标准规范下载简介
GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准(完整正版、清晰无水印).pdf子工业废气处理工程设计标准
Standardfor designof electronicindustryemiss
《建设工程文件归档整理规范》（GBT 50328-2014 ）.pdfIndardfordesignofelectronicindustryemission treatmentengineering
人民共和国住房和城乡建设部 联合 家市场监督管理总局
中华人民共和国国家标准
电子工业废气处理工程设计标准
Standardfordesignofelectronicindustryemissi
Standardfordesignofelectronicindustryemissions treatmentengineering
主编部门：中华人民共和国工业和信息化部 批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部 施行日期：2020年4月1日
中国计划出版社 2019 北京
中华人民共和国住房和城乡建设部公告
2019年第321号
住房和城乡建设部关于发布国家标准 《电子工业废气处理工程设计标准》的公告
中华人民共和国住房和城乡建设部 2019年11月22日
中国电子工程设计院有限公司 标准参编单位：世源科技工程有限公司 信息产业电子第十一设计研究院科技 工程股份有限公司 清华大学 同济大学 上海电子工程设计研究院有限公司 上海华懋环保节能设备有限公司 奥意建筑工程设计有限公司 北京京东方光电科技有限公司 深圳市华星光电技术有限公司 三星工程建设（上海）有限公司 北京康肯环保设备有限公司 上海华力微电子有限公司 中国电子科技集团第五十五研究所 应用材料（中国）有限公司 中国电子系统工程第四建设有限公司 天津市武清区环境工程设备有限公司 苏州艾特斯环保设备有限公司 爱美克环保工业（武汉）有限公司 东莞兆能环境科技有限公司 中国电子系统工程第二建设有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 唐纳森（中国）贸易有限公司 上海点夺电子科技有限公司 准主要起草人员：秦学礼肖红梅江元升莫金汉 阎冬羌宁陆崎徐刚 杜宝强赵海生湛云忠李杨 吴新何菁李朝英永井勇
林云韩科勇颜登通曹布霖 云希康邱会东黄桂超张作保 巫曼曼蒋磊张伟明丁宏伟 钟平 本标准主要审查人员：刘俊杰 任兆成 丁杰 阎宇宏 刘强 王素英李坚 明慧玲 张利群
云希康 巫曼曼 钟平 本标准主要审查人员：刘俊杰 刘强 强 张利群
8.3全氟化合物（PFC)尾气处理系统 .............................（..） 8.4其他特种尾气处理系统 （28） 8.5中央废气处理系统 除尘系统 .....（30） 9.1 一般规定 9.2 系统设计、处理流程及方法 9.3 处理设备 （32） 9.4 风管及附件 10 电子玻璃窑炉废气系统. （36） 10.1 一般规定 （36） 10.2 系统设计、处理流程及方法 10.3 处理设备 （37） 10.4 风管及附件 （39） T 事故通风 （40） 11.1 一般规定 （40） 11.2 系统设计及有害气体净化 （41） 12 电气设计 （44） 12.1 供配电与照明 （44） 12.2 防雷与接地 （44） 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康 浓度（IDLH) (46） 本标准用词说明 （47）
标准用词说明 用标准名录 ·条文说明
1.0.1为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关 法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计 水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证 设计质量和安全的要求，制定本标准。 1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程 设计。 1.0.3电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合 国家现行有关标准的规定
实体的结构物，用于区隔具有排风设施的空间与其他有或 风设施的空间。
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内户 与设备所处环境压力之差，通常为负值，单位为Pa。
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法择 的状况，其释放的能量可能引起危险。
localexhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物，并 将其排至外界环境，通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理 装置。
