GB 50646-2020 标准规范下载简介
GB 50646-2020 特种气体系统工程技术标准(附_条文说明).pdf5.3.1为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条
5.3.1为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了
自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的储存、分配及使用场 所安全设施的设置。 1本款规定了设置数字式视频监控摄像机、门禁，摄像机、门 禁应考虑与使用环境相适应，如有防爆、防腐蚀要求的场所，需使 用相应防护的产品。 2本款是从实际情况看，安全管理显示屏一般安装在洁净室 内、洁净室入口服务台处、气瓶柜间的入口等位置。其显示内容为 阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施。以TCP/IP网 络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器。在洁净室人口 服务台处及值班室的工作站，可键人日常信息，在安全显示屏上显 示。为此做了本款规定。 ， 3因为自燃性、易燃性、毒性气体一旦发生泄漏等安全事故 将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患，为此，本款 规定在这些气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主入口、内 通道等设置明显的灯光闪炼报警装置，提醒人员注意，采取防范 措施。 4·为了在紧急情况下切断特种气体的供应，避免事故的蔓延 与扩大，本款规定在自燃性、易燃性、毒性气体储存、分配、使用场 所入口处应设紧急手动按钮。由于应急处理中心室有专人值班， 规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。
昆山某打桩工程施工组织设计-secret5.3.2为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大
地震探测装置（设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确 定），为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌， 本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时， 才立即执行联锁控制功能，并将警报信号传送至工厂设备管理控 制系统
对于实验室，工艺设备少的电子工厂，按需要设置地震探测装 置，不做强制要求安装
配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防护设施。
5.4特种气体报警的联动控制
5.4.2为了保护人员的生命安全，本条规定当气体探测系统确认 气体泄漏时，应启动泄漏现场的声光报警装置，提醒作用人员采取 应急措施和迅速离开事故现场
5.4.2为了保护人员的生命安全，本条规定当气体探测系统确
5.4.3为保障生命安全，在气体探测系统确认气体泄漏时，本条
规定通过气体报警系统或厂务设备管理和控制系统（FMCS）系统 联动与安全逃生有关的通道部位，主要有关闭有关部位的电动防 火门、防火卷帘门，自动释放门禁门，可联动闭路电视监控 (CCTV)系统，唤醒、启动相应区域的摄像机，进入连续录像，保留 证据。
5.4.4为了保护人员的生命安全，并考虑工厂生产不会因
6特种气体管道输送系统
6.1.1本条定义了特种气体管道输送系统的构成部件与要素。
.：2在电于 生产厂房内特种气体干管，一般都敷设在技术夹层或技术夹道内。 由于特种气体多数具有易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、室息性等危 害特性，本条规定了特种气体管道与水、电气管道的共架布置的 原则。
6.1.3本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止
3穿过楼板的套管应高出楼面50mm。 4穿过屋面的管道应设置防水肩和防雨帽。 5.管道与套管之间应填塞对管道无害的不燃材料。 为了排除自燃性、易燃性、有毒、腐蚀性等危险气体在机械连 接部位可能发生的泄漏气体，本条规定应将这些连接部位设置在 排风罩内，如气柜、阀门箱等
6.1.5由于不使用易燃性特种气体、毒性特种气体的房间在工
上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置， 易燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后，将可能发气 本泄漏，引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布 置，必须穿越时应设套管或使用双层管
