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GB／T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf

除表面质量浓度（g/m）外， 合物表面数量浓度的单位，如 积有机分子数（分子数/m），或单 原子数C/m）

购可按公式（A.1)～公式（A.3）转换为原表面质量

M[g/mol] （A.1) M[g/mol] N[原子数C/分子］ N.[分子数/mol] .（A.2) X M [g/mol] ..(A.3) N.厂原子数C/分子

式中： d一—有机化合物浓度TB∕T 10431-2019标准下载，单位为克每立方米（g/m）

表A.4依据LB膜的单层浓度

图A.1～图A.4分别说明如何将表面数量浓度单位（分子数/m"或原子数C/m"）换算为以碳 ）或整个化合物（g/m）表示的表面质量浓度单位

图A.1常见有机物表面质量浓度单位（g/m² 与表面分子浓度单位（分子数/m）之间的关系

以碳原子数量表示的常见有机物表面质量浓度 （原子数C/㎡）之间的关系

数量表示的表面原子浓度，单位为原子数每平方米（原子数/m"）或原子数每平方厘米（原子数/cm*）；

数量表示的常见物质表面质量浓度单位（g/m） （原子数/m²）之间的关系

详细测量方法另见附录D

附录C （资料性） 洁净度评定的基本要素

附录D （资料性） 按化学物浓度测试表面洁净度的方法

为获得表面洁净度的定量信息，应选择合适的测量方法。某些情况下无法判明表面的定量信息 可能获得定性信息。但定性信息不适用于按化学物浓度对表面洁净度分级。

D.1.2测量分析示意图

图D.1为按化学物浓度分析表面洁净度的示意图

图D.1按化学物浓度分析表面洁净度的示意图

化学物浓度分析表面洁

可测量不同类型污染物，以及适合于微粒子的测量

图D.2主要测量方法适用范围

图D.2主要测量方法适用范围

D.2按化学物浓度测量表面洁净度

作为表面洁净度评估和分级的可 量标准，宜确定所附着的全部化学物的量和种类

D.2.2测量方法规定

按待测表面的特征和特性选择测量方法。要点如下： a 有关化学性质及化学耐受性方面的信息（例如材料、浓度）； b) 直接测量的位置（直接实时测量仪，如SAW仪）； c） 间接测量的位置（间接分析测量仪，如SEM样本托）； 测试速度及测试工作量（即：使用随机采样或系列测试）； e) 灵活性（即：该方法是否可快速地应用于不同部件的各种表面）； 测试过程对表面没有或有极少改变（即：受测表面被清洗液润湿后没有变化）。 根据D.2.2中要点a)至f)，D.2.3中描述的测量方法能够针对每种应用进行分类和限定，

D.2.3直接和间接测量法

按化学物浓度对表面洁净度进行评定时，最好是用选定的测量仪对表面进行测量。原则上可使用 下列方法测量表面洁净度： a）直接法； b）间接法，也可包括预处理方法。 一般优先考虑无需预处理的直接法。直接法的测量工作一般都较容易，差错也较少，其给出的结果 比间接法更具再现性。然而，因部件的原因或因复杂件采样的可行性问题，间接法常常是测定表面化学 物浓度的唯一选择。

D.2.3.2采集方法

D.2.3.3剥离方法

可按图D.3使用湿法或十法采集并分析全样本”的污染程度。 沉降样本可采用相同的方法获取，用带表面活性剂的水溶液或用有机溶剂将污染物提取出，再将待 分析物放人适当的测试系统进行间接测量。如采用“干法”进行评定，则将材料做成大小适当的切片，直 接放人仪器测量。 第三种方法一提取样本，需要将污染物转移至可以直接放入仪器测量的胶带或SEM的样本托 上。该方法使用低黏度胶，将胶带或样本托置于受测表面上，使其紧紧地接触薄膜。然后将胶带或样本 托置于洁净、密封的运输袋内运至实验室。当拿取样本时，要使用无析出物的洁净室手套。根据所使用 的提取方法及污染物的形式，可将物理采集的样本直接放人分析仪，也可采用化学方法或热方法再对其

D.2.4测试样本的包装

D.2.4.1化学分析样本的包装

D.2.4.2拆除包装

a）宜在即将进入受控环境时，拆除外袋； b）进入受控环境前，不宜拆除内袋。 c）处置内袋时，宜穿着全套洁净服，包括头罩和面罩； d）检测样本时，宜穿戴新的或经洗涤的工腊橡胶或乳胶手套

D.2.6测试方法对明

下列表格仅具指导作用，它既不完整也不全面。表D.1列出了直接法，表D.2列出了可包括预 中间接法。

和测定（定量）。依据“X”的过程进行分级。“Y”描述附加功能，如质谱法对每个色谱峰值的灵敏度可用 于补充定量分析。对“X”的进一步说明，也可标明定性时每个峰值的质量色谱图或质谱等信息。

表D.1直接法及其应用

表D.1直接法及其应用（续）

D.2.8间接法（预处理和测量）

测量法及其应用见表D.

表D.2间接测量法及其应用

表D.2间接测量法及其应用（续）

DB41／T 1827-2019标准下载D.2.9采样、分析及相关质量控制（OC）

采样、分析和相关QC见图D.3

图D.3采样、分析和相关OC内容的总体流程图

D.2.10 分析质量控制

总之，为了监测方法的效果，或为将准备阶段和测试阶段的变动和偏差量化，在关键采样与分析阶 段引入加标样本。分析方法对每个阶段加标水平做出说明。在这个硅晶圆片的例子中，注人加标分析 物的浓度和总离子色谱（TIC)宜在所要求的可靠性范围内，与校准标准物相同，与所加的量相同。例 如，加到晶圆片热脱附的100ng注人加标样本，在浓度和TIC图形（见参考文献[14])上等同于100ng 校准标准物。

附录E （资料性） 测试报告 表E.1是测试报告示例。供需双方商定的其他内容也可作为测试报告的组成部分

NB／T 20450.4-2017标准下载表E.1按化学物浓度测试表面洁净度辅助文