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GB／T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

ICS 13.040.35 cs C 70

主华、张玉华、明飞平、程北川、于天、朱吉兴、邹再彬。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为： 2010年首次发布为GB/T25915.2—2010； 本次为第一次修订。

（与根据粒子浓度确定的空气洁净度相关）证据。 在某些情况下，相关监管机构可以提出增补政策、要求或者限制条件。在这些情况下，监测程序可 能需要适当的调整。在最初的监测计划得以确定并实施之后，当安装或者工艺要求发生显著变更时，可 能需要修改监测计划，同时，基于获得的数据和使用经验，谨慎地定期审核监测计划

（与根据粒子浓度确定的空气洁净度相关）证据。 在某些情况下，相关监管机构可以提出增补政策、要求或者限制条件。在这些情况下，监江 能需要适当的调整。在最初的监测计划得以确定并实施之后，当安装或者工艺要求发生显著变 能需要修改监测计划。同时，基于获得的数据和使用经验，谨慎地定期审核监测计划。

第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影 响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。 本文件适用于粒径0.1μm5μm粒子浓度的监测。 本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子（小于0.1μm的粒子)浓度的监测，将 在另一个标准中规定，

4监测计划的制定、执行及持续改进

风险评估是识别出危险并对接触危险的风险进行分析和评估的系统性过程， 风险评估应实现以下目标： 确定可能影响洁净室或洁净区保持其空气洁净度能力的因素（该洁净度是按粒子浓度划分 的），从而制定出监测计划； 确定可证明性能的监测要求。 风险评估考虑事项见附录A

4.3.1监测计划应考惠风险评估的结果。 制定监测计划时，应至少包括4.3.2～4.3.13中所述的要素。 4.3.2列出所有要监测的参数并证明其合理性，包括可能影响空气中粒子浓度的参数。 4.3.3 说明测量方法并证明其合理性，对制定监测计划需要考虑的事项见附录A。 4.3.4 监测仪器的准确度、维护、校准。 4.3.5标识所选监测位置并说明合理性。监测位置应用三维坐标描述。 4.3.6对监测合格的标准或限值的识别与其合理性，包括设定单个报警值GBT 39622-2020 挖泥船重力抓斗.pdf，或设定预警值、干预值两个 报警值，但至少要设定干预值。设定预警值可给出性能偏离的早期预警。预警值、干预值的设置见附 录B。 4.3.7数据超出规定限值的应对措施的技术要求。 4.3.8按GB/T25915.1一2021中5.1的规定定期划分洁净室或洁净区空气洁净度（按粒子浓度）的需 要与频度。

4.3.9数据记录格式。