。
当确定适用性评估的范围时，需考虑影响评估结果的各个方面，例如（但是不局限于)： 同种设备之间的差别； 被测设备的预处理（累计运行时间）； 设备的磨合期。 测试之前应确认测试环境（见6.2.4与6.2.5）。
6.2.3代表性运行模式
应明确设备代表性的运行模式，确保能探测到粒子的释放源。运行模式应能反映设备便 设备在不同状态下运行时，应确定所采用的评估状态。测试前应确认设备运行参数
角设备代表性的运行模式，确保能探测到粒子的释放源。运行模式应能反映设备使用目的。 状态下运行时，应确定所采用的评估状态。测试前应确认设备运行参数
6.2.4测试环境的选取
应采用标准程序；若无标准程序，应记录好所选择
待评估设备安装前，应明确测试目的并选择测试环境。 在多个测试平面中进行全部或部分前期测试时，宜增加测试平面的示意图。 测试方法和设备，能符合GB/T25915.1和GB/T25915.3的要求，并考虑下列要求： 悬浮粒子浓度：测试环境的空气洁净度等级至少优于其应用目标等级一个级别（由 GB/T25915.1确定）； 垂直风速：0.3m/s~0.5m/s； 温度：18℃~25℃； 相对湿度：30%～70%。 其他前期测试能包括下列项目： 气流流向可视化测试； 静电和离子发生测试； 粒子沉降测试。 应将考虑的结果用于确定测试环境（见6.2.5）。
6.2.5测试环境的确定
测试环境的ISON级至少优于其应用目标等级一个级别（由GB/T25915.1确定）。 注：ISO1级设备的适用性测试可在ISO1级环境中进行。 除了设备本身作为尘源之外，测试环境中不应有其他尘源，以避免影响测试结果。这能通过采用单 向流来实现。
6.2.6HPC位置的初步
对于有运动部件的设备，不同部位产生的粒子浓度经常有很大的差异。 适用性评估测试应包含并确定HPC位置。评估应包含运动部件、动力设施、设备接口等。 注：运动部件的数量能影响初步识别的HPC位置数量。 识别HPC位置时，若影响采样安全，可调整采样探头的距离和位置。 应采用光散射粒子计数器（LSAPC)对设备进行全面扫描，来初步识别HPC位置。宜采用采样探 头扫描包括设备占据的整个区域。当用LSAPC的采样探头扫描设备时，可识别HPC位置。根据所使 用的不同型号LSAPC，可用可视化或声音的方式来识别HPC位置。应选择合适的采样时间，以正确识 别HPC位置。 本评估宜包含之前识别的污染源。 粒子污染源初步识别的结果是定性的。
6.2.7HIPC位置的精确识别
初步识别HPC位置后，使用采样流量至少为28.3L/min、采样探头开口面积为20cm²的 LSAPC，精确定位HPC的位置。测量过程中，通过调整LSAPC采样探头的位置，可优化HPC位置的 识别过程。应记录采样探头位置。根据6.2.6初步识别的每个HPC位置，重复此步骤。 注：测点位置的数量受到运动部件数量的影响。
应选择6.2.7确定的粒子高浓度HPC位置进行适用性测量。至少选择1个HPC点。能增加特别
6.2.9.1一般规定
应使用下述步骤，对6.2.8获得的粒子浓度数据进行处理。 由6.2.8获得的特定粒径档的粒子浓度数据进行统计分析。当单次测量的均值>10.000时，应使 用步骤a）（见6.2.9.2）。当测量的均值z≤10.000时，应使用步骤b）（见6.2.9.3）
6.2.9.2步骤a)
使用公式(1)计算粒子数量的均值：
式中： 工 一一均值； 7 采样数； ,—粒径档的第n个单次测量读数。 使用公式（2)计算标准偏差：
置信度（1一α）=95%时的置信上限；
工 一均值； 一一标准偏差； 1.66一t分布系数。 注：置信度（1一α)=95%、100个测试数据的置信上限对应的t分布系数t=1.66。 应使用公式（4)计算值：
GB／T 38887-2020 球形石墨6.2.9.3步骤b)
若测试结果的均值z≤10，则使用表1泊松分布来确定置信上限。 粒子浓度的均值按公式(1)计算。
表1步骤b)中的置信上限
注：基于95%置信度的泊松分布。
P。将用于6.2.10中的评估。 注：具体示例参见附录A。
《珠海市绿色建筑工程验收导则》.pdf6.2.10基于GB/T25915.1分级体系的评估
包含适用性测试可复现的所有信息。 包括下列章节推荐的信息。可添加进一步相关的