上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置， 易燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后，将可能发气 体泄漏，引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布 置，必须穿越时应设套管或使用双层管。 6.1.6本条规定特种气体管道不宜出现不易吹除的盲管等死区： 避免U形弯。这是为了防止在特种气体管道启用、维修时有效吹 扫置换管道中的残留气体或其他杂质。 6.1.7为防止静电积聚，引发着火事故，本条规定易燃性特种气 体、氧化性特种气体管道，应设置导除静电的接地设施。 6.1.8.为了防止特种气体泄漏发生聚集，并方便检修，本条规定 特种气体管道宜架空布置
6.1.6本条规定特种气体管道不宜出现不易吹除的盲管等死区，
6.2.1工程实践表明，电子工厂特种气体和吹扫气体管道输送系 统常用管道材料应采用SS304、SS316、SS316L等不锈钢无缝钢管 和HC一22哈氏合金无缝钢管等。根据特种气体品种和纯度、杂 质含量要求，特种气体管道内表面应进行洁净和钝化处理；管道内 表面粗糙度，对BA管道要求小于Ra40，EP管道要求小于Ra25， 为此，本条做此原则性规定。
6.2.2普通不锈钢只进行初级熔炼，常用熔炼方式有金
AOD(ArgonOxygenDecarburization）、真空感应熔炼VIM(Vac uumInductionMelt）。但输送腐蚀性特种气体，为减轻腐蚀，管道
材料宜采用经过二次熔炼（精炼）的工艺及真空电弧重熔VAR （VacuumArcRemelt）等工艺，二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈 钢或镍基合金无缝钢管，此种管材具有较强的抗腐蚀性能，管道内 表面进行EP处理，可同时满足洁净和钝化的目的。 6.2.3近年来的工程实践表明，电子工厂的特种气体管道系统应 采用隔膜阀、波纹管阀等。这些阀门的阀座密封材料应尽量减少 应用塑料聚合物等材料的使用量，因为这些材料易逸出气体，容易 影响气体纯度或引起化学反应。为此还应注意选些材料时应与具 本特种气体的物理化学性质匹配，如氨气（NH3）禁止使用氟化橡 胶（Viton）材料、笑气（N2O）应使用聚酰亚胺树脂（Vespei）材 料等。
6.2.4在保证安全和工艺要求的前提下，节省投资也是工程设计
的重要内容。为此，本条规定了双层管的外管作为安全保护的第 二道屏障，采用SS304材料即可满足要求，且一般不做特殊的洁 净要求。
6.2.5排气管道和尾气真空管道对管道材质没有特殊要求，采用 SS304管道即可满足要求，在实际工程中，也有排气管道采用 PVC材料。
6.2.5排气管道和尾气真空管道对管道材质没有特殊要求，采用
6.2.6本条为强制性条文，必须严格执行。为避免管道内油脂与
氧化性介质发生反应，产生燃烧等严重后果，本条规定管道氧化性 气体管道应经过严格的脱脂处理
氧化性介质发生反应，产生燃烧等严重后果，本条规定管道
5.3.1由于电子工厂应用的特种气体的品种多，且每种气体的使 用量较小的实际情况，特种气体管道系统的管道设计中应充分考 虑所输送的流体品种及其特性以及产品生产工艺所要求的动力、 流量等参数进行设计，为此做了本条规定。管材通常采用美国机 械工程师协会ASMEB36.10标准的Sch5或Sch10的管道，但是 设计要符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的
6.3.2电子产品生产设备用特种气体的用量较小，压力较低，因 此，在进行管道水力计算时应充分考虑流量、压力、温度等参数，按 照流量设计图表对管道进行设计计算。目前电子工厂中的大多数 特种气体管道的管径较小，一般不超过DN25。 6.3.3由于电子工厂使用的特种气体要求具有较高的纯度，所以 对输送管道的材质有严格的要求，目前主要是采用进口的低碳不 锈钢管道，如EP管、BA管等。表3是不锈钢管外径和壁厚规格。 电子行业常用的是美标和日标规格
6.3.2电子产品生产设备用特种气体的用量较小，压力较低，因
此，在进行管道水力计算时应充分考虑流量、压力、温度等参数，按 照流量设计图表对管道进行设计计算。目前电子工厂中的大多数 特种气体管道的管径较小，一般不超过DN25。
6.3.3由于电子工厂使用的特种气体要求具有较高的纯度，所以
6.3.3由于电子工厂使用的特种气体要求具有较高的纯度，所
对输送管道的材质有严格的要求，目前主要是采用进口的低碳不 锈钢管道，如EP管、BA管等。表3是不锈钢管外径和壁厚规格。 电子行业常用的是美标和日标规格
表3不锈钢管道外径壁厚规格
