标准规范下载简介
GB／T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdfICS13.040.35 CCS C 70
洁净室及相关受控环境第12部分：
Cleanrooms and associated controlled environmentsPart12:Specificationsfor monitoringofaircleanlinessbynanoscaleparticle concentration
引言 范围 规范性引用文件 术语和定义 监测 检测报告 附录A（资料性） 以凝结粒子计数器进行监测的参照方法 附录B（资料性） 粒子计数效率和分割粒径 参文献
YD／T 3487.1-2019标准下载5915.122021/ISO1464
15.122021/ISO14644
GB/T25915是采用ISO14644系列国际标准，各部分设置与国际标准保持一致，拟由15个部分 购成。 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的是区分粒子污染程度 一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染，以避免可能产生的污染 风险。 第3部分：检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测。 第4部分：设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。 第5部分：运行。目的是指导洁净室的运行。 第6部分：词汇。目的是统一规范技术术语 一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）。目的是提出洁净室用隔离装置的基 本要求。 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC)等级。目的是区分空气化学污染程度。 一第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测 要求。 第13部分：达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以 避免可能产生的粒子和化学污染的风险。 第14部分：按粒子污染浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子 污染的测试，确定设备的适合性。 第15部分：接化学污染物浓度评定设备及材料的适合性。目的是通过对相关设备可能在洁净 室产生化学污染的测试，确定设备的适合性。 第16部分：提高洁净室和空气净化装置能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。 洁净室及相关受控环境将污染物控制在适当的水平，以便完成对污染敏感的活动。航空航天、微电 子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制。 GB/T25915.3一2010仅限于粒径大于100nm的粒子分级。但在这个文件中包含小于100纳米粒 的资料性内容，且将小于100nm的粒子称为超微粒子，而不是本文件所称的纳来粒子。 纳米技术是最近才形成的领域，一般涉及大约1nm～100nm尺寸范围的物质。为改善产品的性 能，其特征尺寸越来越小成为其趋势，如微电子及与健康有关的许多工业，现已生产纳米尺度的产品。 有关粒径特性的背景性文献见参考文献1~18
15.122021/ISO14644
洁净室及相关受控环境第12部分：
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1：本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片）、2维上（纳米纤维)或3维上（纳米粒子)具有纳米 尺度的纳米物质。 注2：请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。 注3：本文件未考虑健康与安全事项
本文件没有规范性引用文件
洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度 等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制， 注3：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控， [来源:GB/T 25915.1—2021,3.1.1] 3.1.2 洁净区cleanzone 空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行便进入、产生和滞留于空间的粒子 受控。 注1：空气悬浮粒子浓度的级别已确定， 注2：也可以对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净 度等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制
注3：洁净区可以是限定于洁净室内的空间XJJ 116-2019 装配式建筑评价标准.pdf，也可用隔离装置实现。隔离装置既可设在洁净室内也可在洁净室外 注4：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。 [来源:GB/T25915.1—2021,3.1.2]
纳米尺度nanoscale(nanometerscale
动态operational 洁净室（3.1.1)或洁净区（3.1.2）设施按议定方式运行，且有规定数量的人员按议定方式工作的 状态。 [来源:GB/T25915.1—2021,3.3.3]
动态operational 洁净室（3.1.1)或洁净区（3.1.2)设施按议定方式运行，且有规定数量的人员按议定方式工作的 状态。 [来源:GB/T25915.1—2021,3.3.3]
凝结粒子计数器 condensation particle counter;CPC 测量气溶胶（3.3.3)粒子数量浓度的仪器
宁波市科技园区科技公园工程道路园林绿化施工组织设计15.122021/ISO14644
注1：探测的粒径一般介于几纳米到几百纳米之间， 注2：CPC可与差分电迁移率分析仪（DEMC)一起使用的探测器。 注3：在某些情况下，凝结粒子计数器也可称为凝结核计数器（condensationnucleuscounter，CNC）。 [来源：ISO15900:2009,2.5] 5.2 计数效率 countingefficiency 给定粒径范围内读出的粒子浓度与实际粒子浓度之比。 [来源:GB/T25915.3—2010,3.6.5］
就测量而言，唯一重要的粒子特性是其“当量直径”