acidcontaminatedexhaust
alkalinecontaminatedexhaust
生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称，通常能与酸 作用生成盐类化合物，包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。
specialcontaminatedexhaust
电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离子注入、干 刻蚀等工艺设备散发的含有毒性、腐蚀性、氧化性、自燃性、可燃 、情性等物质的废气。
2.0.9立即危害生命和健康浓度
2.0.13中央废气处理系统
通常位于废气系统的末端，在废气排人大气前对其所含的 定污染因子做最终的消减处理，并达到规定的排放浓度或标准 小理系统
挥发性有机物废气通过转轮的吸附区域后，其污染因子能被 有效地吸附于转轮的吸附材料中，并在转轮的脱附区域被小流量 高温空气脱附，使低浓度、大风量挥发性有机物废气浓缩为高浓 度、小风量的挥发性有机物废气的系统。
通过蓄热床吸收高温烟气的热量，并预热未经处理的低温历 ，吸热升温后的废气通过高温裂解破坏其污染因子结构的系统
.0.16填料洗涤式废气处理设
经由填料增加气液废气接触面积的废气处理设备，包括本体 真料层、除雾层、循环喷淋系统、循环泵、储液槽及控制系统等的原 汽处理设备，通常分为水平式和垂直式。
2.0.17压入式废气处理系统
2.0.18吸人式废气处理系统
风机位于废气处理设备气流下游，废气处理设备相对于所处 不境为负压的处理系统
风机位于废气处理设备气 环境为负压的处理系统。
废气处理设备的进、出口均设置风机，废气处理设备相对于月 环境为微负压或微正压的处理系统
0.20时间加权平均容许浓度
以时间为权数规定的8h工作日、40h工作周的平均容许 浓度。
2.0.21短时间接触容许浓
2.0.22最高容许浓度
地点空气中有害物质不应超过自
3.0.1产生有害物质的工艺生产设备，宜采用自动化，并应采取 密闭、隔离和负压操作措施。对生产过程中不可避免放散的有害 物质在排放前，应采取净化处理措施，并应达到有关污染物排放 标准。
3.0.2排风系统应按废气种类和不相容原则设置。
1不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸； 2混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性； 3混合后易使蒸汽凝结并聚积粉尘； 4散发极毒和剧毒物质的房间和设备； 5排风中含有燃烧爆炸性气体。 3.04当排风点需求压力相差250Pa以上、日所需压力绝对值
3.0.4当排风点需求压力相差250Pa以上，且所需压力绝对值 的较大值出现在系统后三分之一管路时，宜分别设置排风系统。 3.0.5排气系统宜按照最大产能时的各工艺设备排气量计算，并 据此确定废气处理系统的风量和排风管尺寸。
3.0.6排风系统设计应符合下列规定
1含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质 采取相应的防火防爆措施； 2排风中污染物浓度或排放速率超过国家和地区污染物排 放标准时DL／T 292-2021标准下载，应进行净化处理。 3.0.7排除有燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量应经计算确 定，并应符合下列规定： 1采用局部排风系统时，其风量应按在正常运行和事故情况 下风管内燃烧爆炸性危险物质的浓度不大于爆炸下限的50%
计算。 2有燃烧爆炸性区域的排风量，应符合现行国家标准《爆炸 危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定
3.0.8废气处理系统的设备符合
1直接布置在爆炸危险性区域内时； 2排除、输送或处理有甲、乙类物质，其浓度为爆炸下限 10%及以上时； 3排除、输送或处理有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质，其 含尘浓度为其爆炸下限的25%及以上时。 3.0.9当排风中含有的燃烧或爆炸危险物质可能出现的最高浓 度超过爆炸下限值的10%时，废气处理系统的设备、风管和配件 应符合下列规定： 1风管和配件应采用金属材料制作； 2设备和风管均应采取防静电接地措施； 3当风管和配件的法兰密封垫或螺栓垫圈采用非金属材料 时，应采取法兰跨接措施。 3.0.10有爆炸危险厂房内的排风风管，严禁穿过防火墙和有爆 炸危险的车间隔墙
3.0.11含有有毒有害物质或含有爆炸危险性物质的局部持
3.0.12当风管内可能产生凝结水或其他液体时铝扣板吊顶工程施工方案，风管设计应符 合下列规定： 1排风管道应设置不小于0.5%的坡度； 2风管的低点应设置观察检修口； 3风管的低点和排风机的底部应设排液装置，有毒、有害的 冷凝液应排至相应的废水管网中； 4排风管的结构及连接方式应采取防液体渗漏措施。 3.0.13填料洗涤式废气处理设备的设置应符合下列规定： 1断面风速宜小于2.5m/S。