6.3.4为了保证液体的流动，本条规定液态特种气体水平管道应 有不小于0.3%的坡度，坡度应坡向供液设备或收集器。 6.3.5由于自燃性、剧毒性和强腐蚀性气体一旦泄漏，危害性极 大，将会造成较大的人身伤亡和财产损失，目前在电子工厂中较多 地采用双层管道输送这类特种气体，属于这类特种气体的主要有 强反应性气体：B2H6、HzSe、GeH4、SiH4、Si2H6、SiH3CH3、C2H2、 B（CH3）3、F2、CIF3等；自燃性气体：BzH6、GeH4、SiH、SizH、
SiH，CH3、B（CH3）：等；剧毒性气体：AsH3、PH3、GeH4、BHc HzSe、F2、B(CH)3、NO、CIF3、PFs等。但是在工程实际中，由于 每一个工厂对气体特性的理解不同，从而导致同一种高危险性气 体在不同工厂所使用的管道不一致
H2Se、F2、B(CH3）3、NO、CIF3、PFs等。但是在工程实际中，由于 每一个工厂对气体特性的理解不同，从而导致同一种高危险性气 体在不同工厂所使用的管道不一致。 6.3.6为防止低蒸汽压力气体在输送过程中，因为冷却导致液 化，导致输送困难，无法使用，本条规定低蒸汽压力气体应设置 伴热或保温措施。电子工厂应用的低蒸汽压气体主要有BCl3、 CF。、WF6、SiH,Cl2、ClF3等。 6.3.7为防止特种气体的泄漏和确保管道焊接质量，特种气体管 道宜采用全自动管道焊接连接，与阀门或管件连接处，应采用径向 面密封连接（VCR连接），规定不宜采用螺纹或法兰连接的目的也 是防止气体在连接处发生泄漏。
6.3.6为防止低蒸汽压力气体在输送过程中，因为冷却导致液
化，导致输送困难，无法使用，本条规定低蒸汽压力气体应设置 伴热或保温措施。电子工厂应用的低蒸汽压气体主要有BCl3 CsF8、WF6、SiH2Cl2、ClF3等
6.3.7为防止特种气体的泄漏和确保管道焊接质量，特种气体管 道宜采用全自动管道焊接连接，与阀门或管件连接处，应采用径向 面密封连接（VCR连接），规定不宜采用螺纹或法兰连接的目的也 是防止气体在连接处发生泄漏，
6.3.7为防止特种气体的泄漏和确保管道焊接质量，特种气体管
6.3.8隔膜阀和波纹管阀都具有良好的密封性，且不易产生颗
粒；而球阀、旋塞阀等，因采用填料密封，密封性较差，易发生泄漏， 且阀门开关时有部件摩擦，易产生颗粒，不能满足特种气体的输送 过程的严格要求。
6.3.9为防止密封垫片与特种气体性质的不相容而产生化学反 应，规定垫片宜采用不锈钢或镍垫片，垫片与特种气体的性质应该 相容。
6.3.9为防止密封垫片与特种气体性质的不相容而产生化学反
6.3.10特种气体钢瓶接口处，在每次更换钢瓶时，因摩擦作
产生颗粒，因此其下游宜设置过滤器，保护阀门的膜片和下游气体 不被污染。为了保证特种气体的纯度，在接人生产工艺设备前的 特种气体管道上宜设置精密过滤器
6.4.1本条规定了特种气体管道应进行管道标识，其目的是为特 种气体管道的安装施工中管道的标识提供依据和生产运行中使用 标识特种气体管道内容物及其危险特点，防止事故的发生或一旦 发生事故时使作用人员，安全管理人员迅速识别特种气体管道的
太子河5号桥水中墩系梁施工方案6.4.2、6.4.3这两条分别规定的管道标识的颜色、字体、主要危
6.4.2、6.4.3这两条分别规定的管道标识的颜色、字体
险特性和介质流向，这些规定是电子工厂多年经验的总结和行业 的通用做法，规定的颜色也符合现行国家标准《安全色》GB2893 的有关规定。
6.4.4、6.4.5这两条分别规定了管道标识的尺寸和粘贴标示
7.1.1本条是按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016中 有关生产厂房防爆等安全要求制定的。 1本款规定的特种气体设备在电子工厂属于辅助生产设施GB／T 38543-2020 行政许可审查与决定规范， 集中布置在辅助生产区，管道布置集中，便于工厂管理，远离明火 或散发火花的地方也是出于安全的考虑。 2本款规定主要是因为部分特种气体在事故时产生爆炸混 合气的燃烧、爆炸扩散速度快，发生事故时疏散和抢救比较困难， 将会造成较大的伤亡和损失。为减少事故时对人员造成较大损 失，规定不得布置在人员密集地段和主要交通要道临近处。 3本款是考虑在工程正常运行时，特种气体站会有大量的特 种气体供应设备与气体的运输，且部分特种气体的具有易燃易爆 特性，所以规定特种气体站的设置应方便运输和消防车辆的 进出。 4本款是考虑特种气体运送车辆为长管拖车、货车等天型车 辆，为防止在汽车运输与停放过程中撞击室外管桥、室外消火栓、 室内墙、柱，规定特种气体站的运送、分配区域应设有防止车辆撞 击的保护措施。 5本款规定主要是考虑大宗硅烷站的火灾危险性和工厂的 安全管理要求，大宗硅烷站布置在散开式建筑内，布置围墙是为了 防止无关人员进入高危区域，造成安全隐患，同时实体围墙可以防 止火灾的蔓延，在火灾情况下，减少和防止硅烷站与其他建筑的相 互影响。规范推荐大宗硅烷站设置不燃烧体的实体围墙，目前国 内许多电子工厂的大宗硅烷站建设有不燃烧体的实体围墙，也有
部分电子工广建设有透空的围栏，考虑工厂的实际情况，本款未做 强制要求。