JC／T 2201-2013标准规范下载简介

JC／T 2201-2013 镀膜玻璃用靶材

ICS81.040.10 Q 33 备案号：42055—2013

中华人民共和国建材行业标

GB/T 42175-2022 海洋石油勘探开发钻井泥浆和钻屑中铜、铅、锌、镉、铬的测定 微波消解-电感耦合等离子体质谱法Targets for coated glass

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起章， 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国建筑用玻璃标准化技术委员会(SAC/TC255)归口。 本标准起草单位：中国建筑玻璃与工业玻璃协会、上海贺利氏工业技术材料有限公司、贝卡尔特（江 阴)镀膜工业有限公司、中国南玻集团股份有限公司、常州亚玛顿光伏玻璃有限公司、上海子创镀膜技 术有限公司、北京安泰科技有限公司、东莞市欧莱溅射靶材有限公司、北京星星原特种材料技术开发有 限公司。 本标准主要起草人：温艳玲、张佰恒、李会、蘭裕平、许武毅、夏黎海、潘庆春、姜海、赵子东、 文宏福、林金锡、丁孝昌。 本标准为首次发布。

：本标准规定了镀膜玻璃用靶材的术语和定义、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、 俞和贮存等。 本标准适用于建筑用真空磁控溅射镀膜玻璃使用的靶材，其他键膜玻璃用靶材可参照使用

：本标准规定了镀膜玻璃用靶材的术语和定义、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、 运输和贮存等。 本标准适用于建筑用真空磁控溅射镀膜玻璃使用的靶材，其他镀膜玻璃用靶材可参照使用

JC/T 22012013

4.1按溅射面的形状，靶材可分为旋转靶材（柱状靶材）、平面靶材和异型靶材。 旋转靶材有直靶和骨状靶两种形状； 平面靶材包括矩形平面靶和圆形平面靶； 异型靶材为不规则溅射面的靶材。 4.2按靶材的主要成分，可分为金属靶材和非金属靶材。其中，非金属靶材包括氧化物靶材和非氧化 物靶材。 4.3按靶材的成型工艺，可分为熔铸靶、喷涂靶和粉末冶金靶。 4.4按靶材的支撑结构型式，可分为有村管/衬板型和无衬管/衬板型（ 感体型两超

表1常用靶材的化学成分

5.1.2特殊成分的靶材由供需双方协商确定。

5.2.1熔铸靶材的相对密度应大于98%。

5.2.4镀膜玻璃用各种靶材的最小密度和相对密度见表2

5.2.4镀膜玻璃用各种靶材的最小密度和相对密度见表2

表2镀膜玻璃用靶材的密度

靶材的表面质量应符合表3的规定

.4.1靶材内部应无夹杂，无孔径大于2mm的孔洞。 5.4.2粘结靶材的有效粘结面积应大于靶材和村管/村板接触面积的90%。

5.5.1靶材包括村管/衬板，应符合图纸所规定的尺寸公差和形位公差等

JG／T 160-2017 混凝土用机械锚栓表4旋转靶材的尺寸要求

5.5.3平面靶材的尺寸要求见表5。

表5平面靶材的尺寸要求

5.6氧化物靶材的失氧率

氧化铟锡（In2O3:10wt%(SnO）靶材的失氧率不大于 氧化钛（TiOx）靶材的失氧率不大于13%

GB 51427-2021 自动跟踪定位射流灭火系统技术标准.pdf5.7氧化物靶材的电阻率

按照表1规定的元素种类检验。表1所列靶材的化学成分检验标准见表6

表6靶材材料及其化学成分检验标准对照表